【产品】1微米肖特基二极管工艺，优化混频器、收发器和功率检测器设计

2018-08-06 UMS
混频器,收发器,CHE1260-QAG,CHE1270-QAG 混频器,收发器,CHE1260-QAG,CHE1270-QAG 混频器,收发器,CHE1260-QAG,CHE1270-QAG 混频器,收发器,CHE1260-QAG,CHE1270-QAG

全球领先的GaN、GaAs工艺微波元件供应商UMS近期推出了一款截止频率高达3THz的肖特基二极管工艺产品——BES，已成功通过宇航级品质评估，并列入欧空局（ESA）的欧洲优选器件列表（EPPL）。BES为1微米肖特基二极管工艺，为高达百GHZ级别的甚高频混频器或开关应用而优化。


图1  BES肖特基二极管结构示意图

 

该BES工艺包括两个金属互连层，精密TaN电阻，高值TiWSi电阻，MIM电容，贯穿衬底的金属化孔（全通导孔），采用空气桥和完全光学工艺技术。


图2  一个5微米指针的BES肖特基二极管显微图

 

其主要指标参数已整理在表格1中，可看到，由采用该工艺制造的尺寸为1×5μm的二极管截止频率高达3THz，本征电容和寄生电容都很小，分别为8fF和6fF。另外，接触电阻仅为为3~8Ω，其正向电压小，最大值为0.8V，典型值为0.65V。


BES主要用于电信无线电、汽车防撞雷达和空间通信系统等应用中的混频器、收发器和功率检测器设计。UMS公司采用BES工艺的产品有CHE1270-QAG、CHE1260-QAG、CHM2378a99F、CHM1270a98F。其中，CHE1270-QAG和CHE1260-QAG两款都为检测器，用于需要精确的发射功率控制的多种应用，通常是商业通信系统；CHM2378a99F是双通道混频器，具有极低的变频损耗和噪声；CHM1270a98F是双通道自偏置收发器，具备极佳的中频噪声性能。



表1  BES的主要电气特性

参数

最小值

典型值

最大值

单位

条件

二极管（1×5μm）

理想因子n

1.0

1.2

1.3

-

二极管V=0.55V

J0二极管

-

3e-6

1e-4

A/cm2

串联电阻Rs

3

5

8

     Ω

二极管I=15mA

击穿电压V_bd

-10

-6.5

-5

V

二极管I=-20μA

正向电压V_on

-

0.65

0.8

V

二极管I=20μA

共面二极管（1×5μm）

等效电路

截止频率

3

THz

本征电容Cj

8

fF

寄生电容Cp

6

fF

TaN电阻/

薄层电阻

26

30

34

Ω/平方

MIM电容/

密度

290

330

370

pF/mm2

@1MHz

TiWSi电阻

薄层电阻

800

1000

1200

Ω/平方

GaAs电阻/

欧姆接触电阻

-

0.05

0.3

Ω/平方

GaAs薄层电阻

7

9

11

Ω/平方

 

BES主要特点：

1.0μm 肖特基二极管工艺

全部光学工艺

典型频率：3THz

TaN和TiWSi电阻

GaAs电阻

MIM电容

空气桥

全通导孔

硅片厚度：100μm

硅片直径：100㎜

通过宇航级品质评估，并列入欧空局（ESA）的欧洲优选器件列表（EPPL）

 

采用BES工艺开发板特点：

适用于Keysight的ADS，NI-AWR的Mwo和Ansoft的Nexxim

可依据输入自动生成原理图

为海量设备提供可扩展样例

可扩展的非线性二极管模型

提供二次开发的说明资料

技术顾问：采红帽的大金刚
授权代理商：世强先进（深圳）科技股份有限公司
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混频器 收发器 CHE1270-QAG CHE1260-QAG CHM2378a99F CHM1270a98F UMS 管状电机

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  • terrydl Lv9. 科学家 2019-07-12
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型号- CHA6682-QCB,CHM1294-99F,CHK9013-99F,CHA1008-99F,CHA6682-QKB,CHA7063-QCB,CHA3090-98F,CHA5659-QXG,CHK015AAQIA,CHA3688AQDG,CHKA012-99F,CHA2595-98F,CHA8262-99F,CHA4105-QDG,CHC6094-QKB,CHA2069-QDG,CHW4212-QKA,CHA6094-QKB,CHA6682-98F,CHA2595-QDG,CHA3396-QDG,CHA8362-99F,CHC6094,CHA4350-QDG,CHA6652-QXG,CHA3397-QDG,CHM1080-98F,CHW4313-QAG,CHA2080-98F,CHE1270-QAG,CHA6095-QKB,CHA3409-98F,CHA3398-QDG,CHA6653-QXG,CHA7453-99F,CHK8101A99F,CHA6354-QQA,CHT4690-QAG,CHA3024-QGG,CHC6054-QQA,CHA2352-98F,CHK9014,CHA3395-QDG,CHW4312-QKA,CHA2159-99F,CHA3656-QAG,CHR2295-99F,CHA2494-QEG,CHA7455-99F,CHA6194-QXG,CHA7250-QAB,CHA2368-98F,CHK5010-99F,CHM1298-99F,CHA3080-98F,CHR1080A98F,CHA7060-QAB,CHA6357-QKB,CHA4220-QGG

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产品型号
品类
RF Bandwidth (GHz)min
RF Bandwidth (GHz)max
Gain RX(dB)
Gain TX(dB)
Pout TX(dBm)
NF RX(dB)
Number of Bit Atten.
Bias(mA)
Bias(V)
Case
CHC2442-QPG
传感器
24
24.5
37
VCO incl.
13.5
11.5
5
225
3.3
QFN

选型表  -  UMS 立即选型

UMS混频器/降频器选型表

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产品型号
品类
RF Bandwidth (GHz)min
RF Bandwidth (GHz)max
LO Bandwidth (GHz)min
LO Bandwidth (GHz)max
IF Bandwidth (GHz)min
IF Bandwidth (GHz)max
Conv. Gain(dB)
Noise Figure(dB)
P-1dB IN(dBm)
LO Input Power(dBm)
Bias(mA)
Bias(V)
Case
CHR3762-QDG
降频器
5.5
9
4
12
DC
3.5
14
1.7
-5
5
100
3
QFN

选型表  -  UMS 立即选型

利用非常高的频率和成本效益的UMS-BES肖特基二极管工艺

描述- **Shared Foundry Offer 2024**活动由United Monolithic Semiconductors（UMS）推出，提供基于BES Schottky二极管工艺的共享晶圆代工服务。该服务将于2024年4月19日启动，适用于多种高频电路设计，包括雷达信号分析、功率控制环路和天文学信号检测等。BES工艺适用于低转换损耗、高频和高产量MMIC生产，已被欧洲空间局列入推荐组件清单。设计师可以以2000欧元/平方毫米的价格参与BES工艺的共享晶圆代工。UMS提供在线申请流程，并详细说明了参与方式和价格计算。

型号- CHE1260-QAG,BES,CHM2378A99F,CHM1270A98F,CHE1270-QAG

2024/2/2  - UMS  - 技术文档 代理服务 技术支持 批量订货 查看更多版本

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型号- CHC2442-QPG/20,CHC2442-QPG/21,CHC2442-QPG,CHC2442

2016年07月01日  - UMS  - 数据手册 代理服务 技术支持 批量订货

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型号- PH10,CHR1080-98F,CHA1008-99F,CHA3080-98F,CHM1080-98F,CHA2080-98F,CHA3090-98F

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2019-11-13 -  器件选型 代理服务 技术支持 批量订货
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品类：Bidirectionnal Detector

价格：￥115.5918

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品类：Single Side Band Mixer

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品类：Single Side Band Mixer

价格：￥202.7374

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品类：Single Side Band Mixer

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品类：芯片

价格：￥7.1100

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