ACS Software Quick Start Guide

2022-04-26
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●ACS软件简介
■ACS是一个灵活的交互式软件测试环境,设计用于设备特性描述、参数测试、可靠性测试,甚至是简单的功能测试。该软件支持盒式、晶圆和设备级的半导体表征,使用多个测试仪器和带有半自动和自动探针站的自动参数测试。

■ACS软件控制Keithley Instruments 4200-SCS型半导体表征系统上的硬件,并支持通过GPIB控制的其他外部仪器,如Keithley Instruments Series 2600B、2651A型和2657A型系统源计仪器。它还提供了一个支持4200-SCS型和2600B系列组测试的组合测试执行引擎。

■ACS可以使用2600B系列作为主要仪器进行多站点并行I-V测试。一张GPIB卡上最多可以有16组源测量单位(SMU),总共有16个平行测试点(如果需要16个以上的平行测试点,请联系Keithley Instruments)。每组最多可支持64个2600B系列仪器或128个通道。

■ACS按照与半导体晶圆组织一致的层级组织测试,允许在管理盒式磁带级测试时进行一次性设置:

▲CASE:自动化多个晶圆测试
▲晶圆:定义测试模式
▲模式:每个模式有多个站点(非独占)
▲设备:执行一个或多个测试(单组或多组)
▲子网站:在设备上执行一个或多个测试
▲测试模块:ITM、STM、PTM和CTM

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