【应用】TE工业传感器用于流量监测，耐腐蚀，内表面抛光技术实现超高洁净度
半导体设备业可以说是整个集成电路产业的基础。半导体已经进入5纳米级加工水平，在这个精度上进行半导体器件制造，需要集合50多个学科的知识与技术。半导体设备不仅要能实现非常精细的加工，更重要的是均匀性、稳定性、重复性、可靠性和洁净性。只有做到这些，才能满足晶圆制造的高合格率要求。中投顾问在《2017-2021年中国半导体行业产业链深度调研及投资前景预测报告》中指出，要保证可以接受的合格率（例如90%)，就要求每个加工制造环节都有极高的合格率，因为目前先进制程芯片需要1000多个工艺步骤，每一步的不合格都将影响最终的产品合格率。如果每一步的合格率都为99.9%，则1000个步骤后最终合格率只有36.77%。
半导体设备的高精度需求，也需要其内部各个组成部分都具有高性能的水平，这其中就包括了压力传感器以及温度传感器等，都需要具备高精确度、高可靠性、高稳定性等特点。本文介绍压力监测传感器的应用。
高纯度气体供应对于先进的半导体制造流程至关重要。生产集成电路需要30多种不同的气体，用于蚀刻、沉积、氧化、掺杂和惰性化等应用。使用的气体范围比几乎任何其他行业都广，同时还要确保百万分之一以上的纯度，才能实现整个工艺流程的高准确度。
在生产过程中需要用到的主要气体包括通过空气分离现场产生或作为液态输送的氮气和氧气，作为低温液体输送的氩气和作为压缩气体输送的氢气等。除此之外，清洗用水也是一项极大的消耗物资，同样需要准确控制。
压力传感器进行流量测量是一种被广泛采用的方法。压力传感器被安装到管道中，用来测量管道中的差压，并利用流体的条件和检测件与管道的尺寸来计算流量。该方法计算条件苛刻，方法较复杂，对使用的压力传感器灵敏度和精度要求非常高。同时，流体可能是高温，低温或者腐蚀性气体，因此对传感器的可靠性要求也比较高，必须能够耐受各种恶劣的环境，普通的压力传感器很难胜任。此外，由于半导体应用需要高纯度产品，因此对于传感器本身来说，也需要进行表面光洁度处理，不能对介质造成二次污染。
TE 超高纯度(UHP)压力传感器
TE的超高纯度(UHP)压力传感器支持定制化，采用316L或哈氏合金材料使其更具耐腐蚀性，同时表面经过电气抛光以确保超清洁环境。可应用于气柜压力检测、管道压力检测以及混合器出口压力检测等场合。
TE 85系列压力传感器
TE 85系列压力传感器应用于质量流量控制器(MFC)中，MFC用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体制程中，包括扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入等工艺都离不开该装置。
85系列压力传感器具有高精度、小尺寸、0-100mV输出、支持表压和绝压测量、温度补偿等多种特性，可以提升MFC特种气体质量控制精度，从而提升工艺良率。85系列压力传感器同样采用了内表面抛光技术实现超高洁净度，并且支持多种金属材料选择，从而确保高可靠性，不会与介质发生反应造成二次污染。
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TE Connectivity（泰科）传感器选型指南
目录- Company Profile DIGITAL COMPONENT SENSOR DEVELOPMENT TOOLS FLOW SENSORS FORCE SENSORS HUMIDITY SENSORS LIQUID LEVEL SENSORS PHOTO OPTIC SENSORS PIEZO FILM SENSORS POSITION SENSORS PRESSURE SENSORS RATE AND INERTIAL SENSORS SCANNERS AND SYSTEMS SPEED SENSORS TEMPERATURE SENSORS TORQUE SENSORS ULTRASONIC SENSORS VIBRATION SENSORS WATER LEVEL SENSORS
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一文深入了解差压传感器，以及它与压力传感器的三大不同
差压传感器，是一种能够精确测量两个位置之间压力差的传感器，被广泛应用于制造业、自动化控制、医疗、环境监测等领域，进行气体、液体的流量控制和压力监测。根据伯努利定理，在流量不变的情况下，流体的速度越大，压力就越小，因此可以通过测量两个位置上的压力差来计算它们之间的速度和流量。
技术探讨 发布时间 : 2024-08-03
TE Connectivity（泰科TE）传感器（压力传感器）解决方案
描述- TE为严苛应用环境设计并制造一系列从感应元件到系统封装的压力传感器。基于硅压阻微机械加工(MEMS)技术和硅应变计(Microfused, Krystal Bond)技术，我们的产品能够测量从几英寸水柱(＜5 mbar)到100K psi (7K bar)的各种压力。复杂的设计和先进的生产工艺为医疗，HVACR，非公路/重型设备以及一般工业应用创造了可靠及高性价比的解决方案。
型号- EPL,MS5607,MS5805,P700,MS5803,47,P105,MS4515,P981,P101,1220,MS54XX,MS52XX,P900,AST4000,AST46AST5100,1210,EB,13,154BSD,MS4525,17,P9000,MS5611,MS1451,U86B,1230,154N,DP86,EPIH,MS4525DO,AST44XX,U5700,1620,U5300,D5100,MS8607,EPRB,MS5525ASO,23,US300,P125,89BSD,27,1240,AST20SW,MS4515DO,P1200,AST5300,AST5400XX,MSP300,1630,AST20HA,85BSD,EPB-PW,MSP100,MSP340,33,MS5837,MS5637,37,MS4426,MS4425,U7100,85F,AST20PT,AST45XX,MS1471,AST43XX,U5600,M7100,U5200,EPB,82,86BSD,M5600,MS5525DSO,85,86,43,M5200
【选型】一款用于直接式汽车胎压检测的压力传感器MLX91802
经分析汽车采用直接式胎压监测系统比较合理。而对于直接胎压检测它采用的是电池供电，所以它对压力传感器的要求是功耗要低，而且对于汽车胎压而言一般在300kpa左右，在留有一定余量的基础上要求压力传感器测量范围在400kpa左右就可满足要求。根据以上对胎压检测的描述，推荐一款Melexis的压力传感器MLX91802。
器件选型 发布时间 : 2019-06-12
【视频】泰科全品类状态监测传感器广泛应用于工业/医疗领域，为客户提供从芯片到智能模组的解决方案
型号- MS5849,MS5837,MS580502BA01-50,HTG3500,HTU21,MS580314BA01-50,HTM2500,SM9000,HTU31,SM7000,SM6000,SM5000
为胎压检测提供核心性能保证的压力传感器
汽车轮胎压力监测系统（TPMS）作为确保车辆安全的核心技术之一，在“汽车产业调整和振兴规划”中被列为汽车电子类第一项。本文将分享一些TPMS系统中会用到的压力传感核心器件，以及相对应的分离式系统解决方案。
新应用 发布时间 : 2016-07-08
【应用】TE微型侵入式压力传感器SMI-1A-48-100-BMAR助力颅内压监测设备，压力灵敏度5µV/V/mmHg
客户目前需选取一款合适的压力传感器用来监测患者颅内压，参数需求50~250mmHg的血压传感器，引线长度110cm，推荐TE Connectivity生产的微型侵入式压力传感器SMI-1A-48-100-BMAR。
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压力传感器解决方案GP6-010KD-F17用于酒精测试仪，采用24bit数字IIC输出
在酒精检测仪中，通过压力传感器测量人体呼气时通气管中的压力大小，可先得到检测仪中气体的流速；然后由管道的口径大小，便能计算出测试时气体的流量。在酒精检测仪中测量出酒精含量后，根据压力传感器测出呼气量大小，最终便得到了呼出气体中酒精的浓度。从而，可对接受测试的人员的饮酒状况进行判断。本文推荐AIoT品牌（合肥智感科技）的带温补和校准的压力传感器GP6-010KD-F17，非常适合用于酒精测试仪上。
应用方案 发布时间 : 2024-07-22
电压范围为3.2V~3.5V的电池包压力监测传感芯片SNP805，可监控低至30µA的电流
SNP805是SENASIC针对电池包热失控管理应用场景的压力传感监测芯片，芯片内置压力传感MEMS、前端放大处理电路、高精度ADC、信号处理、接口传输电路以及温度传感器、压力传感器和供电电压监测单元。电压范围为3.2V~3.5V，温度范围为-40°C~125°C，压力范围为40kPa~260kPa，压力误差±1.2kPa@25°C，可监控低至30µA的电流。
产品 发布时间 : 2023-10-31
Consensic超小型且已填充凝胶的防水压力传感器CPS135B，在可穿戴设备实现睡眠监测功能
CPS135B压力传感器模块是Consensic公司推出一款超小型且已填充凝胶的防水压力传感器，具有睡眠监测功能 ，超小型的外形尺寸以及防水功能非常适用可穿戴设备(防水100米)、仪器仪表以及健身追踪器等对小体积元件的使用要求。
应用方案 发布时间 : 2024-05-24
【应用】康森斯克CPS610系列压差型压力传感器用于新风系统，对变风量控制起到至关重要的作用
Consensic康森斯克公司的CPS610系列压差型压力传感器已取得多项优秀技术成果。产品将压阻式MEMS压力芯体和专用信号调理电路封装在双气嘴结构的管壳内，降低环境对输出的影响。具有高速 24bit I2C 数字输出，高精度压力监测，耐用型 SOIC 封装、双垂直气嘴易安装等特点。
应用方案 发布时间 : 2024-07-16
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可定制板装式压力传感器支持产品量程从5inch水柱到100 psi气压；数字输出压力传感器压力范围0.5~60inH2O，温度补偿范围-20~85ºС；模拟和数字低压传感器可以直接与微控制器通信，具备多种小型SIP和DIP封装可选择。
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支持定制透气膜的宽度，ePTFE材质，耐温范围-40℃-260℃，防水等级IP67/IP68,具有疏水性（拒水性）和不粘性。
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