【产品】紧凑设计的MEMS传感器MiCS-6814,用于检测汽车尾气污染和农业/工业气味
MiCS-6814是AMPHENOL SENSORS公司生产的一个强大的MEMS传感器,用于检测汽车尾气污染和农业/工业气味。
图1 MiCS-6814产品样图
产品特性:
•紧凑设计的最小占地面积(5 x7 x1.55毫米)
•强大的MEMS传感器,适用于恶劣环境
•大批量生产,低成本应用程序
•缩短交货期
可检测的气体:
•一氧化碳 CO 1 - 1000ppm
•二氧化氮 NO2 0.05 - 10ppm
•乙醇 C2H5OH 10 - 500ppm
•氢 H2 1 - 1000ppm
•氨 NH3 1 - 500ppm
•甲烷 CH4 >1000ppm
•丙烷 C3H8 >1000ppm
•异丁烷 C4H10 >1000ppm
传感器性能:
图2 RED传感器性能表
图3 OX传感器性能表
图4 NH3传感器性能表
注:
1. 在受控环境条件下测量空气R0中的传感电阻,即RED传感器合成空气为23±5℃,相对湿度为50±10%;OX传感器合成空气为23±5℃,相对湿度≤5%。抽样测试。
2. 灵敏度因子定义为空气中的Rs除以CO为60ppm时的Rs。试验条件为23±5℃和50±10% RH。只显示值。抽样测试。
3.灵敏度系数定义为在0.25 ppm NO2下的Rs,除以空气中的Rs。试验条件为23±5℃,≤5% RH。只显示值。抽样测试。
4. 灵敏度因子定义为空气中的Rs除以NH3浓度为1ppm时的Rs。试验条件为23±5℃,50±10% RH。只显示值。抽样测试。
配备推荐的电源电路:
图5 配备推荐的电源电路图
R1是130欧姆,R2是820欧姆,R3是27欧姆。这些电阻是必要的,以获得正确的温度对三个独立的加热器,而使用一个单一的5v电源。产生的电压通常为VhRED =2.4 V, VhOX = 1.7 V, VhNH3 = 2.2 V。
带有测量电路的MiCS-6814:
图6 带有测量电路的MiCS-6814电路图
上面的示例显示了使用8位A /D转换器读取1 k欧姆和2M欧姆之间电阻的原理。根据应用和A/D转换器的精度,一个负载电阻为56 k欧姆可能就足够了。负载电阻最低必须为820欧姆,以免损坏敏感层。
图7 热参数图
图8 评定范围图
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