【应用】光收发器LightVISION 10G VM助力基于SEM的缺陷审查系统,可传输高达120Gbps的数据

2022-02-22 Smiths Interconnect
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随着芯片制造工艺向10nm和7nm等越来越小的节点技术发展,芯片制造商的缺陷审查挑战正在增大区分致命缺陷和可行缺陷的能力越来越依赖于高端成像技术。传感器分辨率和捕获速度必须同时提高,才能提高机器吞吐量,并保持有效捕获最小缺陷。


应用

基于SEM的缺陷审查系统集成商面临着集成高分辨率和高帧率传感器的挑战。此外,具有实时自适应功能的新型智能机器能够实现更准确的缺陷分类,这也需要更快、更好的数据传输链路。 


这意味着这些先进的系统必须将更多的数据从传感器传输到计算机。他们还需要一个真正可靠的数据链路,且不会引入噪声。为了数据完整性、链路可靠性需要以高于10 Gbps的速率进行无差错数据传输,因此,光链路成为唯一可行的解决方案。

为什么选择光收发器

Reflex Photonics(Smiths Interconnect旗下子厂牌)收发器可在任何工业数据密集型系统中将大量关键数据从A点移动到B点。LightVISION 10G VM系列嵌入式并行光学器件可以以高达120Gbps的速度工作,并经过测试,在商用级温度范围(0℃~85℃)内,误码率低于e-12。这些组件确保数据传输永远不会成为复杂实时缺陷分类程序的瓶颈。


LightVISION 10G VM系列嵌入式收发器用于从SEM缺陷审查系统传感器向系统微控制器或计算机传输高达120Gbps的数据。此外,这些嵌入式收发器在电路板安装选项方面提供了最大的灵活性,并有助于电路板设计。


Reflex Photonics嵌入式收发器在基于扫描电镜的晶圆缺陷审查系统原始设备制造商方面有着良好的记录。


结束循环

所有可靠的数据都做得很好,但更重要的数据应该做的更好。工业4.0 ERA中的智能机器也倾向于引入反馈回路来集成自适应过程,以提高缺陷捕获的实时质量。我们的光收发器也可以用在控制路径上,能够发送大量控制数据,帮助实时调整复杂的过程。



使用LightVISION 10G VM系列工业收发器的优势

• 坚固的旋入式板装光学模块,占地面积小,适用于恶劣环境

• 带宽从20G(2TX或2RX通道)到120G(12TX或12RX通道)

• 高达10.3125Gbps每通道的性能

• 轻巧且易于集成的光缆

• 标准MPO并行光纤连接器

• 多模850nm波长激光器

• 可通过LGA内插器灵活调节高度

• 坚固的RoHS电气接口

• 低功耗:每通道<100mW

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