【产品】大小仅650×650μm的MEMS压力传感器

时间： 2016-11-03 来源：世强

技术问答

——极低功耗，量程覆盖15~150PSI

SMI专注于研发和生产MEMS压力传感器，广泛应用于汽车制造、医疗设备和工业市场。SM5108C是SMI最近推出的一款绝对压力传感器，量程覆盖了15、30、60、150PSI。

SM5108C采用恒压或恒流源驱动，输出为毫伏级的模拟电压，各量程的输出电压如下表1所示。SM5108C所需电源电压和电流分别为5V和1.5mA，具有很低的功耗。恒压供电时，SM5108C产生与输入压力成正比的电压信号，输出的典型线性度为±0.2%FS，零点漂移为±35mV，可以为精确的压力测量提供充分保证。同时，还可通过信号调节电路可对输出信号进行放大或者做其他处理，以满足个性化的需求。

表1：SM5108C的输出电压

该款压力传感器的工作温度范围为-40~+125℃，能够满足汽车级应用的需求。其本身不带温度补偿，不过对温度变化具有良好的适应性。当周围环境温度变化时，传感器精度的变化仅为-24，-19，-15.5%FS/100℃，零点漂移的变化范围±7%FS/100℃，电阻值变化为24~33%RB/100℃。

SM5108C采用裸片的形式，外观尺寸仅为650×650μm，可以设计安装在陶瓷或PC板上，为受到挑战的空间设计提供极大灵活性。而且，只有传感器片上的硅和玻璃材料与被测物质接触，但其电子结构不会被影响，从而保证传感器更加可靠耐用。SM5108C采用SMI新型压阻式传感晶圆，可提供同等规格下的最高精度，同时由于采用大容量OEM制造工艺，大大降低了元件的成本。

SM5108C具有功耗低、精度高、温度性能好、尺寸小且易于安装的优点，因此在气体和液体压力检测中被广泛应用，诸如气压计、气压站以及硬盘驱动等。除此之外，SM5108C拥有的15~150PSI多量程范围为车载设备提供了更多的选择，可提高汽车电子系统设计的灵活性和可靠性，能完美应用于汽车的胎压监测系统（TPMS）、发动机控制等汽车传感系统。

SM5108C的优点：
• 高性能绝对压力传感器

• 超小型的专用封装

• 可适配特定的传感器线

• 高温稳定性

• 恒流或恒压驱动

• 毫伏级电压输出

• 大容量工艺，符合成本效益

SM5108C的典型应用：
• 汽车轮胎压力监测系统

• 气压传感器

• 气压计

• 气象站

• 硬盘驱动（HDD）

• 发动机控制：歧管绝对压力（MAP）、大气绝对压力（BAP）

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全部评论（2）

yingqiming Lv7. 资深专家 2018-08-04

不错
MR.XU Lv7. 资深专家 2017-12-09

东西不错，收藏学习了

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目录- MEMS pressure sensor die

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型号- NPP-301B-700AT,NPC-1001000,NPI-12-101G,MC65F103C,NPP-301A-100AT,NPI-19X-YYYZZ,NPI-15X-YYYZZ,NPI-19J-XXX,B35,ZTP-148SR,NPI-19A-XXX,MC65F103A,NPP-301A-200A,MC65F103B,AB6,NPA-300,NPI-19H-XXX,NPA-700,AB6E8,B43,NPP-301B-200A,NPI-12,NPI-19X-XXXXV,NPI-15,SC30F103W,NPP系列,NPP-301B-200AT,SC30F103V,MA100BF103C,NPI-19,SC30F103A,SC,MA100BF103B,MA100BF103A,NPI-15B-XXX,MA100GG232C,NPI-15C-C00903,NNP301B,NNP301A,MA100GG103CN,NPP-301B-700A,BR16,BR14,BR11,NPC-1210XXXX-YZ,ZTP-101T,NPC-100T,MA100GG103BN,MA100,NPP-301A-100A,NPC-100,NPI-19A-C01864,BR23,P20,P25,AB6B4,MC65F232A,MC,AB6B2,MC系列,NPI-19A-002GV,MA100GG103AN,AB6A8-BR16KA103N,NPI-15VC,NPP-301A-200AT,P30,BR32,NPA-100,NPC-1220XXXX-YZ,NPA-500,SC50F103W,NPP-301B-100A,NPA,NPP-301B-100AT,MC65F502B,NPI-15A-XXX,B05,B07,SC30Y103W,NPI-15J-XXX,NPP,NPP-301A-700A,BR42,NPP-301,MA100GG103B,NPI-19B-XXX,NPI-12-101GH,MA100GG103A,MC65G503B,MA100GG103C,NPC-1220,NPP-301A-700AT,B10,NPI-15H-XXX,B14,NPI-15XXXXXX,NTC AB6,BR55,NPC-1210,SC系列

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用压力传感器接口芯片MLX90328LDC-AAA-000-TU及其编程校准工具对压力传感器进行温度校准时，最多可以支持在4个温度条件下对3个压力值进行校准。即可以选择低温、常温、高温、再加一个其他温度条件，对压力传感器在3个不同的压力调节下，进行温度校准。因为压力传感器接口芯片MLX90328内部是集成有一个温度传感器，可以很方便的进行校准。

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SMI SM3041 中压压力传感器数据手册

型号- SM3041-005K-D-C-3-S,SM3041,SM3041-015-S-C-3-S,SM3041-005-D-C-3-S,SM3041-005C-D-C-3-S,SM3041-015-D-B-3-S,SM3041-005-S-C-3-S,SM3041-005M-D-C-3-S,SM3041-005-S-B-3-S,SM3041-015-D-C-3-S,SM3041-030-S-C-3-S

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压力传感器SM5651是差压传感器，有两个气孔，靠近第4PIN的气孔为正压气孔。正压气孔相对负压气孔，在结构位置上更靠近芯片的边沿。

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SMI SM5852-(003，004&015)低压传感器数据手册

型号- 5852-003-D-3-LR,SM5852,SM5852-004-S-3-SR,SM5852-001-S-3-LR,5852-003-S-3-LR,5852-015-D-3-LR,SM5852-001-D-3-LR,5852-004-D-3-SR,SM5852-003-S-3-LR,SM5852-015-G-3-LR

数据手册 - SMI - 2013年01月01日 PDF 英文下载