京瓷开发用于100微米长微型光源的新型薄膜工艺技术，更易剥落氮化镓器件层，助力自动驾驶和A/VR应用

时间： 2022-12-30 来源：KYOCERA官网

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KYOCERA推出新工艺，以更高的产量和更低的成本制造出正常运转的100微米长微型光源——使短腔激光器和微型发光二极管用于自动驾驶、AR和VR应用。

京瓷公司开发了一种新的薄膜工艺技术，用于制造基于氮化镓（GaN）的微型光源独特硅基片（微型光源独特Si基片），包括短腔激光器和微型发光二极管。

*世界上最小的：在硅基片上形成的基于氮化镓的边发射激光器当中。

京瓷开发的100微米长激光器

微型发光二极管基片

100微米长激光器

■ 什么是微型光源？

“微型光源”是一种边长小于100微米（1/10毫米）的光源。例子包括短腔激光器和微型发光二极管。由于它们具有关键性能优势，如清晰度更高、尺寸更小和重量更轻，微型光源被认为是下一代汽车显示器、可穿戴智能眼镜、通信设备和医疗器械的关键。预计到2026年，仅微型发光二极管芯片市场就将达到27亿美元，复合年均增长率（CAGR）约达241%*。

*来源：TrendForce “TrendForce表示，到2026年，微型发光二极管大尺寸显示器芯片市场预计将达27亿美元"。”（2022年8月）

■ 制造微型光源的技术挑战

微型发光二极管和激光器这两种基于氮化镓的光源器件，通常都已在蓝宝石和氮化镓基片上制造。常规工艺包括在受控的气体环境中，通过将蓝宝石基片加热到高温（1000摄氏度或更高），为该光源直接在蓝宝石基片上形成一层薄的氮化镓器件层。然后将这一器件层从该基片上去除，或 “剥离”，以形成基于氮化镓的微型光源器件。尽管对更小器件的需求不断增加，然而在不久的将来，三个不同挑战将威胁削弱这种工艺实现微型化目标的能力。

①在剥离器件层方面面临的困难

就微型发光二极管而言，目前的工艺要求采取困难的步骤，将器件层划分为基片上的单光源；然后，将该器件层从基片上分离（或 “剥离”）。随着器件变得越来越小，这种剥离工艺面临的技术挑战会导致产量低得不可接受。

②缺陷密度高，质量不一致

制造微型光源也存在问题，因为器件层必须沉积在蓝宝石、硅或其他具有与器件层不同的晶体结构的材料上，这就产生了缺陷密度高和固有的质量控制挑战。

③ 制造成本高

氮化镓和蓝宝石基片是非常昂贵的材料。虽然硅基片比蓝宝石便宜，但将该器件层从硅基片上分离出来极其困难。

■京瓷开发的新工艺

京瓷在位于日本京都的京瓷公司先进材料和器件研究所成功开发了新的工艺技术。首先，在硅基片上形成一个氮化镓层，这种基片可以以较低成本大批量获得。然后在氮化镓层上覆盖一层非生长材料的掩模板，其特征为中心有一个开口。在这之后，当氮化镓层在硅基片上形成时，氮化镓核在掩模板开口的上方生长。作为生长核的氮化镓层，在生长的初期阶段有许多缺陷；但是，通过横向形成氮化镓层，可以创造出缺陷密度低的高质量氮化镓层，并可以从该氮化镓层的这一低缺陷区中成功制造器件。

■ 京瓷新工艺的优势

①更易剥落氮化镓器件层

在氮化镓层上覆盖一层非生长材料掩模板，抑制该硅基片和该氮化镓层之间接合，大大简化了剥离工艺。

②缺陷密度低的高质量氮化镓器件层

由于京瓷的工艺可以在比以前更广的区域内沉积低缺陷的氮化镓，因此可以持续制造高质量的器件层。

③制造成本更低

京瓷的新方法有助成功、可靠地将氮化镓器件层从相对廉价的硅基片上分离，这将大大降低制造成本。

■ 微型光源的应用

①下一代汽车透明显示器

未来，自动驾驶出现，将创造对更明亮、更高清、更节能、透明度更高和成本更低的显示器的需求。

下一代汽车透明显示器

②用于增强现实/虚拟现实的微型光源

用于增强现实（AR）和虚拟现实（VR）的微型光源市场预计将快速扩大。智能眼镜和其他产品正在开发，以促进通过虚拟现实中的元宇宙和增强现实中的“去智能手机化”创造虚拟空间。虽然用于增强现实的常规半导体激光器已微型化，其长度短至300微米，但京瓷是世界上首家公司实现微型光源尺寸仅为100微米。京瓷可以通过开发一种全新的生产工艺来实现这一尺寸，这种工艺是由切割法演变而来。

这种所谓的 “新切割法”使尺寸缩小了约67%，并有助将功耗降到最低。功耗更低的半导体激光器使减小电池尺寸和减轻电池重量成为可能，从而更匹配。

增强现实眼镜

在不久的将来，京瓷将提供广泛的平台、基片和工艺技术，将高质量、低成本的微型光源推向市场。京瓷还致力于利用这一新平台改变下一代显示器和激光器市场。

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全部评论（1）

阿尼古 Lv8. 研究员 2023-02-03

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【选型】Kyocera（京瓷）电容器选型指南（中文）

目录- 陶瓷电容器型号编制方法和形状、尺寸表普通应用/薄型/低损耗/三端子陶瓷电容器片状陶瓷电容器的试验方法和规格、结构图产品包装介绍使用注意事项型号一览表

型号- CM105X6S106M10A#,CM316X7R226 □ 06A#,CM02CΔ8R0 □ 25A#,CU02CΔ220 □ 16A#,CM05X5R105 □ 16A#,CM03X7R472 □ 10A#,CM21X6S226M10A#,CM02X7R331 □ 16A#,CM316X7R106 □ 16A#,CM05系列,CM03X5R332 □ 25A#,CM21X5R475 □ 25A#,CU02CΔ5R0 □ 16A#,CU02CΔ9R0 □ 25A#,CM02X5R473 □ 06A#,CM21X7R225 □ 25A#,CM02X5R682 □ 16A#,CM05X5R225 □ 10A#,CT05系列,CT05,CU02CΔ4R0 □ 25A#,CT03,CM05X5R226M04AH,CT105,CM05X5R156M04A#,CM02CΔ1R0 □ 25A#,CM21,CM02CΔ820 □ 16A#,CM03CΔ5R0 □ 50A#,CM21X7R105 □ 50A#,CM316X7R226 □ 10A#,KNH05X5R156M04AH,CM32系列,CU系列,CT05X5R225M06A#033,CM系列,CM316X7S226 □ 10A#,CM105X7R105,CM21X5R476M06A#,CM03CΔ220 □ 50A#,CU02CΔ120 □ 25A#,KNH05,CM105X7R225 □ 06A#,CM21X7R105 □ 25A#,CM316X7R475 □ 50A#,CM03CΔ3R0 □ 50A#,CM21X7T226M06A#,CM02X5R333 □ 06A#,CM105X7R105 □ 10A#,CM32,CU02系列,CM02CΔ560 □ 16A#,CM02X5R102 □ 16A#,CM03X7R332 □ 10A#,CM03CΔ390 □ 50A#,CM02X5R153 □ 06A#,CM05X5R106M06AH,CM02X7R151 □ 16A#,CM32X5R106 □ 25A#,CM02X5R222 □ 16A#,CM03CΔ8R0 □ 50A#,CM,CM316X5R475 □ 50A#,CM105X5R475 □ 10A#,CM32X5R226 □ 25A#,CU02CΔ180 □ 16A#,CM03X5R683 □ 10A#,CU02CΔ7R0 □ 25A#,CT21,CM105X5R106M25A#,CM316X7S225 □ 100A#,CT,KNH05X6S435M02AH,CU,CM03X5R225M06A#035,CU02CΔ2R0 □ 25A#,CM03X5R105M16AH,CM05X5R475M10AH,CM03X5R473 □ 10A#,CT03X5R104 □ 06A#022,CM02CΔ470 □ 16A#,CM02X5R471 □ 16A#,CM02CΔ101 □ 16A#,CT系列,CM21X7S105 □ 100A#,CU02CΔR50 □ 25A#,CM02X7R222 □ 16A#,CM105X7T106,CM03X7R682 □ 10A#,CM02CΔ270 □ 16A#,CM03CΔ270 □ 50A#,CM05X5R105 □ 10A#,CM03CΔ1R5 □ 50A#,CM105X5R105 □ 25A#,CM03CΔ101 □ 50A#,CM105,CM05X5R225 □ 16A#,CT03系列,CU02CΔ3R0 □ 16A#,CM02X5R224M06A#,CM03X6S105M04AH039,CU02CΔ100 □ 16A#,CT105X5R105 □ 16A#055,CU02CΔ5R0 □ 25A#,CM05X5R104 □ 25A#,CM105系列,CM02CΔ6R0 □ 25A#,CM02X5R332 □ 16A#,CM02X7R681 □ 16A#,CT21X5R225 □ 50A#095,CM02X5R223 □ 06A#,CM05X5R474 □ 10A#,CM105X6T226M04AT,CM32X7R106 □ 50A#,CU02CΔ7R0 □ 16A#,CM02CΔ221 □ 16A#,CU02CΔR20 □ 25A#,CU02CΔ1R5 □ 25A#,KNH系列,CM03CΔ9R0 □ 50A#,CU02CΔ1R0 □ 25A#,CM02X7R471 □ 16A#,CM21X7R475 □ 16A#,CM21系列,CM02X7R152 □ 16A#,CM03X5R475M06AH055,CM03X5R475M04AH,CM316X5R225 □ 25A#,CM02CΔ3R0 □ 25A#,CM02X5R474M06A#,CM03X5R224 □ 10A#,CM32X5R106 □ 50A#,CM02CΔ220 □ 25A#,CM03X5R333 □ 10A#,CU02CΔ8R0 □ 25A#,KNH05X6S435M04AH,CM03X5R105M06A#,CM21X6S226M06A#,CM02CΔ330 □ 16A#,CM02X5R152 □ 16A#,CM05X5R475M16AH,CM03CΔ2R0 □ 50A#,CM03CΔ330 □ 50A#,CM02CΔ100 □ 25A#,CM105X5R475,CM02CΔ2R0 □ 25A#,CM32X5R106 □ 16A#,CM316X5R226 □ 16A#,CM03X5R225M10AH,CM02CΔ180 □ 25A#,CU02CΔ3R0 □ 25A#,CM03CΔ4R0 □ 50A#,CM03X5R104 □ 10A#,CM05X7R104 □ 25A#,CM03CΔ120 □ 50A#,CM05X5R105 □ 35A#,CM02X5R681 □ 16A#,CM03CΔ150 □ 50A#,CM02X5R221 □ 16A#,CM03X5R225M06AH,CM105X5R106,CU02CΔ120 □ 16A#,CM02X7R102 □ 16A#,CM32X7R106 □ 25A#,CT21X5R475 □ 16A#095,CM03CΔ820 □ 50A#,CM316,KNH,CU02CΔ4R0 □ 16A#,CM105X5R475 □ 25A#,CT105系列,CM02CΔ7R0 □ 25A#,CM02CΔ150 □ 25A#,CM02CΔ390 □ 16A#,CM02X5R103 □ 16A#,CM21X5R105 □ 50A#,CM316X5R225 □ 100A#,CM05X5R475M25AH,CM05X5R226M06AH080,CM03CΔ6R0 □ 50A#,CM03X5R474 □ 06A#,CM02X5R104 □ 10A#,CM21X5R106 □ 16A#,CT05X5R105 □ 06A#033,CU02CΔ150 □ 16A#,CM03CΔ560 □ 50A#,CM03CΔ470 □ 50A#,CM03CΔ180 □ 50A#,CU02CΔ6R0 □ 16A#,CM02CΔ120 □ 25A#,CM02CΔ4R0 □ 25A#,CM05X5R224 □ 16A#,CM316系列,CM05X7S225M04A#065,CT05X5R475M06AH033,CM02CΔ9R0 □ 25A#,CM02X5R331 □ 16A#,CM03X7R103 □ 10A#,CU02CΔ1R0 □ 16A#,CM03X5R103 □ 25A#,CM03CΔ1R0 □ 50A#,CM02X7R221 □ 16A#,CM SERIES,KNH05X5R435M04AH,CM02CΔ5R0 □ 25A#,CM02X5R472 □ 16A#,CM05X5R225,CM02X5R683 □ 06A#,CU02CΔ6R0 □ 25A#,CM03CΔ7R0 □ 50A#,CM03CΔ680 □ 50A#,CU02CΔ2R0 □ 16A#,CT SERIES,CU SERIES,CU02CΔ8R0 □ 16A#,CM02CΔ680 □ 16A#,CM03CΔ100 □ 50A#,CM03系列,CM21X5R226M10A#,CM316X5R106 □ 25A#,CM03X5R223 □ 10A#,CM03X5R225M06AH□□□,CU02CΔR20 □ 16A#,CU02CΔ1R5 □ 16A#,CM02X5R104 □ 06A#,CU02CΔ9R0 □ 16A#,CM05X7S105M04A#,CM05X5R156M06A#,CM02X5R151 □ 16A#,CM21X6S476M04A#,CM03X5R682 □ 25A#,KNH SERIES,CM105X5R225 □ 16A#,CM21X5R225 □ 25A#,CM21X7R106 □ 06A#,CM105X7R105 □ 16A#,CU02CΔ100 □ 25A#,CM02X5R101 □ 16A#,CM03X5R472 □ 25A#,CM02系列,CM02CΔ1R5 □ 25A#,CU02CΔR50 □ 16A#,KNH05X5R106M04AH,CU02,CM03X6S105M06AH039,CM32X7R226 □ 16A#,CM05,CM05X5R105 □ 25A#,CM316X7R106 □ 25A#,CM03,CM02X7R101 □ 16A#,CM02,CT21系列,CM316X7S475 □ 100AT,CM105X7T475 □ 10A#

选型指南 - KYOCERA - 2021年5月 PDF 中文下载

迈向端到端自动驾驶：端到端矢量地图在线构建方法和基于矢量化表征的端到端自动驾驶算法VAD

随着科技的不断进步，自动驾驶汽车行业正迎来一项具有潜力的革命性技术——端到端自动驾驶。端到端自动驾驶是一种全新的自动驾驶技术，它将感知、决策和控制集成到一个单一的深度学习神经网络中，无需复杂的中间模块。这意味着汽车可以直接从传感器数据中学习并作出决策，以安全而高效地导航城市道路。端到端方案基于数据驱动的方式优化整个系统，打通了各个模块的壁垒，并减少了繁琐的后处理，具有很高的研究价值。

原厂动态发布时间 : 2023-10-27

ECCV 2024｜OSP：全新视角下的自动驾驶场景建模算法

本文首先定义了 PoIs（Points of Interest）这一概念，这是一组用于表征三维场景的稀疏点，也是本文方法的核心。本方法可用于增强 BEV 表征的方法，为三维占据网格预测提供了一种全新的思路，在性能和灵活性上都有优越性。

技术探讨发布时间 : 2024-10-15

【选型】Kyocera（京瓷）喷墨打印头选型指南

目录- 喷墨打印头产品介绍喷墨打印头（UV/水性/油性）选型表

型号- KJ4A-RH,KJ4B-0150,KJ4B-0360,KJ4B-QA,KJ4A-0300,KJ4B,KJ4A,KJ4C-0360,KJ4A-AA,KJ4B-1200,KJ4A-TA,KJ4B-YH,KJ4B-0300

选型指南 - KYOCERA - 2021/06/16 PDF 中文下载

自动驾驶，必须告别激光雷达“PTSD”：北醒激光雷达技术有效缩短生产校准时间，促进规模化生产

北醒 CEO 李远认为，长远来看，汽车行业「降本」是手段而非目的。行业变革真正的指向，永远应该是提供「便利」且「安全」的智能汽车产品，二者缺一不可。在激光雷达领域，「摩尔定律」与「莱特定律」正在成为激光雷达的两大跳板，前者让激光雷达看到芯片化的可能性，后者让生产成本随规模而大幅降低。告别激光雷达「PTSD」，已经成为保证自动驾驶安全的唯一解。

原厂动态发布时间 : 2023-11-26