【经验】以安费诺 MiCS-5524为例介绍金属氧化物气体传感器以及使用方法

时间： 2020-10-11 来源：世强

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安费诺的空气质量传感器，根据测量原理不同分为金属氧化物、电化学、非色散红外、催化燃烧等等类型。其中金属氧化物MOS类传感器，基于半导体硅工艺适合大批量生产，成本低适合于智能家居、消费类家电领域。下面结合MiCS-5524为例介绍MOS类传感器和使用方法。

上图为金属氧化物气体传感器的实物和构造图，感应单元采用金属氧化物（MOS）工艺，制造在硅基上，不同浓度的气体感应单元的电阻产生变化。为了使MOS单元的阻值尽快稳定，需要搭配加热单元，安费洛采用了专利多晶硅技术支持加热单元，更易加工。根据MOS的原理，主要有两点需要注意：

1、一般某种MOS传感器能检测多种气体，这些气体都能造成阻值变化，如果需要检测特定气体可以考虑其他类型比如电化学传感器。所以MOS传感器一般用来检测一种或多种气体的阈值，比如MiCS-5524检测的气体基本都是可燃性气体可以做天然气泄漏检测，每种气体造成的阻值规律不同，实际使用时可以记录下不同浓度下的阻值，设定一个或多个阈值做报警功能。

2、MOS传感器检测气体浓度时，阻值变化有个过程，为了加快检测速度和精度需要对传感器进行预加热。比如MiCS-5524支持最大加热功率80mW左右，可以在检测时间和功耗上面做权衡，决定串联的电阻大小。

综上所述，简要分析了MOS气体传感器的原理和使用方法。MOS传感器适合于综合气体浓度的阈值检测，并且需要加热单元配合。如果需要不同类型气体的MOS传感器，可以联系世强推荐。

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