【产品】半导体材料表面缺陷检测仪SDD0.5-0.5可检瑕疵尺寸1μm，检测效率≤10分钟

时间： 2022-11-01 来源：中科卓尔官网

技术问答

针对表面疵病等级和类型，选择四倍远心镜头，特定角度环光和同轴光源的视觉方式。半导体材料表面缺陷检测仪运行时，样品沿X方向运动，视觉模组沿着Y方向进行缺陷检测。

性能参数

应用领域

对半导体显示和集成电路芯片制造领域中空白掩膜版的工艺控制和良率管理，以高通量光学检测技术对空白掩膜版表面缺陷进行快速、准确的自动化检测，根据领域用户需求开发一系列质量可靠、高性价比的高通量MASK检查机，帮助玻璃基板、掩膜版和面板制造厂商识别和监控掩膜缺陷，降低良率风险，核心技术自主研发。

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