【应用】小尺寸、高精度、耐高温的中压硅压力传感器P111，应用于气动控制系统压缩空气的压力监测

时间： 2019-08-09 来源：NovaSensor(Amphenol Sensors子品牌)

技术问答

气动控制技术在工业领域具有广泛的应用。气动自动控制，即利用压缩空气作为传递动力，配合气动控制系统的主要气动元件，与机械，液压，PLC控制器等部分构成的控制回路，使气动元件按设定的顺序动作。如图1所示，气动控制一般包括气源，气源处理元件，控制元件和执行元件组成。其中，空气压缩机是气源系统的核心部件，为气动设备提供压缩空气动力源。在气动控制的过程中，需要对压缩空气压力进行监测，并将压力值反馈给PLC控制器，保证气动控制的正常运行。

图 1气动控制系统结构框图

因此，需要在气动控制系统中选取一款合适的压力传感器，用于压缩空气压力的监测。选用的压力传感器不仅需要具备高精度的特征，从而保证对空气压力的准确监测。同时，考虑到在气动控制过程中，空气压缩机内可能出现的高温高压等复杂环境，选用的压力传感器需要具备高度可靠性。安费诺作为传感器领域的领导者，所研制的世界一流的高性能传感器，以高精度，高可靠性和体积小著称，旗下NovaSensor生产的P111 中压硅压力传感器，可以应用于气动控制系统压缩空气的压力监测。

图2 P111压力传感器芯片尺寸图

NovaSensor生产的P111固态压力传感器可达2倍的最大过载压力，具有高可靠性的特征。 NovaSensor的SenStable工业流程能够为P111良好的长期稳定性提供保障，因此用户放心的应用于气动控制系统。在恒定1.0mA直流激励下， P111产生的毫伏电压输出和输入压力成线性比例。传感器的非线性度低于0.25%FSO （其中FSO全称Full Scale Output，即满量程输出），能够提供精准的压力测量，满足在气动控制应用的精度要求。

此外，该系列传感器可以做到2.7x3.2mm的最小尺寸，节省PCB空间，发挥产品体积小的优势。同时，传感器的工作温度范围宽至-40~125℃，存储温度范围宽至-55~150℃。产品能够耐高温等恶劣的气温条件，在气动控制系统可能出现的恶劣环境下也能够可靠工作。

传感器的主要特征总结如下，该系列特点可以进一步保证P111压力传感器在气动控制应用中的优势。

• 固态传感器的高可靠性
• 可用于绝压或差压
• 标准压力范围： 0~100， 0~200， 0~700kPa
•非线性度＜0.25%FSO
• 最大过载压力： 2倍

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目录- P1300低压硅压力传感器芯片 P1302低压硅压力传感器芯片 P111中压硅压力传感器芯片 P883（5~15000 PSI）硅压力传感器芯片 P1602硅压力传感器芯片 P122 高压硅压力传感器芯片 NPC-100系列一次性医疗压力传感器 NPC-1210系列低压系列固态压力传感器 NPC-1220系列中压传感器 NPH系列固态压力传感器(中低压) NPI-12卫生型压力传感器、不锈钢介质隔离压力传感器 NPI-15VC系列电压激励、高压、介质隔离压力传感器 NPI-15系列电流激励高压、介质隔离压力传感器 NPI-19系列电压激励、中压、介质隔离压力传感器 NPI-19系列电流激励、中压、介质隔离压力传感器 NPI-19低压不锈钢介质隔离压力传感器 NPP-301系列贴片封装压力传感器 NPA贴片式压力传感器 NPR-101系列复杂介质压力传感器 Modus T系列微差压力传感器压力变送器IPT1000/2000系列

型号- NPP-301B-700AT,IPT1000,51243,51245,51003,51244,NPP-301A-100AT,51005,51367,51004,51007,51006,51009,NPI-19X-YYYZZ,51008,51407,51406,NPI-15X-YYYZZ,51409,51408,NPP-301A-200A,NPH-XYYY-ZZ,51010,51012,51254,51011,51253,51013,NPA-300,NPR-101,51137,NPA-700,NPH系列,NPP-301B-200A,NPI-12,NPI-19X-XXXXV,P1602,NPI-15,NPP-301B-200AT,NPI-19,NPA100,NPI-15X-XXXXX,51142,MODUS T,51421,NPI-15X-XXXXXX,51304,51303,NPI-15C-C00903,NPP-301B-700A,51391,NPC-1210XXXX-YZ,51151,51393,51392,51395,NPI-19A-031GH,T10,51394,51031,51397,51399,51313,51433,51314,NPC-100T,51317,51318,NPP-301A-100A,P1302,NPC-100,P1300,51041,51283,NPI-19A-021GH,51282,T20,51045,51322,51046,51445,51324,51444,51323,51326,51325,51328,51327,51329,NPI-19A-002GV,NPI-15VC,NPP-301A-200AT,IPT2000,T30,NPC-1220XXXX-YZ,51298,51331,NPA-500,51330,51333,51299,51332,51335,51334,NPI-19X-XXXXXV,51337,51336,51339,51338,NPP-301B-100A,NPP-301B-100AT,NPA,T系列,P122,P883,NPH,NPI-19A-C01841,NPI-19A-C01840,NPP-301A-700A,T40,51340,NPP-301,51342,51187,51341,NPI-12-101GH,NPI-1,NPC-1220,NPP-301A-700AT,P111,51076,NPC-1210,51114

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Amphenol Sensors(安费诺)/All Sensors MEMS压力传感器选型指南

目录- Product Matrix&Evaluation Kit Millivolt Output (compensated) Digital Output Amplified Output Basic Output (uncompensated) Media Isolated Sensors (Millivolt) Media Isolated Sensors (Amplified) Appendix A: Packaging Appendix B: White Papers Appendix C: Additional Resources

型号- 30 PSI-G-CGRADE-MINI,30 INCH-D1DIP-MV-MINI,ADCA SERIES,SPM-402,BLC SERIES,SPM-401,2 INCH-D2-MV-MINI,1 PSI-D-PRIME-MV,5 PSI-G-PRIME-MINI,5 INCH-D2-MV-MINI,30 INCH-DX-MV-MINI,30 PSI-D-CGRADE-MINI,DLVR-L20D,30 PSI-D-HGRADE-MV,DLVR-L20G,15 PSI-AF-CGRADE-MINI,100 PSI-D-PRIME-MV,DLHR-F50D,MLV-L02D-A6BBF-N,30 PSI-A-CGRADE-MINI,5 PSI-G-4V-PRIME,30 PSI-AF-CGRADE-MINI,BLV-L20D,2 INCH-D1DIP-MV-SDXL,DLHR-L05G,10 INCH-G-4V,CPA 502,10 INCH-D2DIP-MV-MINI,0.3 PSI-G-4V-MIL,10 INCH-D-HGRADE-MINI,30 PSI-D-PRIME-MV,120 CMH2O-D-4V-PRIME,1 INCH-DX-P4V-MINI,ASCX,DLHR-L05D,15 PSI-D-DO,BARO-INHG-DO-MIL-PCB,DLHR-L02D,5 PSI-D-4V-MIL,DLHR-L02G,2.5 INCH-G-4V,DLH-L60D,30 INCH-G-4V-MINI,5 CMH2O-D1-4V-MINI,15 PSI-A-4V-MIL,DLH-L60G,DLVR-L30D,20 INCH-D1DIP-MV-SDXL,BP01-G-4V-MINI,DLVR-L30G,15 PSI-GF-HGRADE-MINI,5 INCH-G-MV-MINI,1 PSI-G-4V-MIL,CPM502□-□□□□□□□□□,SAMP,10 INCH-GF-CGRADE-MINI,BARO-INHG-DO-MIL,BLV-L30D,TM4C1233D5PM,100 PSI-D-4V-PRIME,MLV-L02D,5 INCH-D1DIP-MV-SDXL,15 PSI-A-PRIME-MV,CPA 602,5 PSI-D-4V-ASCX,MDCX,1 PSI-D-4V,100 PSI-X-DO,20 INCH-DX-4V-MINI,5 INCH-D-DO,100 PSI-G-CGRADE-MINI,MLV SERIES,150 PSI-D-4V,0.5 INCH-G-4V,30 PSI-GF-HGRADE-MINI,MLV-L01D,0.3 PSI-D-HGRADE-MV,20 INCH-D-MV,ADO,10 INCH-G-MV-MINI,1 INCH-G-4V,5 INCH-DX-MV-MINI,15 PSI-G-4V,BLC-L30D,0.3 PSI-D-4V,BLVR,0.3 PSI-G-4V-PRIME,150 PSI-D-HGRADE-MV,BLC-L01D-D1,2 INCH-DX-MV-MINI,2 INCH-G-MV-MINI,0.3 PSI-G-HGRADE-MINI,30 PSI-DX-4V-MINI,MLV-030D,100 PSI-D-DO,15 PSI-A-HGRADE-MINI,CPA-602,0.5 INCH-DX-4V-MINI,MCS SERIES,0.3 PSI-G-PRIME-MINI,2 INCH-D-MV,1 PSI-G-CGRADE-MINI,DLC,15 PSI-G-PRIME-MINI,30 PSI-D-4V-PRIME,1 PSI-D-CGRADE-MV,SPM 02,DLH,30 PSI-D-PRIME-MINI,DLVR-L02D-E1NS-C-NI3F,15 PSI-G-HGRADE-MINI,60 INCH-G-4V,MLV-150D,30 PSI-A-4V,FPS,0.3 PSI-DX-4V-MINI,0.3 PSI-GF-PRIME-MINI,DLV,15 PSI-A-CGRADE-MV,120 CMH2O-D1-4V-MINI,30 INCH-G-MV-MIN,BARO-A-4V,15 PSI-GF-PRIME-MINI,BARO-DO-MIL,DLHR-L02DE1NS-CNAV6,10 INCH-GDIP-MV-SDXL,5 PSI-D-4V,15 PSI-AF-PRIME-MINI,20 CMH2O-D1-4V-MINI,MLV-L05D,100 PSI-GF-CGRADE-MINI,5 PSI-D-PRIME-MINI,DLVR-F50D,0.3 PSI-D-4V-MIL,5 INCH-D-MV,DLVR-L05D,DLVR-L05G,15 PSI-G-CGRADE-MINI,0.3 PSI-D-4V-PRIME,15 PSI-D-4V-ASCX,10 INCH-GF-HGRADE-MINI,15 PSI-D-PRIME-MV,4 INCH-G-CGRADE-MINI,150 PSI-G-4V,10 INCH-DX-MV-MINI,60 INCH-DX-P4V-MINI,10 INCH-D1DIP-MV-SDXL,BDS-L10D100A,BLC,30 INCH-D-MV,SPA 401□-□□□□□□□□□□□□□□□□,100 PSI-G-CGRADE-MIN,30 INCH-GDIP-MV-MINI,DLV-005G-E1BD-CNI3F,2 INCH-D2DIP-MV-MINI,20 INCH-D1DIP-MV-MINI,DLV-060D,DLV-060G,30 PSI-A-DO-MIL,1 PSI-D-4V-MIL,DLVR-L02G,1 PSI-D-4V-MINI,DLV-060A,BLV,2 INCH-D1DIP-MV-MINI,15 PSI-D-PRIME-MINI,BDS-L10D030A-N9,10 INCH-DX-P4V-MINI,30 PSI-A-4V-ASCX,CPA602□-□□□□□□□□□,5 PSI-D-CGRADE-MINI,30 PSI-A-HGRADE-MINI,1 PSI-D-DO-MIL,DLVR,2.5 INCH-D-4V,MLV-L10D-A6DXF-N,DLVR-L01D,30 INCH-D1DIP-MV-SDXL,DLVR-L01G,30 PSI-AF-HGRADE-MINI,BLCR-L05D,15 PSI-A-DO,CPA-502,10 INCH-D-DO,1 PSI-G-4V,MCI,BP01-D-MV,DLVR-L02D,5 PSI-G-4V-MIL,DHLR-L10D,MCS,DLHR- L02D + X,BLVR SERIES,DLV-030G,MLV-015D,10 INCH-G-CGRADE-MINI,MLV-015A,DLV-030A,20 INCH-G-P4V-MINI,ACPC,MLV-100D,DLV-030D,5 PSI-D-4V-PRIME,0.3 PSI-D-PRIME-MINI,20 INCH-D-4V,10 INCH-D2DIP-MV-SDXL,120 CMH2O-D-4V,15 PSI-D-HGRADE-MV,DLH-L05G,DLH-L05D,100 PSI-A-4V,5 PSI-GF-HGRADE-MINI,100 PSI-D-HGRADE-MV,BARO-A-4V-MINI,0.3 PSI-D-HGRADE-MINI,1 PSI-GF-HGRADE-MINI,4 INCH-D-HGRADE-MINI,5 PSI-D-4V-MINI,1 INCH-G-P4V-MINI,4 INCH-D-HGRADE-MV,15 PSI-D-HGRADE-MINI,5 PSI-D-HGRADE-MV,10 INCH-GDIP-MV-MINI,BLVR-L10D-B1NS-N,15 PSI-D-4V,4 INCH-GF-HGRADE-MINI,30 PSI-G-PRIME-MINI,1 INCH-G-4V-MINI,PSI-X-4V-ASCX,5 PSI-DX-4V-MINI,100 PSI-G-PRIME-MINI,DLVR-L10D,30 PSI-D-CGRADE-MV,DLVR-L10G,1 PSI-D-HGRADE-MINI,BLC-015A,5 INCH-GDIP-MV-SDXL,SPM 401,0.3 PSI-GF-HGRADE-MINI,SPM 402,30 INCH-D2DIP-MV-MINI,30 PSI-AF-PRIME-MINI,100 PSI-A-DO-MIL,MLV-L10D-A6AAX-N,5 CMH2O-D1-P4V-MINI,5 PSI-D-CGRADE-MV,30 PSI-D-4V,MLV-L10D-A6XAF-N,CPM602,30 INCH-D2-MV-MINI,ASCX SERIES,BARO-A-4V-MINI-PRIME,0.25 INCH-D-4V,DLHR- L10D + X,15 PSI-A-HGRADE-MV,100 PSI-GF-HGRADE-MINI,10 INCH-DX-4V-MINI,BDS-L10D030A,BLCR-L10D,1 PSI-GF-PRIME-MINI,100 PSI-D-CGRADE-MV,BDS SERIES,DLHR-L60D,DLHR-L60G,1 MBAR-D-4V,SPM401□-□□□□□□□□□□□□□□□□,5 PSI-G-HGRADE-MINI,5 PSI-GF-CGRADE-MINI,MAMP,0.3 PSI-G-4V-MINI,ADUX,0.3 PSI-G-CGRADE-MINI,2 INCH-GDIP-MV-SDXL,5 INCH-D-4V,4 INCH-D-CGRADE-MV,5 PSI-D-HGRADE-MINI,30 INCH-D-4V,BLV-L01DB1NS-N,10 INCH-G-PRIME-MINI,15 PSI-D-CGRADE-MV,BLCR,30 PSI-D-HGRADE-MIN,100 PSI-AF-PRIME-MINI,100 PSI-A-HGRADE-MV,20 INCH-GDIP-MV-MINI,CPM-502,MLV-005D,1 PSI-D-DO,BLCR-L20D,BARO-A-4V-PRIME-REF,5 PSI-D-DO-MIL,ABX00004,10 INCH-D1DIP-MV-MINI,10 INCH-D-MV,SPA 401,ABX00002,SPA 402,0.5 INCH-D-MV,30 INCH-D2DIP-MV-SDXL,100 PSI-A-4V-PRIME,1 PSI-D-HGRADE-MV,15 PSI-A-PRIME-MINI,DLH-L05D-E1NS-C-NAV6,5 INCH-DX-P4V-MINI,2 INCH-D2DIP-MV-SDXL,FPS SERIES,0.3 PSI-D-CGRADE-MINI,5 INCH-D2DIP-MV-SDXL,1 PSI-G-PRIME-MINI,30 PSI-A-PRIME-MV,30 PSI-A-4V-PRIME,SPM402□-□□□□□□□□□□□□□□□□,30 PSI-G-4V-MINI,BLC-L05D,MCI SERIES,100 PSI-G-HGRADE-MINI,BLVR-L20D,100 PSI-D-4V,30 PSI-A-4V-MINI,DLH-L10D,10 INCH-D-CGRADE-MINI,DLH-L10G,15 PSI-GF-CGRADE-MINI,1 INCH-D-MV,1 PSI-D-4V-ASCX,100

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P111 中压硅压力传感器芯片数据手册

型号- 51041,51283,51282,51142,51045,51187,51245,51046,51244,51304,51007,51006,51303,51008,P111,51151,51010,51076,51254,51012,51298,51011,51253,51299,51137,51114

数据手册 - AMPHENOL SENSORS - 06/2018 PDF 中文下载

Amphenol sensors(安费诺)Nova P111系列中压硅压力传感器晶圆裸片数据手册

型号- 51010,P111,51012,51011,51007,51006,51008

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MEMS Pressure Sensor Solutions – Industrial Applications Application Spotlight

型号- P1905,P111,P122,P2705,NPA SERIES,P330,P883,P112,P2701,P330W,PT1907,P1302,P1300,P1113,P6014,PT200C,NPC SERIES,NPI SERIES,NPH SERIES,P162,P250C,P330B,P300C

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P1602 硅压力传感器芯片数据手册

型号- 51393,51409,51408,51395,51394,51397,51399,51421,P1602,51407,51406

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世强有没有压力传感器裸片供应？

有，Amphenol Sensor的P1300、P1302、P111、P883、P1602、P122等产品系列均为传感器芯片。

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【产品】2.7×3.2mm超小尺寸P111中压硅压力传感器芯片，非线性度小于0.25%FSO

NovaSensor®（Amphenol Sensors（安费诺）旗下品牌）的P111压阻压力传感器，在恒定1.0mA直流激励下，产生的毫伏电压输出和输入压力成线性比例。P111可以测k量出被测介质相对于芯片的真空腔的绝对压强。

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Amphenol sensors(安费诺)Nova P883系列中压力硅压力传感器晶圆裸片数据手册

型号- P883,51340,51331,51342,51330,51341,51322,51333,51332,51343,51324,51335,51323,51334,51326,51337,51325,51336,51328,51339,51327,51338,51329

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Amphenol sensors(安费诺)Nova P112系列中压硅压力传感器晶圆裸片数据手册

型号- 51155,51157,51212,P112,51156,51159,51247,51269,51158,51206,51160

数据手册 - AMPHENOL SENSORS - 08/2014 PDF 英文下载

Amphenol Sensors（安费诺）是先进传感技术和创新嵌入式测量解决方案的创新领导品牌，成为工业，汽车，医疗，消费等领域的客户提供创新和多样化的传感器产品组合，包括温度，湿度，压力，热验证，气体，位置，振动，超声波和超低压等，以及定制化的测试测量解决方案。

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Amphenol Sensors(安费诺)/Thermometrics 温度传感器选型指南

目录- 温度传感器产品介绍及应用领域 NTC热敏电阻/PTC热敏电阻探针和组件其他技术和附件

型号- T5D,HM,YA,YB,YC,P60,YD,YF,P65,YG,YH,RL40,YK,YL,YP,YR,EC95,GC32,YS,RL45,GC16,B35,UD20,RL30,3006,AB6,MELF,JA,YS4019,JB,JTC,JC,JD,RL35,JE,JF,MF65,SP85,JS2945,JI,B43,JL,JM,JP,FP10,JR,JTR,CTR100,FP14,P85,JW,M,NDK,T,NDM,CTR65,NDL,ZTP,BB07,PT1000,0706,BB05,NDP,YS4020,NDU,YSM 4021,CL,CTR85,BR16,KU,BR14,KY,BR11,TC,FP07,1403,NHQM,YSM,TH,R100,TM,MA400,PTSM,TP,1803,BB11,EVAP,P100,MA100,DK,SC30,R60,BR23,P20,R65,HVAC,P25,YM120,PT200,EVAPA1450,MS,DKM,MT,CTR60,P30,RL1004,BR32,A1447-A1450,ND,PTA,NK,EVAPA1447,1703,PTE,PTD,SP100,PTF,DC95,PTH,B05,B07,PTO,EVAP A1424,SC50,R85,BR42,C100,2006,JYA,NHQ,NHQMM,GC11,GC14,GE,RL20,M2000,B10,PT100,B14,GT,BR55,MC65,SP60,TK95,SP65,RL14,RL060628,RL10

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