【技术】什么是空白掩膜版?
![空白掩膜版,5280,3035,5009](https://www.sekorm.com/front/website/images/sekormContent.jpg)
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空白掩膜版,别名也叫做blank mask。IC、FPD光掩膜版是通过光刻曝光的流程制作得到的,光罩上会有图形和线条,IC、FPD空白掩膜版是光掩膜版的基板,通过精密抛光、镀膜和匀胶后成为光掩膜版的上游材料。
应用领域:涉及光刻工艺的领域,如集成电路芯片制;FPD(Flat Panel Display,平板显示器;MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)等。空白掩膜到光罩的过程主要是曝光、显影、刻蚀、去胶,下图就是空白掩膜到光罩的制作流程。
图 1
光罩在半导体芯片以及液晶面板行业扮演着十分关键的作用,是所有涉及光刻(光刻机)步骤中一种不可或缺的、至关重要的材料。如下图中所示。
图 2
光罩(mask)上的图形会完美的复制到下方基底(不止硅片)上,会重复的复制。因此光罩是不可或缺的一种重要材料,没有光罩就没有复制的母版,无法进行图形的堆叠。光罩上的缺陷同样会完美复制到基底上,硅片基底上存在无法修复的缺陷,则该张硅片就会报废。因此,务必确保光刻中的光罩是完美无瑕的。但要确保光罩完美无瑕,则必须要确保空白掩膜完美无瑕。因为光罩是采用空白掩膜制作而成,空白掩膜上存在缺陷,则光罩就会存在缺陷,因此空白掩膜也必须完美无瑕。
掩膜版的上游和下游
图 3
空白掩膜版工艺流程
图 4
综上所述,空白掩膜在半导体芯片、液晶面板行业(TFT-LCD)扮演着无法替代的作用,此外空白掩膜版还可以用于MEMS微机电、PCB印刷电路板领域。空白掩膜在生产制造制程领域内发挥着至关重要的作用,没有空白掩膜版就无法生产芯片和液晶面板。
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