【应用】TE工业传感器用于流量监测，耐腐蚀，内表面抛光技术实现超高洁净度

时间： 2021-08-23 来源：TE Connectivity

技术问答

半导体设备业可以说是整个集成电路产业的基础。半导体已经进入5纳米级加工水平，在这个精度上进行半导体器件制造，需要集合50多个学科的知识与技术。半导体设备不仅要能实现非常精细的加工，更重要的是均匀性、稳定性、重复性、可靠性和洁净性。只有做到这些，才能满足晶圆制造的高合格率要求。中投顾问在《2017-2021年中国半导体行业产业链深度调研及投资前景预测报告》中指出，要保证可以接受的合格率（例如90%)，就要求每个加工制造环节都有极高的合格率，因为目前先进制程芯片需要1000多个工艺步骤，每一步的不合格都将影响最终的产品合格率。如果每一步的合格率都为99.9%，则1000个步骤后最终合格率只有36.77%。

半导体设备的高精度需求，也需要其内部各个组成部分都具有高性能的水平，这其中就包括了压力传感器以及温度传感器等，都需要具备高精确度、高可靠性、高稳定性等特点。本文介绍压力监测传感器的应用。

高纯度气体供应对于先进的半导体制造流程至关重要。生产集成电路需要30多种不同的气体，用于蚀刻、沉积、氧化、掺杂和惰性化等应用。使用的气体范围比几乎任何其他行业都广，同时还要确保百万分之一以上的纯度，才能实现整个工艺流程的高准确度。

在生产过程中需要用到的主要气体包括通过空气分离现场产生或作为液态输送的氮气和氧气，作为低温液体输送的氩气和作为压缩气体输送的氢气等。除此之外，清洗用水也是一项极大的消耗物资，同样需要准确控制。

压力传感器进行流量测量是一种被广泛采用的方法。压力传感器被安装到管道中，用来测量管道中的差压，并利用流体的条件和检测件与管道的尺寸来计算流量。该方法计算条件苛刻，方法较复杂，对使用的压力传感器灵敏度和精度要求非常高。同时，流体可能是高温，低温或者腐蚀性气体，因此对传感器的可靠性要求也比较高，必须能够耐受各种恶劣的环境，普通的压力传感器很难胜任。此外，由于半导体应用需要高纯度产品，因此对于传感器本身来说，也需要进行表面光洁度处理，不能对介质造成二次污染。

TE 超高纯度(UHP)压力传感器

TE的超高纯度(UHP)压力传感器支持定制化，采用316L或哈氏合金材料使其更具耐腐蚀性，同时表面经过电气抛光以确保超清洁环境。可应用于气柜压力检测、管道压力检测以及混合器出口压力检测等场合。

TE 85系列压力传感器

TE 85系列压力传感器应用于质量流量控制器(MFC)中，MFC用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体制程中，包括扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入等工艺都离不开该装置。

85系列压力传感器具有高精度、小尺寸、0-100mV输出、支持表压和绝压测量、温度补偿等多种特性，可以提升MFC特种气体质量控制精度，从而提升工艺良率。85系列压力传感器同样采用了内表面抛光技术实现超高洁净度，并且支持多种金属材料选择，从而确保高可靠性，不会与介质发生反应造成二次污染。

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目录- 数字元件传感器和开发工具流量传感器力传感器湿度传感器液位传感器血氧传感器压电薄膜传感器位置传感器压力传感器速率和惯性传感器扫描阀及系统速度传感器温度传感器扭矩传感器超声波传感器振动传感器水位传感器

型号- 7504A,3255A,T500,1220,CD9515,DSD 25,68CM1,FS-90,1210,FS-91,4602,HTU3535PVBM,4604,7505A,AISI-304,1230,MS4525DO,DSD 17,MACRO CD375,TSYS02D,D5100,4610,MS8607,ACCUSTAR EA,EPRB,XP5,805,808,89BSD,D,E,F,T400,4630,SDT1,1240,P1200,606M1,PS2011AB,DSD 40,ELM-4000,3058A,MS5803-01BA,FMT,SIL-3,M7100,LS809-31,EGCS-D5,4332M3,TLH100,FTP520,MS54XX,EGCS-D0,ESP 64HD,XL403D,AST46HA,710,832,FN7110,834,EB,PS501,LDM-1000,U86B,DP86,52M30,PS2021AB,EV,M905,EX,720,RVIT-Z,603,LS509-51,ELM-5000,TS318-3B0814,FN4070,H005,H009,TLH,610,RCS01-10,31207B,FTP540,PML 1000,LDS309-11N,EPB-PW,735,EVS722-51,FN9630,MACRO HPGS 750,GC,FN9635,FLDT1,U7100,FTP530,85F,FN4080,AISI-400,834M1,HTU2X,ARD154,EPB,EGAXT,VS804-21,HC,65210E,EPL,7108A,86A,CLP,AST46SW,HR,MS52XX,AST4510,KMT32B,KPSI 730,750,KPSI 735,FTP560,633,634,7531A,XFTC300,Y12AD,FTP552,FTP553,FTP554,AST4401,AST4400,AST4520,KPSI 720,U5700,KPSI 600,FN4055,KPSI 601,MS5803-30BA,FTP551,31206B,FN9620,DPG,LL-01,FN7325,DPL,DPN,98RK-1,64B,40A,64C,40B,HTF3000LF,52F,3022,DSF EX-ATEX,KPSI 750,KMT37,FN3050,TPT,64X,KMT39,9916,53A,AST43LP,AST4500,KPSI 500,KPSI 501,KPSI 745,3028,GÏΜÁÐ,86BSD,8811-01,PM50,KMA36,TSYS01,LT,TSYS02,ATA-2001,KMT36H,P900,LBB,PM81,FN3030,DSD,3038,DSF,CM-01,DSH,8021-AP,8021-AR,DSL,PM83,ML,DT1,4020,TSD,6200,DSS,AST46PT,AST44LP,805M1,AST4600,DSY,TSD305,7500A,DC-SE,EGAXT3,MS5525ASO,4030,LDTC,XPM10,MS4515DO,330,MACRO HSTA/R,KPSI 710,MSP300,335,AST20HA,XS-C,XS-D,7501A,LL-10,HTU3535PVBM/WIRE,MACRO SSI/R,PT101,HTG351XCH,AST2000H2,342,KPSI 700,16HD,KPSI 705,LS304-31,LMM-H04,LMM-H03,FN3148,DSD 70,7502A,7514A,P700,4810A,CD1110,KPSI 330,8021-VP,8021-VR,KPSI 335,AST4000,EÏΜÁÐ,7135A,13,XFL212R,6000,17,LVM-110,KPSI 320,AST44XX,8711-01,121,FN3002,AST5100,LCS-03,FN3000,CS1120,R36,PCA 375,U5300,RT9,RT8,M3200,7100A,23,9400,TLH600,CPA150,27,HS1101LF,28,M210,AST20SW,KPSI 351,KPSI 353,HTU383X/WIRE,IT9000,130,KPSI 355,AST5300,AST4100,SG,CD1140,XPM4,SK,7101A,SM,FX19,MSP100,EPM-5000,SP,TPT300V,PM101,MSP340,SR,33,37,PT9000,AST45XX,KPSI 342,1201F,MT3A,ACH-01,SL-630,M5600,7102A,43,TS,EL20-S458,MS5805,XFU400,SP683,47,MS5803,MP 2000,P981,KPSI 30,HTM2500LF,CS1210,AST5400,MLP,FN1010,HTU2XF,HM1520LF,TS305-10C50,TRUBLUE 585,16MS,52,KPSI 27,MS32,KPSI 28,58,DÏΜÁÐ,MS1451,XPM6,AST46XX,ESP 32HD DTC,160,PT1,161,AST4200,PT5,DSH 16,DOG2,FX29,ESP 64HD DTC,7104A,TRUBLUE 575,FN2114,US300,9146-R,PTX,85BSD,7105A,MS5837,9216,KMA36A,AST20PT,AST4300,MS1471,9146-T,808M1,U5600,FN2570,CD1050,EPM-4001,XP,82,MS5525DSO,85,86,TRUBLUE 555,FS-01,89,MS5607,FS-02,8011,MS4515,FS-05,FS-06,ED32I,MACRO GHSE/R,MS5840,PS2031AB,G系列,8032-01,FN2420,R60D,3052A,154BSD,MS4525,MS5611,XFC200R,EPIH,ELAF,HTU383X,M12,3801A,1620,KMY,65210ES,KMZ,FN2317,M150,AST46DS,11206AC,PS831,8021-01,EGCS-D1S,KPSI 300DS,1630,820M1,XPC10,TSEV,53AF,140A,SL-900,MS5637,MS4426,CD1124T,MS4425,EVS312-11N,MT2,MT3,CS1060,CD1095,832M1,VCS-06,MTA,VCS-04,3700,M5200,FN7080,P105,P101,32HD,9022,E系列,FS19,HTU21DF,7131A,FC22,FC23,4630M12,9034,142A,9038,154N,4801A,9032,LIM-420,9033,5905,7132A,LTA,LTB,4630M14,5903,PT8000,P125,TS318-5C50,T600,8102A,LTR,HM1500LF,D系列,R30A,HTU21D,8011-01,PS801,KPSI 380,NDT-1,FS20,4835A,AST43XX,ACCUSTAR,U5200,1201,FCA7300,AD-101,PS811,VS309-51N,KMXP,11207AC

选型指南 - TE CONNECTIVITY - 2019年6月 PDF 中文下载

TE Connectivity（泰科）传感器选型指南

目录- Company Profile DIGITAL COMPONENT SENSOR DEVELOPMENT TOOLS FLOW SENSORS FORCE SENSORS HUMIDITY SENSORS LIQUID LEVEL SENSORS PHOTO OPTIC SENSORS PIEZO FILM SENSORS POSITION SENSORS PRESSURE SENSORS RATE AND INERTIAL SENSORS SCANNERS AND SYSTEMS SPEED SENSORS TEMPERATURE SENSORS TORQUE SENSORS ULTRASONIC SENSORS VIBRATION SENSORS WATER LEVEL SENSORS

型号- 7504A,3255A,T500,8011-AR,8011-AP,CD9515,DSD 25,68CM1,FS-90,FS-91,6900,4602,4604,7505A,MS4525DO,DSD 17,TSYS02D,CWW600,D5100,4610,MS8607,EPRB,XP5,805,5903 SERIES,808,89BSD,T400,4630,SDT1,P1200,606M1,PS2011AB,LDTC FAMILY,DSD 40,ELM-4000,3058A,MS5803-01BA,FMT,SIL-3,M7100,700,LS809-31,EGCS-D5,TLH100,4332M3,FTP520,MS54XX,EGCS-D0,ESP 64HD,XL403D,AST46HA,832,FN7110,HSTA,834,EB,PS501,LDM-1000,U86B,DP86,KMXP 1000,52M30,PS2021AB,M905,RVIT-Z,603,LS509-51,ELM-5000,TS318-3B0814,FN4070,H005,PT500,H009,610,RCS01-10,31207B,FTP540,CWW850,PML 1000,LDS309-11N,EPB-PW,EVS722-51,CWW1000,FN9630,GC,FN9635,FLDT1,U7100,FTP530,85F,FN4080,834M1,HTU2X,ARD154,EPB,EGAXT,VS804-21,HC,65210E,EPL,7108A,86A,CLP,AST46SW,HR,MS52XX,KMXP 2000,AST4510,KPSI 730,KPSI 735,FTP560,633,634,7531A,XFTC300,Y12AD,18FR,FTP552,FTP553,FTP554,AST4401,AST4400,AST4520,KPSI 720,U5700,KPSI 600,FN4055,KPSI 601,400,MS5803-30BA,FTP551,31206B,FN9620,DPG,TRUBLUE 255,LL-01,FN7325,DPL,DPN,64B,40A,64C,40B,HTF3000LF,52F,3022,KPSI 750,KMT37,FN3050,TPT,64X,KMT39,9916,53A,AST43LP,ESP 16HD,AST4500,KPSI 500,KPSI 501,KPSI 745,3028,86BSD,8811-01,PM50,KMA36,TSYS01,LT,TSYS02,ATA-2001,KMT36H,P900,LBB,G-SERIES,PM81,FN3030,DSD,3038,DSF,CM-01,DSH,8021-AP,8021-AR,DSL,PM83,CD375,ML,DT1,4020,TSD,6200,DSS,AST46PT,AST44LP,805M1,AST4600,DSY,TSD305,7500A,DC-SE,EGAXT3,4030,LDTC,XPM10,MS4515DO,KPSI 710,PT100,MSP300,AST20HA,XS-C,XS-D,7501A,LL-10,HTU3535PVBM/WIRE,PT101,6100,SSI,HTG351XCH,AST2000H2,KPSI 700,SSR,KPSI 705,TRUBLUE 275,LS304-31,LMM-H04,LMM-H03,FN3148,TSYS,DSD 70,7502A,7514A,P700,APS,4810A,CD1110,KPSI 330,8021-VP,8021-VR,KPSI 335,AST4000,7135A,5905 SERIES,400 SERIES,XFL212R,6000,LVM-110,KMXP 5000,KPSI 320,AST44XX,8711-01,121,FN3002,AST5100,LCS-03,FN3000,CS1120,R36,PCA 375,U5300,RT9,RT8,M3200,7100A,9400,TLH600,CPA150,HS1101LF,M210,AST20SW,KPSI 351,KPSI 353,HTU383X/WIRE,130,IT9000,KPSI 355,AST5300,AST4100,SG,CD1140,XPM4,SK,7101A,SM,FX19,MSP100,SP,EPM-5000,TPT300V,PM101,MSP340,SR,12FR GP,PT9000,AST45XX,KPSI 342,1201F,MT3A,ACH-01,SL-630,M5600,7102A,PT1000,TS,EL20-S458,8011-VP,MS5805,XFU400,MS5803,MP 2000,P981,HSTAR,KPSI 30,HTM2500LF,CS1210,AST5400,E-SERIES,MLP,FN1010,HTU2XF,HM1520LF,TS305-10C50,24FR,TRUBLUE 585,16MS,52,8011-VR,KPSI 27,MS32,KPSI 28,58,MS1451,XPM6,160,AST46XX,ESP 32HD DTC,PT1,161,ACCUSTAR EA,AST4200,PT5,DSH 16,DOG2,FX29,MMX,12FR,ESP 64HD DTC,7104A,TRUBLUE 575,FN2114,US300,9FR,9146-R,GHSE,PTX,85BSD,7105A,MS5837,9216,KMA36A,AST20PT,AST4300,MS1471,9146-T,808M1,U5600,FN2570,CD1050,EPM-4001,XP,82,MS5525DSO,85,86,TRUBLUE 555,FS-01,89,MS5607,FS-02,FS-05,FS-06,ED32I,MS5840,PS2031AB,8032-01,FN2420,R60D,3052A,154BSD,P9000,MS5611,XFC200R,EPIH,ELAF,ESP 32HD,M12,3801A,1620,KMY,65210ES,KMZ,FN2317,M150,AST46DS,11206AC,10FR,PS831,8021-01,EGCS-D1S,KPSI 300DS,1630,820M1,XPC10,TSEV,53AF,140A,SL-900,MS5637,CD1124T,EVS312-11N,MT2,MT3,CS1060,CD1095,832M1,VCS-06,MTA,VCS-04,3700,M5200,FN7080,P105,P101,9022,FS19,7131A,FC22,FC23,4630M12,9034,142A,9038,154N,4801A,9032,LIM-420,9033,5905,GHSER,7132A,LTA,ACCUSTAR IP66,LTB,4630M14,5903,PT8000,P125,TS318-5C50,T600,8102A,LTR,HM1500LF,R30A,GHSER 750-A,HTU21D,8011-01,PS801,700 SERIES,KPSI 380,NDT-1,FS20,FS22,4835A,AST43XX,D-SERIES,FS23,U5200,1201,1200,HPGS 750,FCA7300,AD-101,PS811,VS309-51N,KMXP,11207AC

选型指南 - TE CONNECTIVITY - 06/2019 PDF 英文下载

一文深入了解差压传感器，以及它与压力传感器的三大不同

差压传感器，是一种能够精确测量两个位置之间压力差的传感器，被广泛应用于制造业、自动化控制、医疗、环境监测等领域，进行气体、液体的流量控制和压力监测。根据伯努利定理，在流量不变的情况下，流体的速度越大，压力就越小，因此可以通过测量两个位置上的压力差来计算它们之间的速度和流量。

技术探讨发布时间 : 2024-08-03

TE Connectivity（泰科TE）传感器（压力传感器）解决方案

描述- TE为严苛应用环境设计并制造一系列从感应元件到系统封装的压力传感器。基于硅压阻微机械加工(MEMS)技术和硅应变计(Microfused, Krystal Bond)技术，我们的产品能够测量从几英寸水柱(＜5 mbar)到100K psi (7K bar)的各种压力。复杂的设计和先进的生产工艺为医疗，HVACR，非公路/重型设备以及一般工业应用创造了可靠及高性价比的解决方案。

型号- EPL,MS5607,MS5805,P700,MS5803,47,P105,MS4515,P981,P101,1220,MS54XX,MS52XX,P900,AST4000,AST46AST5100,1210,EB,13,154BSD,MS4525,17,P9000,MS5611,MS1451,U86B,1230,154N,DP86,EPIH,MS4525DO,AST44XX,U5700,1620,U5300,D5100,MS8607,EPRB,MS5525ASO,23,US300,P125,89BSD,27,1240,AST20SW,MS4515DO,P1200,AST5300,AST5400XX,MSP300,1630,AST20HA,85BSD,EPB-PW,MSP100,MSP340,33,MS5837,MS5637,37,MS4426,MS4425,U7100,85F,AST20PT,AST45XX,MS1471,AST43XX,U5600,M7100,U5200,EPB,82,86BSD,M5600,MS5525DSO,85,86,43,M5200

应用及方案 - TE CONNECTIVITY - 2016年02月 PDF 中文下载

【选型】一款用于直接式汽车胎压检测的压力传感器MLX91802

经分析汽车采用直接式胎压监测系统比较合理。而对于直接胎压检测它采用的是电池供电，所以它对压力传感器的要求是功耗要低，而且对于汽车胎压而言一般在300kpa左右，在留有一定余量的基础上要求压力传感器测量范围在400kpa左右就可满足要求。根据以上对胎压检测的描述，推荐一款Melexis的压力传感器MLX91802。

器件选型发布时间 : 2019-06-12

【视频】TE超微型医用IntraSense介入式压力传感器助力体内诊疗

型号- SMI-1A-48-100-BMAR,INTRASENSE,INTSE-1B-180-AP-5

商品及供应商介绍 - TE CONNECTIVITY PPTX 中文下载

为胎压检测提供核心性能保证的压力传感器

汽车轮胎压力监测系统（TPMS）作为确保车辆安全的核心技术之一，在“汽车产业调整和振兴规划”中被列为汽车电子类第一项。本文将分享一些TPMS系统中会用到的压力传感核心器件，以及相对应的分离式系统解决方案。

新应用发布时间 : 2016-07-08

【视频】泰科全品类状态监测传感器广泛应用于工业/医疗领域，为客户提供从芯片到智能模组的解决方案

型号- MS5849,MS5837,MS580502BA01-50,HTG3500,HTU21,MS580314BA01-50,HTM2500,SM9000,HTU31,SM7000,SM6000,SM5000

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压力传感器解决方案GP6-010KD-F17用于酒精测试仪，采用24bit数字IIC输出

在酒精检测仪中，通过压力传感器测量人体呼气时通气管中的压力大小，可先得到检测仪中气体的流速；然后由管道的口径大小，便能计算出测试时气体的流量。在酒精检测仪中测量出酒精含量后，根据压力传感器测出呼气量大小，最终便得到了呼出气体中酒精的浓度。从而，可对接受测试的人员的饮酒状况进行判断。本文推荐AIoT品牌（合肥智感科技）的带温补和校准的压力传感器GP6-010KD-F17，非常适合用于酒精测试仪上。

应用方案发布时间 : 2024-07-22

【应用】灵敏度达5.0μV/V/mmHg的0.5g一次性医用压力传感器，为有创血压监测提供解决方案

本文推荐TE Connectivity推出的一款一次性医用压力传感器——1620。1620是一款多用于侵入式（有创）血压监测的完全压阻式硅压力传感器，可用于自动化装配设备，并可直接装入客户的一次性血压计的外壳内。其设计满足美国医疗仪器促进协会（AAMI）规范中所述的要求。具有低成本、小尺寸、长寿命、高敏感度等优势，为一次性血压传感器提供理想解决方案。

应用方案发布时间 : 2019-02-23

【应用】MS5637-30BA压力传感器在智能手机上的应用

传感器的应用是智能手机的一大亮点，例如：温度传感器用于监测手机内部以及电池的温度；加速度传感器功耗小但精度低通常运用在手机中可用来计步、判断手机朝向的方向；重力传感器用来控制手机横竖屏智能切换、拍照照片朝向、重力感应类游戏（如滚钢珠）；光线传感器通常用于调节屏幕自动背光的亮度；紫外线传感器检测在紫外线照射下会释放出大量电子紫外线强度；压力传感器用于测量智能手机上的大气压。本文主要从海拔高度测量

应用方案发布时间 : 2019-07-17