【产品】尼得科集成型/内联型压力传感器PA-920S/928S系列，可用于半导体加工设备的供气系统

时间： 2021-10-19 来源：Nidec

技术问答

尼得科（NIDEC）推出采用半导体加工设备的供气系统用压力传感器「PA-920S、PA-928S系列」。

本产品可用于半导体加工设备的供气系统，气箱等，独特的外壳设计和电路设计实现小巧轻便，压敏元件使用SUS316L双熔体材料形成薄膜型半导体元件，主要适用于CVD设备，蚀刻设备等气体供给系统。

特征

(1) 小型，集成型/内联型（inline type ）的理想选择

(2) 产品形状为I型/ T型，输出为2种，接头为6种

(3) 因连接器接续，便于安装和布线

(4) 是传感器元件和接头焊接一体型

主要规格

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日本电产集团综合产品目录(Nidec Group Products Catalog)

型号- PM4系列,H300,D SERIES,NRFEIS-5060,DFS,GATS-2000 SERIES,TPI SERIES,GATS-7800 SERIES,R-6100,TVX,GATS-6300,GATS-8600,SX-20,RWI SERIES,ZI20A,GATS-7500系列,LSR-3230,BP100,RSH,GATS-7700 SERIES,K-MC1000,P2H系列,E300,GATS-2000系列,GATS-6300系列,NVM-6060GCP,VL-H系列,GATS-7500,MH3NCV,VL SERIES,GATS-7800系列,SS-SV,DEWE3-A4,TPI,TVX SERIES,RGA20,NRTES-1000 SERIES,FCPL,ΜV1,RSH系列,ZG SERIES,ID300,FMD,TPI系列,GATS-8600系列,S-CART,GATS-6300 SERIES,KS,CM,R-580,SS-SV SERIES,ANEX SERIES,LD SERIES,VP600GC,GE15FR PLUS,MD2,ANEX系列,NRTES-1000,P2H SERIES,FFB,VL系列,LS,RSH SERIES,RVL,VL-H SERIES,RVP,F600,SS-SV系列,S-FLAG,GATS-7500 SERIES,REC-92FT,DEWE3-PA8,ECO-KA,KCV1000-5AX,S-CART-V1000-LFT,RVL SERIES,RVP SERIES,R-700 SERIES,P2H,ZE16C,CPLS,S-CART-V500,HM500S,VM53RⅡ,GATS-7700,ANEX,NRTES-1000系列,HM-X6100,RWI,TVX系列,KA SERIES,S-CART-MINI,GATS-2000,PM4,VL-H,GATS-7700系列,CBZ,GH,GATS-8600 SERIES,R-700,R-5920系列,NRFEIS-3570,DFS SERIES,MVR-HX,MAF130EⅡ,BL-V20,ECO-KA SERIES,SERIES S-FLAG,RWI系列,HE,GATS-7800,R-5920

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PZ-200 Pressure indicators Instruction Manual

型号- PZ-200

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型号- LM700,DP100,GATS SERIES,E1540H,KV42,STAR REC SERIES,FY8S25-D3,E0515H,RWI SERIES,D1350X,LSR-3230,G1238C,NRTES SERIES,RSH,G1238B,AE SERIES,LE SERIES,LM SERIES,DMN37HB,CNDC,DMN37H,NVM-6060GCP,FED6P20S-D3,KH86,PG-100N,GQ938,KF42,FY6S6-D3,LA14G-487VA,E0720L,LA12GE-344SF,E0720H,AM SERIES,LPD6G,AQ SERIES,DEWE3-A4,PM SERIES,D1751,NRFEIS,PE62,TF029B,FP8S25U,PM101,D1238,PM100,PE SERIES,PUDC,MM SERIES,R-580,FHD6P20S-D3,E1232L,G1438,E0525H/K,E1027H,KLDC,FY8S15-D3,D0925,KT42,KH42 B900,RSH SERIES,RVL,KH56 B900,PM90 SERIES,PS97-103P-MG2-J,REC-71,LE105,FH6S40H-D3,FHD6P40S-D3,NE SERIES,KH60 B900,FP8S15U,FH6S20H-D3,RVL SERIES,D0938,KT35,STAR REC,PE70,E1331K,MM300,FP7S10U,WM100,AE46,D1225,KT60,GQ625,E1033H,DMN29BB,DMN29BA,RWI,G0838,E2271Z,E1033L,AQ56,NRTES,DMN37KB,NE86,KV28,LAV10C-001,AM51,AM52,AM50,FED6P10S-D3,AE56,AE52,FP10S40U,FY9S40-D3,R-7XX,TUDC,DMN37SA,DMN37SB,KH39 800,TF037C,TF037E,TF037F,DMN37KA,NRFEIS SERIES,DMN37JB,PM90,REC-92FT,G1751,DMN37BA,GATS,DMN37BB,R-5920,GQ638

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PA-20 PRESSURE TRANSDUCER WITH AMP. PS20 PRESSURE SWITCH INSTRUCTION MANUAL

型号- PS20,PA-20-102V-U-3M,PS20-102V-NU,PA-20

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致力于所有的“转动体与移动体”

型号- T2114,P2H SERIES,VL SERIES,17S SERIES,TDA113C08,GATS-7750 SERIES,VL-H SERIES,K-MC6000,TVX SERIES,SPEAR,REC-71,MATE SERIES,GATS-2000 SERIES,NRTES-1000 SERIES,R-730 SERIES,GATS-7800 SERIES,R-680E/6100,NRTES-6000 SERIES,SX-20,S-CART,GATS-8600 SERIES,LSR-3230,EV SERIES,BP100,TDA111C12,RVL SERIES,RVP SERIES,WTY2 SERIES,S-CART1000,GATS-6300 SERIES,TDA112C07,GATS-7700 SERIES,R-580,DEWE2-A4,K-MC1000,10S SERIES,SS-SV SERIES,ANEX SERIES,QUANTUM SERIES,LD SERIES,28S SERIES,REC-92FT,VS SERIES,R-5920

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P-3000S PRESSURE TRANSDUCERS

型号- P-3000S-501G-02,P-3000S-501G-04,P-3000S-101D-04,P-3000S-101G-04,P-3000S-351A-10,P-3000S-501D-04,P-3000S-101D-10,P-3000S-501D-02,P-3000S-351A-04,P-3000S-702G-04,P-3000S-101G-10,P-3000S-501D-10,P-3000S-501G-10,P-3000S-102D-04,P-3000S-500G-04,P-3000S-102A-10,P-3000S-102A-04,P-3000S-102D-02,P-3000S-102G-04,P-3000S,P-3000S-102G-02,P-3000S-102G-10,P-3000S-502G-04,P-3000S-102D-10

数据手册 - NIDEC - 2020/06/19 PDF 英文下载

TRIMMER POTENTIOMETERS

型号- RJ9,ST-4 SERIES,ST-42ETA,SM-31,ST-42ETH,ST-42ETG,SM-32,ST-5ETW,CT SERIES,RJ SERIES,ST-5ETR,ST-5ETP,ST-2 SERIES,FT-63,CT-94,ST-4ETB,ST-4ETA,SM-3,SM-4,ST-5ETX,CT-6 SERIES,ST-4ETH,ST-4ETG,CT-9,RJ-9,TM-7,CT-6,RJ-5,RJ-6,CT-20,ST-42,ST-7ETA,ST-7ETB,TM7,ST-2,SM-42,SM-43,ST-7,ST-4,ST-5,ST-32ETG,RJ-13,ST-32,ST-32ETH,ST-32ETB,RJ-4,ST-32ETA,RJ5,RJ13,RJ4,RJ6

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TRIMMER POTENTIOMETERS

型号- CT-9,RJ-9,ST-42ETA,TM-7,SM-31,ST-42ETH,CT-6,ST-42ETG,RJ-5,RJ-6,CT-20,ST-5ETW,ST-42,ST-5ETR,ST-5ETP,ST-7ETA,ST-7ETB,FT-63,ST-2,CT-94,SM-42,ST-4ETB,SM-3,SM-43,ST-7,ST-4,ST-5,ST-5ETX,ST-32ETG,RJ-13,ST-32,ST-32ETH,ST-32ETB,RJ-4,ST-32ETA,ST-4ETH,ST-4ETG

用户指南 - NIDEC - 2023/12/26 PDF 英文下载

TRIMMER POTENTIOMETERS

型号- CT-9,RJ-9,ST-4 SERIES,ST-42ETA,TM-7,SM-31,ST-42ETH,CT-6,ST-42ETG,RJ-5,RJ-6,CT-20,ST-5ETW,ST-42,ST-5ETR,ST-5ETP,ST-7ETA,ST-7ETB,ST-2 SERIES,FT-63,ST-2,CT-94,SM-42,ST-4ETB,ST-4ETA,SM-3,SM-43,ST-7,ST-4,ST-5,ST-5ETX,ST-32ETG,RJ-13,ST-32,ST-32ETH,ST-32ETB,RJ-4,CT-6 SERIES,ST-32ETA,ST-4ETH,ST-4ETG

用户指南 - NIDEC - 2023/10/13 PDF 英文下载

TRIMMER POTENTIOMETERS

型号- CT-9,RJ-9,ST-4 SERIES,ST-42ETA,SM-31,TM-7,ST-42ETH,CT-6,ST-42ETG,RJ-5,RJ-6,CT-20,ST-5ETW,ST-42,ST-5ETR,ST-5ETP,ST-7ETA,ST-7ETB,ST-2 SERIES,FT-63,ST-2,CT-94,SM-42,ST-4ETA,SM-3,SM-43,ST-7,ST-4,ST-5,ST-5ETX,ST-32ETG,RJ-13,ST-32,ST-32ETH,ST-32ETB,RJ-4,CT-6 SERIES,ST-32ETA,ST-4ETH,ST-4ETG

用户指南 - NIDEC - 2023/5/25 PDF 英文下载

TRIMMER POTENTIOMETERS

型号- CT-9,RJ-9,ST-4 SERIES,ST-42ETA,TM-7,SM-31,ST-42ETH,CT-6,ST-42ETG,RJ-5,RJ-6,CT-20,ST-5ETW,ST-42,ST-5ETR,ST-5ETP,ST-7ETA,ST-7ETB,ST-2 SERIES,FT-63,ST-2,CT-94,SM-42,ST-4ETB,ST-4ETA,SM-3,SM-43,SM-4,ST-7,ST-4,ST-5,ST-5ETX,ST-32ETG,RJ-13,ST-32,ST-32ETH,ST-32ETB,RJ-4,CT-6 SERIES,ST-32ETA,ST-4ETH,ST-4ETG

用户指南 - NIDEC - 2023/4/12 PDF 英文下载收起

PRESSURE SENSORS HANDLING NOTES

型号- TS-6-M5M,P-8300,P-8305,PS30,P-8505,TS-4-M5,PA-708,PZ-30,PA-758,PS6,PS8,PA-830,TS-4-M5M,PA-750,PG-100,PS83,WL10,PA-20,PC4-M5M,PA-928S,PS20,PA-920S,PG-100B,PG-100N,PC6-M5,TS-6-M5,PA-848,PC6-M5M,PG-35H,LC-0640-M5,PA-858,PG-35L,PA-930,PA-853,PS60,PA-850,PG-20,PG-200,PS85,PG-208,PA-838,PA-800,PG-35,BF4,PA-838-D,BF6,PA-968,LC-0425-M5,PA-840,PA-930-A,PC4-M5,PG-30,PA-960,PG-75,PS91

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PG-300 etc. OBSOLETE PRODUCTS AND RECOMMENDED REPLACEMENT

型号- P-8505,SPG20-100SK,PLR20-8101,P-8100,PA-708,PS4,M-22S10,PS3,PS6,PS5,SPS10-8100,PA-830,PS7,RE20F,RE20,PS85-VC,SPG20-100,PLM45,PS40,PG-100,RL46,PS83,PG-300,PA-858-VC,CA-10,REW45,M-2210,PG-100B,M-2205,M-2203,PG-100N,F310T,PA-300,JP-16,LC20G,PA-75,LC37G,CD-10,SP27,F455B,PS10,PA-808,RE40,SPG20-1000SK,SPG27SK,PG-35H,M-1305,RE45,SPS10-8000,PA-858,M-1303,SPG20-1000,RE30E,F301R,RE30D,PS60,PLR40-1000,PA-850-VC,PA-850,PA-87,PA-86,PLM25,PS86,PS85,PS87,PA-838,PG-35,PSA4,JP-16B,RE30,F251R,LC30G,F251T,RE38,LC22G

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