【应用】按钮压缩式力传感器，内设半导体微机械硅压阻式应变片，可用于力检测

时间： 2021-08-30 来源：TE Connectivity

技术问答

随着工业4.0趋势的发展，在工厂车间使用机器人、采取自动化和控制系统已成为提高生产效率和盈利能力的重要方式。对工业机器人自动化需求的提高，使得传感技术将继续成为数据收集的重要基础。本文介绍力传感器在机器人领域用作力检测的应用。

机器臂中需要大量的力检测和力反馈数据，来确定抓取物体过程中的力度是否合适，以及通过不同的称重数字保证制造过程的一致性。其中，力传感器担当着机械臂受力的使命。力传感器最基本的特性是灵敏度、稳定性、可重复性和精度。此外，力传感器还能够在正常使用和操作过程中承受一-定程度的高过载(包括意外跌落和其他不可预见的压力)而不会损坏。

TE的FX29 按钮压缩式力传感器

TE的FX29按钮压缩式力传感器，兼具高性能和性价比，同时设计尺寸非常紧凑。核心传感元件是一个半导体微机械硅压阻式应变片。每个力传感器有四个精心排布的MEMS裸芯片。这些应变片根据密切匹配的热/电工作特性配对，形成-个惠斯通电桥，其中两个应变片测量张力，另外两个应变片测量压缩力，应变片所依附的基板可在受到外界力或扭矩作用时变形。电桥产生的差分电压输出信号与外界施加在FX29基板上的力的大小成正比。

与许多制造商使用的粘结箔应变片(BFSG)技术相比，半导体应变片具有75倍的灵敏度，因此可支持更硬的负载受力结构和更小的应力等级，但仍可产生10倍的信号输出，十分适合对于灵敏度和稳定性有高要求的机器手臂的应用。

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qinge2010 Lv4. 资深工程师 2024-08-15

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目录- 数字元件传感器和开发工具流量传感器力传感器湿度传感器液位传感器血氧传感器压电薄膜传感器位置传感器压力传感器速率和惯性传感器扫描阀及系统速度传感器温度传感器扭矩传感器超声波传感器振动传感器水位传感器

型号- 7504A,3255A,T500,1220,CD9515,DSD 25,68CM1,FS-90,1210,FS-91,4602,HTU3535PVBM,4604,7505A,AISI-304,1230,MS4525DO,DSD 17,MACRO CD375,TSYS02D,D5100,4610,MS8607,ACCUSTAR EA,EPRB,XP5,805,808,89BSD,D,E,F,T400,4630,SDT1,1240,P1200,606M1,PS2011AB,DSD 40,ELM-4000,3058A,MS5803-01BA,FMT,SIL-3,M7100,LS809-31,EGCS-D5,4332M3,TLH100,FTP520,MS54XX,EGCS-D0,ESP 64HD,XL403D,AST46HA,710,832,FN7110,834,EB,PS501,LDM-1000,U86B,DP86,52M30,PS2021AB,EV,M905,EX,720,RVIT-Z,603,LS509-51,ELM-5000,TS318-3B0814,FN4070,H005,H009,TLH,610,RCS01-10,31207B,FTP540,PML 1000,LDS309-11N,EPB-PW,735,EVS722-51,FN9630,MACRO HPGS 750,GC,FN9635,FLDT1,U7100,FTP530,85F,FN4080,AISI-400,834M1,HTU2X,ARD154,EPB,EGAXT,VS804-21,HC,65210E,EPL,7108A,86A,CLP,AST46SW,HR,MS52XX,AST4510,KMT32B,KPSI 730,750,KPSI 735,FTP560,633,634,7531A,XFTC300,Y12AD,FTP552,FTP553,FTP554,AST4401,AST4400,AST4520,KPSI 720,U5700,KPSI 600,FN4055,KPSI 601,MS5803-30BA,FTP551,31206B,FN9620,DPG,LL-01,FN7325,DPL,DPN,98RK-1,64B,40A,64C,40B,HTF3000LF,52F,3022,DSF EX-ATEX,KPSI 750,KMT37,FN3050,TPT,64X,KMT39,9916,53A,AST43LP,AST4500,KPSI 500,KPSI 501,KPSI 745,3028,GÏΜÁÐ,86BSD,8811-01,PM50,KMA36,TSYS01,LT,TSYS02,ATA-2001,KMT36H,P900,LBB,PM81,FN3030,DSD,3038,DSF,CM-01,DSH,8021-AP,8021-AR,DSL,PM83,ML,DT1,4020,TSD,6200,DSS,AST46PT,AST44LP,805M1,AST4600,DSY,TSD305,7500A,DC-SE,EGAXT3,MS5525ASO,4030,LDTC,XPM10,MS4515DO,330,MACRO HSTA/R,KPSI 710,MSP300,335,AST20HA,XS-C,XS-D,7501A,LL-10,HTU3535PVBM/WIRE,MACRO SSI/R,PT101,HTG351XCH,AST2000H2,342,KPSI 700,16HD,KPSI 705,LS304-31,LMM-H04,LMM-H03,FN3148,DSD 70,7502A,7514A,P700,4810A,CD1110,KPSI 330,8021-VP,8021-VR,KPSI 335,AST4000,EÏΜÁÐ,7135A,13,XFL212R,6000,17,LVM-110,KPSI 320,AST44XX,8711-01,121,FN3002,AST5100,LCS-03,FN3000,CS1120,R36,PCA 375,U5300,RT9,RT8,M3200,7100A,23,9400,TLH600,CPA150,27,HS1101LF,28,M210,AST20SW,KPSI 351,KPSI 353,HTU383X/WIRE,IT9000,130,KPSI 355,AST5300,AST4100,SG,CD1140,XPM4,SK,7101A,SM,FX19,MSP100,EPM-5000,SP,TPT300V,PM101,MSP340,SR,33,37,PT9000,AST45XX,KPSI 342,1201F,MT3A,ACH-01,SL-630,M5600,7102A,43,TS,EL20-S458,MS5805,XFU400,SP683,47,MS5803,MP 2000,P981,KPSI 30,HTM2500LF,CS1210,AST5400,MLP,FN1010,HTU2XF,HM1520LF,TS305-10C50,TRUBLUE 585,16MS,52,KPSI 27,MS32,KPSI 28,58,DÏΜÁÐ,MS1451,XPM6,AST46XX,ESP 32HD DTC,160,PT1,161,AST4200,PT5,DSH 16,DOG2,FX29,ESP 64HD DTC,7104A,TRUBLUE 575,FN2114,US300,9146-R,PTX,85BSD,7105A,MS5837,9216,KMA36A,AST20PT,AST4300,MS1471,9146-T,808M1,U5600,FN2570,CD1050,EPM-4001,XP,82,MS5525DSO,85,86,TRUBLUE 555,FS-01,89,MS5607,FS-02,8011,MS4515,FS-05,FS-06,ED32I,MACRO GHSE/R,MS5840,PS2031AB,G系列,8032-01,FN2420,R60D,3052A,154BSD,MS4525,MS5611,XFC200R,EPIH,ELAF,HTU383X,M12,3801A,1620,KMY,65210ES,KMZ,FN2317,M150,AST46DS,11206AC,PS831,8021-01,EGCS-D1S,KPSI 300DS,1630,820M1,XPC10,TSEV,53AF,140A,SL-900,MS5637,MS4426,CD1124T,MS4425,EVS312-11N,MT2,MT3,CS1060,CD1095,832M1,VCS-06,MTA,VCS-04,3700,M5200,FN7080,P105,P101,32HD,9022,E系列,FS19,HTU21DF,7131A,FC22,FC23,4630M12,9034,142A,9038,154N,4801A,9032,LIM-420,9033,5905,7132A,LTA,LTB,4630M14,5903,PT8000,P125,TS318-5C50,T600,8102A,LTR,HM1500LF,D系列,R30A,HTU21D,8011-01,PS801,KPSI 380,NDT-1,FS20,4835A,AST43XX,ACCUSTAR,U5200,1201,FCA7300,AD-101,PS811,VS309-51N,KMXP,11207AC

选型指南 - TE CONNECTIVITY - 2019年6月 PDF 中文下载

TE Connectivity（泰科）传感器选型指南

目录- Company Profile DIGITAL COMPONENT SENSOR DEVELOPMENT TOOLS FLOW SENSORS FORCE SENSORS HUMIDITY SENSORS LIQUID LEVEL SENSORS PHOTO OPTIC SENSORS PIEZO FILM SENSORS POSITION SENSORS PRESSURE SENSORS RATE AND INERTIAL SENSORS SCANNERS AND SYSTEMS SPEED SENSORS TEMPERATURE SENSORS TORQUE SENSORS ULTRASONIC SENSORS VIBRATION SENSORS WATER LEVEL SENSORS

型号- 7504A,3255A,T500,8011-AR,8011-AP,CD9515,DSD 25,68CM1,FS-90,FS-91,6900,4602,4604,7505A,MS4525DO,DSD 17,TSYS02D,CWW600,D5100,4610,MS8607,EPRB,XP5,805,5903 SERIES,808,89BSD,T400,4630,SDT1,P1200,606M1,PS2011AB,LDTC FAMILY,DSD 40,ELM-4000,3058A,MS5803-01BA,FMT,SIL-3,M7100,700,LS809-31,EGCS-D5,TLH100,4332M3,FTP520,MS54XX,EGCS-D0,ESP 64HD,XL403D,AST46HA,832,FN7110,HSTA,834,EB,PS501,LDM-1000,U86B,DP86,KMXP 1000,52M30,PS2021AB,M905,RVIT-Z,603,LS509-51,ELM-5000,TS318-3B0814,FN4070,H005,PT500,H009,610,RCS01-10,31207B,FTP540,CWW850,PML 1000,LDS309-11N,EPB-PW,EVS722-51,CWW1000,FN9630,GC,FN9635,FLDT1,U7100,FTP530,85F,FN4080,834M1,HTU2X,ARD154,EPB,EGAXT,VS804-21,HC,65210E,EPL,7108A,86A,CLP,AST46SW,HR,MS52XX,KMXP 2000,AST4510,KPSI 730,KPSI 735,FTP560,633,634,7531A,XFTC300,Y12AD,18FR,FTP552,FTP553,FTP554,AST4401,AST4400,AST4520,KPSI 720,U5700,KPSI 600,FN4055,KPSI 601,400,MS5803-30BA,FTP551,31206B,FN9620,DPG,TRUBLUE 255,LL-01,FN7325,DPL,DPN,64B,40A,64C,40B,HTF3000LF,52F,3022,KPSI 750,KMT37,FN3050,TPT,64X,KMT39,9916,53A,AST43LP,ESP 16HD,AST4500,KPSI 500,KPSI 501,KPSI 745,3028,86BSD,8811-01,PM50,KMA36,TSYS01,LT,TSYS02,ATA-2001,KMT36H,P900,LBB,G-SERIES,PM81,FN3030,DSD,3038,DSF,CM-01,DSH,8021-AP,8021-AR,DSL,PM83,CD375,ML,DT1,4020,TSD,6200,DSS,AST46PT,AST44LP,805M1,AST4600,DSY,TSD305,7500A,DC-SE,EGAXT3,4030,LDTC,XPM10,MS4515DO,KPSI 710,PT100,MSP300,AST20HA,XS-C,XS-D,7501A,LL-10,HTU3535PVBM/WIRE,PT101,6100,SSI,HTG351XCH,AST2000H2,KPSI 700,SSR,KPSI 705,TRUBLUE 275,LS304-31,LMM-H04,LMM-H03,FN3148,TSYS,DSD 70,7502A,7514A,P700,APS,4810A,CD1110,KPSI 330,8021-VP,8021-VR,KPSI 335,AST4000,7135A,5905 SERIES,400 SERIES,XFL212R,6000,LVM-110,KMXP 5000,KPSI 320,AST44XX,8711-01,121,FN3002,AST5100,LCS-03,FN3000,CS1120,R36,PCA 375,U5300,RT9,RT8,M3200,7100A,9400,TLH600,CPA150,HS1101LF,M210,AST20SW,KPSI 351,KPSI 353,HTU383X/WIRE,130,IT9000,KPSI 355,AST5300,AST4100,SG,CD1140,XPM4,SK,7101A,SM,FX19,MSP100,SP,EPM-5000,TPT300V,PM101,MSP340,SR,12FR GP,PT9000,AST45XX,KPSI 342,1201F,MT3A,ACH-01,SL-630,M5600,7102A,PT1000,TS,EL20-S458,8011-VP,MS5805,XFU400,MS5803,MP 2000,P981,HSTAR,KPSI 30,HTM2500LF,CS1210,AST5400,E-SERIES,MLP,FN1010,HTU2XF,HM1520LF,TS305-10C50,24FR,TRUBLUE 585,16MS,52,8011-VR,KPSI 27,MS32,KPSI 28,58,MS1451,XPM6,160,AST46XX,ESP 32HD DTC,PT1,161,ACCUSTAR EA,AST4200,PT5,DSH 16,DOG2,FX29,MMX,12FR,ESP 64HD DTC,7104A,TRUBLUE 575,FN2114,US300,9FR,9146-R,GHSE,PTX,85BSD,7105A,MS5837,9216,KMA36A,AST20PT,AST4300,MS1471,9146-T,808M1,U5600,FN2570,CD1050,EPM-4001,XP,82,MS5525DSO,85,86,TRUBLUE 555,FS-01,89,MS5607,FS-02,FS-05,FS-06,ED32I,MS5840,PS2031AB,8032-01,FN2420,R60D,3052A,154BSD,P9000,MS5611,XFC200R,EPIH,ELAF,ESP 32HD,M12,3801A,1620,KMY,65210ES,KMZ,FN2317,M150,AST46DS,11206AC,10FR,PS831,8021-01,EGCS-D1S,KPSI 300DS,1630,820M1,XPC10,TSEV,53AF,140A,SL-900,MS5637,CD1124T,EVS312-11N,MT2,MT3,CS1060,CD1095,832M1,VCS-06,MTA,VCS-04,3700,M5200,FN7080,P105,P101,9022,FS19,7131A,FC22,FC23,4630M12,9034,142A,9038,154N,4801A,9032,LIM-420,9033,5905,GHSER,7132A,LTA,ACCUSTAR IP66,LTB,4630M14,5903,PT8000,P125,TS318-5C50,T600,8102A,LTR,HM1500LF,R30A,GHSER 750-A,HTU21D,8011-01,PS801,700 SERIES,KPSI 380,NDT-1,FS20,FS22,4835A,AST43XX,D-SERIES,FS23,U5200,1201,1200,HPGS 750,FCA7300,AD-101,PS811,VS309-51N,KMXP,11207AC

选型指南 - TE CONNECTIVITY - 06/2019 PDF 英文下载

DIALYSIS SENSOR SOLUTIONS

型号- LL01,HDI SERIES,FS19,AD-101,FX29,85BSD-F,PT1000,FS20,HCE,HDI,HCE SERIES

快速参考指南 - TE CONNECTIVITY - 06/23 PDF 英文下载

TE提供适用于医用泵应用的力传感器、气泡检测传感器、各向异性磁阻位移传感器和温度传感器

TE Connectivity的力传感器可检测阻塞，以确认将药物输送给患者的管道内没有阻塞；气泡检测传感器能够积极识别各种类型液体中是否存在流动中断；各向异性磁阻 (AMR) 位移传感器可监测医用泵电机的角度或线性位移；温度传感器用于监测和控制输送到患者体内的注射液体的温度。

厂牌及品类发布时间 : 2020-05-12

TE Sensors For Dialysis Machines Allow Safety-critical Monitoring in the Blood Circulation and Dialysate

TE Connectivity’s sensors for dialysis machines allow safety-critical monitoring of liquid level, flow, temperature and pressure in the blood circulation and dialysate.

厂牌及品类发布时间 : 2021-12-18

SENSORS FOR COLLABORATIVE ROBOTS (COBOTS)

型号- FX29,KMXP

商品及供应商介绍 - TE CONNECTIVITY - 04/2023 PDF 英文下载

TE提供适用于IIoT市场的传感器系列产品，提高工厂车间效率，推动机器人自动化技术进步

TE Connectivity提供的解决方案可帮助您获得所需的精确数据、实时测量压力、湿度、力、振动、温度、位移等，从而提高工厂车间的效率、生产力和产品质量。TE传感器是不断发展的IIoT行业的支柱，为数百个功能与操作中的数千个应用提供服务。

厂牌及品类发布时间 : 2022-06-02

TE Connectivity（泰科TE）手持与便携式器件/增值型组件/数据通信架构等产品应用指南（中文）

描述- 新产品应用指南 2019年10月

型号- QSFP56,2118900-1,FCC-360,2342891-2,SFF-TA-1002,MS5840-02BA,SFP56,2318579-1,250 系列,MS5837-02BA,EV600,8-2834334-2,T4051420003-001,820M1,AD-101,FX29,T4162224005-005

应用及方案 - TE CONNECTIVITY - Rev 7 - 2019年10月 PDF 中文下载

【白皮书】TE Connectivity（泰科TE）适用于医用泵应用的传感器

型号- AD-101,FX29,FX1901,FS20,FC22

白皮书 - TE CONNECTIVITY PDF 中文下载

【产品】按钮压缩式力传感器FX29，设计尺寸紧凑，适用于各类力觉感知应用

TE Connectivity发布的FX29按钮压缩式力传感器兼具高性能和卓越价值，同时设计尺寸非常紧凑。其核心传感元件是一个半导体微机械硅压阻式应变片，每个力传感器有四个精心排布的MEMS裸芯片。与常用的粘结箔应变片 (BFSG) 技术相比，半导体应变片具有75倍的灵敏度，可支持更硬的负载受力结构和更小的应力等级，但仍可产生10倍的信号输出。

新产品发布时间 : 2019-07-30

智能时代医疗应用传感器发展报告

型号- ELM-5000,HTU 系列,44000,SM9000,PTF 系列,SM7000,KMT36H,SPD 系列,KMT32B,TSYS03,PF5040139,MT2A,FS19,MT2E,ELM-4000,10184000-01,SM11X1,SM6000,G-TPCO-03,1620,PTX150,AD-101,ELM 系列,FX29,HTU31,LMM-H04,85F 系列,M5200

应用及方案 - TE CONNECTIVITY PDF 中文下载

TE Connectivity（泰科TE）手持与便携式器件/增值型组件/数据通信架构等产品应用指南（英文）

描述- 新产品应用指南 2019年10月

型号- QSFP56,2118900-1,FCC-360,2342891-2,SFF-TA-1002,MS5840-02BA,SFP56,2318579-1,250 SERIES,MS5837-02BA,EV600,8-2834334-2,T4051420003-001,820M1,AD-101,FX29,T4162224005-005

应用及方案 - TE CONNECTIVITY - rev 7 - 2019年10月 PDF 英文下载