【产品】半导体先进封装光学量测系统7505，锁定更小的关键尺寸

时间： 2019-05-27 来源：Chroma

技术问答

半导体封装技术不断推陈出新，制程元件微缩晶片密度提高，让效能及功耗的提升更上层楼。各式可携式或穿戴式装置及各产业AI的应用使得半导体产能不断增加，也衍生出其他半导体制程的相关检测项目。其中半导体先进封装关键尺寸(CD)的量测设备，随着元件微缩，所需量测的关键尺寸(CD)也越来越小。对此CHROMA推出适合下一世代关键尺寸量测的7505 Series半导体先进封装光学量测系统，

图1 Chroma 7505 Series半导体先进封装光学量测系统

Chroma 7505 Series半导体先进封装光学量测系统以白光干涉量测技术为核心，进行非破坏性的光学尺寸量测，可进行待测物之关键尺寸(CD)、overlay(OVL)及thickness等量测需求，且垂直与水准轴向扫描范围大，适合各种自动量测之应用，最大量测尺寸达12吋晶圆，待测物皆不需前处理即可进行非破坏且快速的表面形貌量测与分析，提供快速自动对焦演算法与大面积接图功能，可使用脚本量测功能具备自动量测能力，同时可搭配EFEM (Equipment From End Module)，进行待测物运送，此设备已通过SEMI S2认证，适用于各大半导体厂中之研发单位、FAB厂、生产与品管单位等，7505 Series将会是您制程分析改善，提升效率及竞争力的最佳得力助手。

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全部评论（8）

鄗立恒 Lv8. 研究员 2019-05-28

学习了。
duanmaxie Lv8. 研究员 2019-05-27

可以
用户56731903 Lv9. 科学家 2019-05-27

了解一下！！！
棒棒猫 Lv6. 高级专家 2019-05-27

不错哦
luose Lv8. 研究员 2019-05-27

学习了

沉浮 Lv7. 资深专家 2019-05-27

不错
沉浮 Lv7. 资深专家 2019-05-27

不错
好运常伴吾 Lv8. 研究员 2019-05-27

学习

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新产品发布时间 : 2019-06-02

日本电产集团综合产品目录(Nidec Group Products Catalog)

型号- PM4系列,H300,D SERIES,NRFEIS-5060,DFS,GATS-2000 SERIES,TPI SERIES,GATS-7800 SERIES,R-6100,TVX,GATS-6300,GATS-8600,SX-20,RWI SERIES,ZI20A,GATS-7500系列,LSR-3230,BP100,RSH,GATS-7700 SERIES,K-MC1000,P2H系列,E300,GATS-2000系列,GATS-6300系列,NVM-6060GCP,VL-H系列,GATS-7500,MH3NCV,VL SERIES,GATS-7800系列,SS-SV,DEWE3-A4,TPI,TVX SERIES,RGA20,NRTES-1000 SERIES,FCPL,ΜV1,RSH系列,ZG SERIES,ID300,FMD,TPI系列,GATS-8600系列,S-CART,GATS-6300 SERIES,KS,CM,R-580,SS-SV SERIES,ANEX SERIES,LD SERIES,VP600GC,GE15FR PLUS,MD2,ANEX系列,NRTES-1000,P2H SERIES,FFB,VL系列,LS,RSH SERIES,RVL,VL-H SERIES,RVP,F600,SS-SV系列,S-FLAG,GATS-7500 SERIES,REC-92FT,DEWE3-PA8,ECO-KA,KCV1000-5AX,S-CART-V1000-LFT,RVL SERIES,RVP SERIES,R-700 SERIES,P2H,ZE16C,CPLS,S-CART-V500,HM500S,VM53RⅡ,GATS-7700,ANEX,NRTES-1000系列,HM-X6100,RWI,TVX系列,KA SERIES,S-CART-MINI,GATS-2000,PM4,VL-H,GATS-7700系列,CBZ,GH,GATS-8600 SERIES,R-700,R-5920系列,NRFEIS-3570,DFS SERIES,MVR-HX,MAF130EⅡ,BL-V20,ECO-KA SERIES,SERIES S-FLAG,RWI系列,HE,GATS-7800,R-5920

商品及供应商介绍 - NIDEC - 第10版 (10th Edition) - 2022年12月 (December, 2022) PDF 中英文下载

BigTao-P Product Manual

型号- P2-10G-8C,P2-10G-8F,P6000,SERIES OCT-8,HUNTER OCT-8A+,SERIES P2-10G,P6008W,BIGTAO P8000,HUNTERATE,BIGTAO P2-10G,P2-400G-2QDD-Q,HUNTER® ATE,BIGTAO,SERIES P6000,HUNTER OCT-8B,HUNTER OCT-8A,ERM,HUNTER ERM-2500-8,HUNTER BERT-10G-4F,P2-10G,SERIES BERT,P8000,P2-400G,P2-10G-16F,BIGTAO P2-400G,P2-100G-2QSFP28-D,BIGTAO P6000,P6216W,OCT-8,P2-10G-16C,P2-100G,P8004F,P2-100G-4QSFP28-Q,HUNTER OCT-8,P8008F,BERT,P2-100G-4QSFP28-D,P2-100G-2QSFP28-S,P2-100G-2QSFP28-T,P2-100G-2QSFP28-Q,P2-100G-2QSFP28-X,P6016F,HUNTER ERM-10G,P6016E,P6016D,P6016C,P2-10G-8C-Q,BIGTAO P2-100G,BIGTAO-P,P2-100G-4QSFP28-T,P2-100G-4QSFP28-S,BIGTAO210,P2-100G-4QSFP28-X,TELEATT,HUNTER CW6000,SERIES ERM,P2-10G-4F,BIGTAO6100

数据手册 - XINERTEL - REV. 202404 - 202404 PDF 英文下载

【应用】Chroma色彩分析仪搭配视频信号产生器可推出视讯检测应用解决方案，完成Gamma量测

Chroma光学量测设备搭配视频信号产生器应用系统在不必搭配计算机的情况下达成自动化测试需求，根据使用者设定可完整提供R/G/B/W四种标准颜色的图形信号输出并完成Gamma量测，用户还可自由切换多种量测模式包含色度、亮度及闪烁量测等功能。

应用方案发布时间 : 2022-02-26

Battery Test Solutions

型号- 17216M-6-12,17020,8710,17030E,17000,17020E,8610,63200A,17212R-5-100,63600,17040,19055-C,17208M-6-30,63200E,A170202,62000P,A190362,8700,19311,17011,17212R-5-60,8720,62000H,17212M-6-100,17030,19311-10,17216M-10-6,11210,7505,19032-P,17208M-6-60,87001

商品及供应商介绍 - CHROMA - 2019/12/12 PDF 英文下载

多功能光學量測系統 MULTI-FUNCTIONAL OPTICAL MEASURING SYSTEM MODEL 7505-05

型号- MODEL 7505-05,7505-05

数据手册 - CHROMA - 201703 PDF 中文下载

致茂电子将于Touch Taiwan展示最新显示器与AOI量测解决方案，涵盖Micro LED、Mini LED、8K等

致茂电子将于Touch Taiwan展示最新显示器与AOI量测解决方案，应用范围涵盖Micro LED、Mini LED、8K与最新显示应用等。

原厂动态发布时间 : 2019-08-28

光子学测试解决方案 VCSEL/TO-CAN/CoC/TOSA/BOSA

描述- 致茂电子成立于1984年，以自有品牌"Chroma"行销全球，为精密电子量测仪器、自动化测试系统、智能制造系统与全方位Turnkey测试及自动化解决方案供应商，主要产品包括LED 、太阳能、锂电池、电动车、半导体/IC、光子、平面显示器、视频与色彩、电力电子、被动元件、电气安规、热电温控、自动光学检测、以及智能制造系统等测试解决方案。光子学测试解决方案主要包含激光二极管的芯片段以及光通讯主动元件的封装段。凭借致茂三十年以上卓越的电力电子与光学量测技术，加上机构整合以及温度控制，光学元件可在不同环境温度下进行烧机老化与特性测试。

型号- MODEL 58691,MODEL 54180 系列,MODEL 58690,MODEL 54130 系列,7940,52400E,MODEL 7936,MODEL 54130,54180-40-20,54130,54115-24-8,58691,58690,MODEL 58604,7936,MODEL 52400E,MODEL 54180,MODEL 7940,54130-27-12,54180,MODEL 58603,MODEL 7925,MODEL 58620,58604,58603,58620,MODEL 52400E 系列,7925

应用及方案 - CHROMA - 201708 PDF 中文下载

致茂电子以创新的技术为顾客提供更高的附加价值与服务

致茂电子成立于1984年，以自有品牌”Chroma”营销全球，为精密电子量测仪器、自动化测试系统、制造信息系统与全方位Turnkey测试及自动化解决方案供货商，主要应用包括新能源汽车、绿能电池、半导体/IC、激光二极管、LED、太阳能、平面显示器、视频与色彩、光学组件、电力电子以及智能制造系统等测试解决方案。

原厂动态发布时间 : 2023-11-16

LED/照明测试解決方案

描述- 致茂电子成立于1984年，以自有品牌"Chroma"行销全球，为精密电子量测仪器、自动化测试系统、制造资讯系统与全方位Turnkey解决方案供应商，主要产品包括LED/照明、太阳能、锂电池、电动车、半导体/IC 、光学元件、平面显示器、视频与色彩、电力电子、被动元件、电气安规、热电温控、自动光学检测、以及制造资讯系统等测试解决方案。

型号- MODEL 58154,58154-C,MODEL 58173,5102,58154-B,58154,MODEL 58158-SC,MODEL 58212,58221-200-2,58173,MODEL 58158,58158-SC,58173-T,58158,58212-C,58173-FC,MODEL 58221-200-2,MODEL 5102,MODEL 5104,MODEL 58182,MODEL 58183,58266,58183,MODEL 58266,58182,MODEL 58173-FC,MODEL 58173-T,MODEL 58154 SERIES,5104

应用及方案 - CHROMA - 201503 PDF 中文下载