敏芯微提供1~4mm高端定制化MEMS扫描镜芯片,包含一/二维扫描镜,助力激光应用智能传感发展

2023-05-08 敏芯股份公众号
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MEMS扫描镜也称为MEMS微镜,是将微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起制造而成的光学MEMS器件。MEMS扫描镜通过镀膜镜面的共振偏转实现激光光束的高速动态扫描,其通过半导体工艺加工制成,具有扫描效率高、体积小,重量轻,批量化、使用寿命长、功耗低、成本低等优点。在激光雷达、机器视觉、微型投影、生物医疗等应用具有广泛的需求,是激光应用必不可少的关键激光元器件


根据扫描轴的数量,MEMS扫描镜可以分为单轴和双轴两种。单轴扫描镜具有结构、工艺简单、成本低、扫描角度大等优势;双轴扫描镜单芯片则可实现二维扫描,最能体现MEMS技术的优势,但其技术难度高。


MEMS扫描镜方案助力智能传感发展。敏芯股份作为国内屈指可数掌握多品类MEMS芯片设计和制造工艺能力企业,可提供高端定制化的MEMS扫描镜芯片,包含一维扫描镜二维扫描镜,扫描镜的镜面尺寸包含1mm-4mm,镜面镀金。


通过半导体工艺加工制造,首先通过EPI和CMP工艺形成绝缘槽,实现电极的隔离,后通过DRIE工艺形成梳齿结构的驱动部件,通过静电驱动原理来驱动中心镜面进行扭转振动。


同时,敏芯股份提供MEMS振镜的驱动和控制电路,可减少开发者的开发难度,加快开发进程。

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技术资料,数据手册,3D模型库,原理图,PCB封装文件,选型指南来源平台:世强硬创平台www.sekorm.com
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型号- AFD2000,AMS1000,AGS02MA,AHT21-F,AM2108,AHT20-F,AHT2315C,AEM1000,AHTT2820,DHT11,AM1011A,APR5852,AMC1000,AFM3000,AHS01IB,ACM483T-A,ADP210系列,AM2305B,AOF1010,APM10,AHT25,AMS1000系列,AM2301B,NAC-6KB,AFM0725,AHT2415C,DHT20,AMS2106,AO-09,AFM0200,ADP2100,ACD10,AMC2000,ACM2000,AGS10,AO-02,AO-03,AZDM01,AHT21B,AGS10ET,AO-07,AFS1100,AO-08

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型号- MSM261D4030Z1CM,MSM261D4020H1CPM,MSA310,MSM261DHT001,MSB112S,MSM381ACT001,MSM381A3526H9BPC,MSPC110-ADS1,MSM381ACP003,MSA311,MSM381A2718Z6EM2,MSM261D3526H1CPM,MST706,MST705,MSPC01-GDL6,MSPC01-GDL7,P210L,MSM421A3722H9KR,MST701,MSPC01-GDL1,MSM381A3729Z9E-C,MSM421A2718H9KR,MSP881,MSP880,MSM381ADB001,MSM371DDB005,MSM421A3729H9KRMC,MSM381ACB026,MSM381A2718Z9EM2E,MSM261D4030H1CPM,MSB113S,MSPC500-ADS1,MSM381A2718Z9EM2,MSPC15M-ADS1,MSM381A2718Z9EM3,MSM381ACB022,MSM381A2718Z9ZM2,MSM261D3526Z1CM,MSM381A3729H9BPC,MSM381A3526Z9BMC

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产品    发布时间 : 2022-05-03

ROHM Application Brochure for AUTOMOTIVE

型号- YQ10RSM10SD,BD52W04G-C,MCR01MZPF4302,BD900N1W,YQ12RSM10SD,YQ15RSM10SD,MCR01MZPF4702,SCT4062KW7HR,BR25H020,BR24H64,RB088LAM-60TF,YQ20BM10SD,BD933N1,SCT4045DRHR,PSR400,BD9P205EFV-C,MCR01,BD5310XG-CZ,LTR18,YQ3LAM10D,BD52W01G-C,SCT4026DEHR,SCT4062KRHR,BR25H128,BR25H010,BR25H1M,BR25H256,BD53103G-CZ,RB520ASA-30FH,RB551ASA-30FH,RB088LAM-60TFV,BD53106G-CZ,BM2LE160FJ-C,BV1LE080EFJ-C,YQ2LAM10B,SCT4045DEHR,BD54105G-CZ,BR24H01,MCR01MZPJ000,BR25H320,BM2LE250FJ-C,BR24H02,RGW00TS65CHR,BR24H04,YQ2MM10A,BR25H040,RB751ASA-40FH,BV1LE250EFJ-C,BR25H160,BR24H08,SCT4026DW7HR,YQ40NL10CD,BD52W03G-C,RB520ASA-40FH,SCT4045DW7HR,BD48W00G-C,RGW80TS65CHR,LTR18 SERIES,RD3G04BBJFRA,MCR10 SERIES,BD53108G-CZ,BD54103G-CZ,BD52W06G-C,RB521ASA-30FH,BD63800MUF-C,BR24H512,BR24H256,MCR03EZPF4700,RB550ASA-30FH,SML-D12D1WT86,BR24HXXX-5AC,BD7XXL05G-C,SMLVN6RGBFU,BD54102G-CZ,BD950N1,BD48HW0G-C,REFLED003-EVK-001,REFLED003-EVK-002,SCT4036KEHR,BD9XXN1,REFLED003-EVK-003,YQ8RSM10SD,REFLED003-EVK-004,YQ5RSM10SD,BR24H128,MCR01MZPF1502,YQ3MM10B,YQ3RSM10SD,RB886ASAFH,BD53104G-CZ,YQ30NL10CD,BD52W05G-C,PSR,BM2LEXXXFJ-C,YQ30NL10SE,BD733L05G-C,SCT4062KWAHR,YQ30NL10SD,BD54107G-CZ,SML-D12FWT86,BD950N1W,BD725L05G-C,BM2LE040FJ-C,BR24H16,BD933N1W,BD730L05G-C,BD750L05G-C,RQ3L120BKFRA,BR24H1,BD900N1,PSR350,MCR10,BD52W02G-C,SCT4036KRHR,BR25HXXX-5AC,BR25H512,BM2LE080FJ-C,BR25H640,BD53105G-CZ,BR25H080,PSR100,BD82A26MUF-M,PSR500,YQ2VWM10B,YQ20NL10CD,LMR1901YG-M,RGW60TS65CHR,BD5410XG-CZ,SCT4062KEHR,BV1LE040EFJ-C,BD9P105EFV-C,MCR01MZPF1002,YQ1VWM10A,BD54104G-CZ,YQ60NL10CD,BD9S402MUF-C,SCT4045DWAHR,YQ20NL10SE,BV1LE160EFJ-C,MCR01MZPF8201,YQ20NL10SD,BD53107G-CZ,BR24H32,YQ5LAM10C,YQ5LAM10D,YQ5LAM10E,SCT4026DRHR,PSR330,SCT4026DWAHR,BV1LEXXXEFJ-C,MCR01 SERIES

应用及方案  -  ROHM  - Ver.3.0  - 2024/4/19 PDF 中文 下载

【应用】采用背面进气方式的MEMS压力传感器用于电子烟,支持单芯片差压检测

随着电子烟产业规模快速扩大和产品迭代不断加快,也在客观上吸引着更多厂商入局。在这种大需求的背景下,敏芯微携其领先的MEMS技术解决方案进入电子烟行业,为行业带来开创性、选择性和颠覆性,进一步助力电子烟行业的健康发展。

应用方案    发布时间 : 2022-04-19

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品牌:敏芯微

品类:热电堆红外传感器

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品类:MEMS microphone

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