【技术】什么是空白掩膜版？

时间： 2023-08-02 来源：中科卓尔公众号

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空白掩膜版，别名也叫做blank mask。IC、FPD光掩膜版是通过光刻曝光的流程制作得到的，光罩上会有图形和线条，IC、FPD空白掩膜版是光掩膜版的基板，通过精密抛光、镀膜和匀胶后成为光掩膜版的上游材料。

应用领域：涉及光刻工艺的领域，如集成电路芯片制；FPD（Flat Panel Display，平板显示器；MEMS（Micro Electro Mechanical Systems，微机电系统）等。空白掩膜到光罩的过程主要是曝光、显影、刻蚀、去胶，下图就是空白掩膜到光罩的制作流程。

图 1

光罩在半导体芯片以及液晶面板行业扮演着十分关键的作用，是所有涉及光刻（光刻机）步骤中一种不可或缺的、至关重要的材料。如下图中所示。

图 2

光罩（mask）上的图形会完美的复制到下方基底（不止硅片）上，会重复的复制。因此光罩是不可或缺的一种重要材料，没有光罩就没有复制的母版，无法进行图形的堆叠。光罩上的缺陷同样会完美复制到基底上，硅片基底上存在无法修复的缺陷，则该张硅片就会报废。因此，务必确保光刻中的光罩是完美无瑕的。但要确保光罩完美无瑕，则必须要确保空白掩膜完美无瑕。因为光罩是采用空白掩膜制作而成，空白掩膜上存在缺陷，则光罩就会存在缺陷，因此空白掩膜也必须完美无瑕。

掩膜版的上游和下游

图 3

空白掩膜版工艺流程

图 4

综上所述，空白掩膜在半导体芯片、液晶面板行业（TFT-LCD）扮演着无法替代的作用，此外空白掩膜版还可以用于MEMS微机电、PCB印刷电路板领域。空白掩膜在生产制造制程领域内发挥着至关重要的作用，没有空白掩膜版就无法生产芯片和液晶面板。

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