First Sensor高精度惯性传感器，广泛适用于地球工程、状态监测或导航应用等
FIRST SENSOR（TE收购）拥有高度创新的高精度惯性传感器制造用技术平台，广泛适用于地球工程、状态监测或导航应用等领域。MEMS系列传感器可根据客户的个性化应用需求灵活定制。
电容式倾角计与加速度计采用单晶硅传感器元件，融合最先进的微机械加工技术，实现高性噪比和优异的温度稳定性，因此能够检测极其微小的倾角或加速度变化。
得益于高宽比微结构（HARMS），First Sensor系列传感器具有极低的交叉轴灵敏度。此外，已获专利的高度灵活型AIM（气隙绝缘微结构）技术可最大限度地减少寄生电容。
表1 倾角计参数
表2 加速度计参数
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