ADVANCED IGNITION OF REMOTE PLASMA SOURCES
本文介绍了Advanced Energy的Xstream®的优点，它在燃烧室清洁操作期间利用脉冲功率点火和变压器感应功率输送系统。Advanced Energy设计了具有多个点火器的Xstream脉冲功率（与单个点火器设计相反），以优化无误点火，即使在冷启动期间也是如此。我们还将双变压器感应电力输送系统用于主电力系统，从而实现从点火模式到运行模式的稳定过渡。最后，Xstream的多段电极通过在等离子体室中分布电压负载来延长腔室寿命。
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远程等离子体源的先进点火 |
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white paper,白皮书 |
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详见资料 |
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中文 英文 中英文 日文 |
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2018/11/8 |
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