【产品】大小仅650×650μm的MEMS压力传感器
——极低功耗,量程覆盖15~150PSI
SMI专注于研发和生产MEMS压力传感器,广泛应用于汽车制造、医疗设备和工业市场。SM5108C是SMI最近推出的一款绝对压力传感器,量程覆盖了15、30、60、150PSI。
SM5108C采用恒压或恒流源驱动,输出为毫伏级的模拟电压,各量程的输出电压如下表1所示。SM5108C所需电源电压和电流分别为5V和1.5mA,具有很低的功耗。恒压供电时,SM5108C产生与输入压力成正比的电压信号,输出的典型线性度为±0.2%FS,零点漂移为±35mV,可以为精确的压力测量提供充分保证。同时,还可通过信号调节电路可对输出信号进行放大或者做其他处理,以满足个性化的需求。
表1:SM5108C的输出电压
该款压力传感器的工作温度范围为-40~+125℃,能够满足汽车级应用的需求。其本身不带温度补偿,不过对温度变化具有良好的适应性。当周围环境温度变化时,传感器精度的变化仅为-24,-19,-15.5%FS/100℃,零点漂移的变化范围±7%FS/100℃,电阻值变化为24~33%RB/100℃。
SM5108C采用裸片的形式,外观尺寸仅为650×650μm,可以设计安装在陶瓷或PC板上,为受到挑战的空间设计提供极大灵活性。而且,只有传感器片上的硅和玻璃材料与被测物质接触,但其电子结构不会被影响,从而保证传感器更加可靠耐用。SM5108C采用SMI新型压阻式传感晶圆,可提供同等规格下的最高精度,同时由于采用大容量OEM制造工艺,大大降低了元件的成本。
SM5108C具有功耗低、精度高、温度性能好、尺寸小且易于安装的优点,因此在气体和液体压力检测中被广泛应用,诸如气压计、气压站以及硬盘驱动等。除此之外,SM5108C拥有的15~150PSI多量程范围为车载设备提供了更多的选择,可提高汽车电子系统设计的灵活性和可靠性,能完美应用于汽车的胎压监测系统(TPMS)、发动机控制等汽车传感系统。
SM5108C的优点:
• 高性能绝对压力传感器
• 超小型的专用封装
• 可适配特定的传感器线
• 高温稳定性
• 恒流或恒压驱动
• 毫伏级电压输出
• 大容量工艺,符合成本效益
SM5108C的典型应用:
• 汽车轮胎压力监测系统
• 气压传感器
• 气压计
• 气象站
• 硬盘驱动(HDD)
• 发动机控制:歧管绝对压力(MAP)、大气绝对压力(BAP)
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