【应用】采用背面进气方式的MEMS压力传感器用于电子烟，支持单芯片差压检测
2021年7月，敏芯股份研发副总经理胡维应邀出席第五届晶芯在线研讨会（ChipChina Webnair），发表了《MEMS压力传感器在电子烟中的应用》主旨演讲，重点介绍了敏芯微MEMS压力传感器更为优化的解决方案。
关于ChipChinaWebnair
本次大会以“MEMS制造技术发展论坛——整合产业链，突破MEMS新品上市的制造难题”为主题，来自研发实验室、Foundry代工厂商、IDM厂商、封测厂商等代表，在三小时的会议中，分享探讨了创新观点、技术理论和机遇挑战。
现代电子烟之父是中国人
1963年，美国人Herbert A. Gilbert取得一款“无烟、非烟草香烟”的专利设计，电子烟的概念就此问世。2003年，中国药剂师韩力发明了第一款电子烟，并成功进行生产销售。
电子烟属于新型烟草制品的一种，其不含焦油、悬浮颗粒等有害成分，减少了使用者接触卷烟燃烧产生的多种有毒物和致癌物。近年来用户渗透率一直稳定增长，并逐渐从一线城市下沉至三四线城市。
当使用者抽吸电子烟时，气流传感器感知到抽吸动作，使电加热丝加热烟弹中烟油，使得烟油雾化，雾化烟油随着气流进入口腔，从而达到模拟抽烟的效果。
气流传感器是电子烟的核心零部件之一，目前主流的产品方案为电容式咪头。其工艺成熟、成本较低，为大部分电子烟厂商的选择方案，但随着产品的发展其弊端也逐步显现。
关于敏芯微的整体解决方案
胡维介绍，随着产业规模快速扩大和产品迭代不断加快，也在客观上吸引着更多厂商入局。在这种大需求的背景下，敏芯股份携其领先的MEMS技术解决方案进入电子烟行业，为行业带来开创性、选择性和颠覆性，进一步助力电子烟行业的健康发展。
胡维表示，MEMS压力传感器是电子烟中可实现抽吸开关的最优解决方案之一，当烟杆腔体内部与大气压产生不同的压力，可以通过MEMS压力传感器检测压力值，进而控制电子烟的使用状态。
敏芯AFM整体方案基于单颗器件
· 单颗差压传感器实现吸力检测；
· 器件膜片一侧接触气流通道，
· 另一侧接触大气压力，防水防油；
· 多种输出接口：中断，频率，I²C。
敏芯气体流量测量方案的优点
低成本：单芯片差压检测，整机设计更加紧凑；
防油性：采用背面进气方式，防水防油；
一致性：MEMS微米级加工工艺，器件差异性小，并且出厂前校准测试，保证触发压力一致。
敏芯股份 研发副总经理 胡维
目前，敏芯MEMS压力传感器已在高端电子烟品牌中进行供货，并率先在全球范围开发了包括流量计和流量开关在内的芯片，实现对高中低品牌电子烟市场的立体覆盖。敏芯股份蕴含自主化和国产化的DNA，拥有基于本土的MEMS全产业链，在品质优异的前提下，保证了产品的成本管理和交付的时效控制。
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