【应用】SL-900超声波传感器，高纯度化学液体液位高度监测的优选方案
化学气相沉积（CVD）是半导体制造工艺中一种重要的生产技术。该工艺主要是把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜。对于薄膜的质量而言，薄膜生成速率是关键因素之一。而反应速度又和液态反应剂转变成蒸汽的速率有关。为了能够准确的监测及控制气相化合物的生成速率，液态反应剂的液位水平监测是简便且高效的方法之一。TE公司推出的SL-900超声波传感器，可以满足高纯度化学液体液位的监测，保证CVD设备可以实时而精确地控制反应速率，保证了CVD薄膜质量。该传感器可以由超声探头发出的超声脉冲信号，信号遇到空气与液体的界面后被反射，接收到回波信号后计算其超声波往返的传播时间，即可换算出液位高度。
图1 CVD设备示意图
图2 CVD设备及SL-900超声波传感器示意框图
SL-900超声波传感器是一款多点离散液位开关，能够精确而可靠地测量高纯度液体的液位高度。基于该超声波传感器的微测量系统具备有很高的监测精度，能同时监测单个或多个离散点液位，每个离散点液位的精度为±2mm，重复性精度典型值为±1mm。单点可以实现测量距离容器底部1/4"（6mm）的液位，同样实现5/8"管、5/16"管，1/2"管测量。
图1 SL-900超声波传感器实物图
SL-900超声波传感器尺寸较小，主要是由放大模块、316L不锈钢传感器和延长线组成。其采用了套筒式结构，不锈钢抛光工艺（Ra=25μin-最小值），表面无应力产生，其不受化学流体的介电、粘度、颜色、密度和不透明度影响，因此不会对待测液体体积位移有明显的影响，保证了高纯度液体的质量。
SL-900超声波传感器正常工作时，其输入电压可以根据应用环境灵活选择，可选值分别为24VDC, 115VAC/230VAC, 50/60Hz。输入电流峰值为50mA，监测结果经过0.5A继电器，可以呈现在LED屏上，方便了CVD使用人员实时监测当前CVD工艺反应速率。可承受高达250PSIG（1724kPa）的压力，可以有效的适应CVD设备中高压强的应用环境。工作温度范围为-29℃~93℃，传感器内电子部分的工作温度范围为-29℃~77℃，可以满足半导体设备的温度要求。
SL-900超声波传感器的特性及优势：
• 多点离散液位开关，以非常高的精度提供单个/多个离散点液位
• 每个离散点液位的精度：±2mm，重复性精度：典型值为±1mm
• 单点可以实现测量距离容器底部1/4“（6mm）的液位，同样实现5/8”管、5/16“管，1/2”管测量。
• 传感器采用316L不锈钢结构，传感器材料采用电抛光的方法加工（Ra=25μin-最小值）
• 可承受高达250PSIG（1724kPa）的压力
SL-900超声波传感器的应用领域：
• 半导体行业
• 制药行业
• 高压容器
• 高纯度化学液体监测
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TE Connectivity（泰科）传感器选型指南
目录- Company Profile DIGITAL COMPONENT SENSOR DEVELOPMENT TOOLS FLOW SENSORS FORCE SENSORS HUMIDITY SENSORS LIQUID LEVEL SENSORS PHOTO OPTIC SENSORS PIEZO FILM SENSORS POSITION SENSORS PRESSURE SENSORS RATE AND INERTIAL SENSORS SCANNERS AND SYSTEMS SPEED SENSORS TEMPERATURE SENSORS TORQUE SENSORS ULTRASONIC SENSORS VIBRATION SENSORS WATER LEVEL SENSORS
型号- 7504A,3255A,T500,8011-AR,8011-AP,CD9515,DSD 25,68CM1,FS-90,FS-91,6900,4602,4604,7505A,MS4525DO,DSD 17,TSYS02D,CWW600,D5100,4610,MS8607,EPRB,XP5,805,5903 SERIES,808,89BSD,T400,4630,SDT1,P1200,606M1,PS2011AB,LDTC FAMILY,DSD 40,ELM-4000,3058A,MS5803-01BA,FMT,SIL-3,M7100,700,LS809-31,EGCS-D5,TLH100,4332M3,FTP520,MS54XX,EGCS-D0,ESP 64HD,XL403D,AST46HA,832,FN7110,HSTA,834,EB,PS501,LDM-1000,U86B,DP86,KMXP 1000,52M30,PS2021AB,M905,RVIT-Z,603,LS509-51,ELM-5000,TS318-3B0814,FN4070,H005,PT500,H009,610,RCS01-10,31207B,FTP540,CWW850,PML 1000,LDS309-11N,EPB-PW,EVS722-51,CWW1000,FN9630,GC,FN9635,FLDT1,U7100,FTP530,85F,FN4080,834M1,HTU2X,ARD154,EPB,EGAXT,VS804-21,HC,65210E,EPL,7108A,86A,CLP,AST46SW,HR,MS52XX,KMXP 2000,AST4510,KPSI 730,KPSI 735,FTP560,633,634,7531A,XFTC300,Y12AD,18FR,FTP552,FTP553,FTP554,AST4401,AST4400,AST4520,KPSI 720,U5700,KPSI 600,FN4055,KPSI 601,400,MS5803-30BA,FTP551,31206B,FN9620,DPG,TRUBLUE 255,LL-01,FN7325,DPL,DPN,64B,40A,64C,40B,HTF3000LF,52F,3022,KPSI 750,KMT37,FN3050,TPT,64X,KMT39,9916,53A,AST43LP,ESP 16HD,AST4500,KPSI 500,KPSI 501,KPSI 745,3028,86BSD,8811-01,PM50,KMA36,TSYS01,LT,TSYS02,ATA-2001,KMT36H,P900,LBB,G-SERIES,PM81,FN3030,DSD,3038,DSF,CM-01,DSH,8021-AP,8021-AR,DSL,PM83,CD375,ML,DT1,4020,TSD,6200,DSS,AST46PT,AST44LP,805M1,AST4600,DSY,TSD305,7500A,DC-SE,EGAXT3,4030,LDTC,XPM10,MS4515DO,KPSI 710,PT100,MSP300,AST20HA,XS-C,XS-D,7501A,LL-10,HTU3535PVBM/WIRE,PT101,6100,SSI,HTG351XCH,AST2000H2,KPSI 700,SSR,KPSI 705,TRUBLUE 275,LS304-31,LMM-H04,LMM-H03,FN3148,TSYS,DSD 70,7502A,7514A,P700,APS,4810A,CD1110,KPSI 330,8021-VP,8021-VR,KPSI 335,AST4000,7135A,5905 SERIES,400 SERIES,XFL212R,6000,LVM-110,KMXP 5000,KPSI 320,AST44XX,8711-01,121,FN3002,AST5100,LCS-03,FN3000,CS1120,R36,PCA 375,U5300,RT9,RT8,M3200,7100A,9400,TLH600,CPA150,HS1101LF,M210,AST20SW,KPSI 351,KPSI 353,HTU383X/WIRE,130,IT9000,KPSI 355,AST5300,AST4100,SG,CD1140,XPM4,SK,7101A,SM,FX19,MSP100,SP,EPM-5000,TPT300V,PM101,MSP340,SR,12FR GP,PT9000,AST45XX,KPSI 342,1201F,MT3A,ACH-01,SL-630,M5600,7102A,PT1000,TS,EL20-S458,8011-VP,MS5805,XFU400,MS5803,MP 2000,P981,HSTAR,KPSI 30,HTM2500LF,CS1210,AST5400,E-SERIES,MLP,FN1010,HTU2XF,HM1520LF,TS305-10C50,24FR,TRUBLUE 585,16MS,52,8011-VR,KPSI 27,MS32,KPSI 28,58,MS1451,XPM6,160,AST46XX,ESP 32HD DTC,PT1,161,ACCUSTAR EA,AST4200,PT5,DSH 16,DOG2,FX29,MMX,12FR,ESP 64HD DTC,7104A,TRUBLUE 575,FN2114,US300,9FR,9146-R,GHSE,PTX,85BSD,7105A,MS5837,9216,KMA36A,AST20PT,AST4300,MS1471,9146-T,808M1,U5600,FN2570,CD1050,EPM-4001,XP,82,MS5525DSO,85,86,TRUBLUE 555,FS-01,89,MS5607,FS-02,FS-05,FS-06,ED32I,MS5840,PS2031AB,8032-01,FN2420,R60D,3052A,154BSD,P9000,MS5611,XFC200R,EPIH,ELAF,ESP 32HD,M12,3801A,1620,KMY,65210ES,KMZ,FN2317,M150,AST46DS,11206AC,10FR,PS831,8021-01,EGCS-D1S,KPSI 300DS,1630,820M1,XPC10,TSEV,53AF,140A,SL-900,MS5637,CD1124T,EVS312-11N,MT2,MT3,CS1060,CD1095,832M1,VCS-06,MTA,VCS-04,3700,M5200,FN7080,P105,P101,9022,FS19,7131A,FC22,FC23,4630M12,9034,142A,9038,154N,4801A,9032,LIM-420,9033,5905,GHSER,7132A,LTA,ACCUSTAR IP66,LTB,4630M14,5903,PT8000,P125,TS318-5C50,T600,8102A,LTR,HM1500LF,R30A,GHSER 750-A,HTU21D,8011-01,PS801,700 SERIES,KPSI 380,NDT-1,FS20,FS22,4835A,AST43XX,D-SERIES,FS23,U5200,1201,1200,HPGS 750,FCA7300,AD-101,PS811,VS309-51N,KMXP,11207AC
极海半导体（Geehy Semiconductor）汽车电子芯片 选型指南
描述- 极海汽车电子芯片产品布局通用微控制器/微处理器、传感器、接口、驱动等多条产品线，战略聚焦车身控制、信息娱乐系统、BMS电池管理系统及域控等领域，提供符合ISO 26262功能安全标准、安全可靠、质量稳定的芯片产品与应用方案，并为客户提供丰富的开发生态与本地化技术支持。通过优质的服务和多元化的产品组合，满足汽车电子行业日益增长的应用需求，协助客户实现快速量产，助力国产汽车产业向上发展。
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TE Connectivity（泰科TE）传感器解决方案
描述- TE Connectivity(TE)作为一家全球领先的技术领军企业，能为当今日益紧密连接的世界提供多种不可或缺的连接和传感解决方案。对于下一代的数据驱动技术来说，我们的传感器至关重要。TE是全球大规模的传感器公司之一，能为多种行业领域提供综合性的应用解决方案，包括汽车、工业、医疗、家用电器、航空航天及防卫、工业和商业运输等。TE重新定义了在严苛环境下使用智能、高效、高性能产品和解决方案的可能性。
日清纺微电子公司介绍
型号- R1515,NJU77242R,R1516,NJM2902B,R1513,R1514,NP4271,R3118N,R1517,R1518,NJU7089,NJU7890YPM,R3134,RN5C750,R1511,R3134N,R1191,R1190,NJW1871A(,NJW4142,NJW4140,R5107G,NC2905,R1526,R1524,R1525,NJG1159,NJU7077,NJU7870,NJG1155,NJG1150,R1245,R5106N,NJM11100,RN5T569,RP550,RP154,R3116L,NJG1144,R3116N,NJU77701,R3500S,R3150,NJG1159PHH-A,NJU77903DL3,R3121NXXXA,RP108,R3154,R3121NXXXG,R5105N,RP506,R3152,R3121NXXXE,R3151,NJW4760,NJM12884,NJG1801AKGC-A,RP170,RP171,NJU7890,R1540,R5106,R3150NXXXE,R5107,R3150NXXXF,R5108,R5109,R3117N,NJU77552,NJM8532,R5115S,R5105,R3160,NJG1815AK75-A,R3150NXXXA,R3150NXXXB,R1260,NJW4133,R3160N,NJG1815,NJG1812,NJU7046,NV3601,NJU7047,NJU77242,NV3600,R1276,R5117,R1277,R1275,R3154N,R5114,NV3600N,R5114S,R1278,R5115,R5116,NJW4107,NJW1871,NJW4106,NR1640,R5110,NJW4105,R5111,R5112,NJW4104,RN5T5611,R1272,R5111SXX2D,R1273,NR1640DC330X,R5115L,R5111SXX2C,R1270,ND1433,R1271,R1150,R5110SXX1A,R5110SXX1B,NP8700,R5110LXX2C,NJW4182,R5110LXX2D,NJG1801,NJU7367B,R3119NXXXA,NJM41005,R1560,R1561,NV3601N,R3500,R5111LXX2C,R5111LXX2D,NJG1187A-A,R5114L,NJW4750,R5110SXX2D,NJG1812AMET-A,NJW4110,R5110SXX2C,RP111,RP510,RP115,R3151NXXXB,R3151NXXXE,R3119,R3151NXXXA,NJG1187,R3120NXXXE,R3118,R3120NXXXA,R3117,R3116,NJM2904B,NJW4203,NC2780,R3152NXXX$-TR-#E,R1294,NR4254,R3119NXXXE,R3151NXXXF,NJG1815-A,R5109G,NJU7057,NR4250,NR4252,NJG1801BKGC-A,R1500,R1501,R1180,R3152N,R3121,R1580,R3120,R5111SXX1B,NJU77903,R5111SXX1A,NJM2879,RP130,NJW4175,RP132,NJW4171,R5108G
TRUST AND RELIABILITY FOR IN-HOME MEDICAL SENSORS
型号- ELM SERIES,EPM,FS20 SERIES,LME,AD-101,EPM SERIES,ELM,SM9000,LMI,FS20,SM7000
【产品】标称中心频率3MHz的超声波换能器，Q系数低至1.3
NDT1-220K具有高带宽，其-6dB低频为1.7MHz，-6dB高频为4.0MHz。
新产品 发布时间 : 2017-07-28
【应用】检测距离达50mm的TE超声波传感器XXV18B1PAM12用于检测汽车玻璃有无，解决玻璃颜色造成检测误差等难题
为解决检测距离短、玻璃颜色造成检测误差等技术难题，施耐德电气 TE 传感器 针对客户痛点，为客户提供了 XXV18B1PAM12 超声波传感器产品。TE 传感器 提供的 XXV18B1PAM12 产品，检测距离达 50mm，且不受汽车玻璃颜色影响，具有十分广阔的应用前景。
应用方案 发布时间 : 2021-01-06
【应用】TE Connectivity医疗应用传感器，制造精确，为多款居家医疗设备面临的挑战提供解决方案
TE Connectivity浅谈医疗器械行业如何利用先进科技，用压力传感器,血氧传感器,超声波传感器、医疗应用传感器等居家医疗设备为例来阐述家庭护理医疗设备的优势与挑战、医疗应用传感器如何扩大家庭护理的范围。
应用方案 发布时间 : 2022-04-03
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可定制板装式压力传感器支持产品量程从5inch水柱到100 psi气压；数字输出压力传感器压力范围0.5~60inH2O，温度补偿范围-20~85ºС；模拟和数字低压传感器可以直接与微控制器通信，具备多种小型SIP和DIP封装可选择。
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支持定制透气膜的宽度，ePTFE材质，耐温范围-40℃-260℃，防水等级IP67/IP68,具有疏水性（拒水性）和不粘性。
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