【应用】TE工业传感器用于流量监测，耐腐蚀，内表面抛光技术实现超高洁净度

时间： 2021-08-23 来源：TE Connectivity

代理服务

技术支持

采购服务

半导体设备业可以说是整个集成电路产业的基础。半导体已经进入5纳米级加工水平，在这个精度上进行半导体器件制造，需要集合50多个学科的知识与技术。半导体设备不仅要能实现非常精细的加工，更重要的是均匀性、稳定性、重复性、可靠性和洁净性。只有做到这些，才能满足晶圆制造的高合格率要求。中投顾问在《2017-2021年中国半导体行业产业链深度调研及投资前景预测报告》中指出，要保证可以接受的合格率（例如90%)，就要求每个加工制造环节都有极高的合格率，因为目前先进制程芯片需要1000多个工艺步骤，每一步的不合格都将影响最终的产品合格率。如果每一步的合格率都为99.9%，则1000个步骤后最终合格率只有36.77%。

半导体设备的高精度需求，也需要其内部各个组成部分都具有高性能的水平，这其中就包括了压力传感器以及温度传感器等，都需要具备高精确度、高可靠性、高稳定性等特点。本文介绍压力监测传感器的应用。

高纯度气体供应对于先进的半导体制造流程至关重要。生产集成电路需要30多种不同的气体，用于蚀刻、沉积、氧化、掺杂和惰性化等应用。使用的气体范围比几乎任何其他行业都广，同时还要确保百万分之一以上的纯度，才能实现整个工艺流程的高准确度。

在生产过程中需要用到的主要气体包括通过空气分离现场产生或作为液态输送的氮气和氧气，作为低温液体输送的氩气和作为压缩气体输送的氢气等。除此之外，清洗用水也是一项极大的消耗物资，同样需要准确控制。

压力传感器进行流量测量是一种被广泛采用的方法。压力传感器被安装到管道中，用来测量管道中的差压，并利用流体的条件和检测件与管道的尺寸来计算流量。该方法计算条件苛刻，方法较复杂，对使用的压力传感器灵敏度和精度要求非常高。同时，流体可能是高温，低温或者腐蚀性气体，因此对传感器的可靠性要求也比较高，必须能够耐受各种恶劣的环境，普通的压力传感器很难胜任。此外，由于半导体应用需要高纯度产品，因此对于传感器本身来说，也需要进行表面光洁度处理，不能对介质造成二次污染。

TE 超高纯度(UHP)压力传感器

TE的超高纯度(UHP)压力传感器支持定制化，采用316L或哈氏合金材料使其更具耐腐蚀性，同时表面经过电气抛光以确保超清洁环境。可应用于气柜压力检测、管道压力检测以及混合器出口压力检测等场合。

TE 85系列压力传感器

TE 85系列压力传感器应用于质量流量控制器(MFC)中，MFC用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体制程中，包括扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入等工艺都离不开该装置。

85系列压力传感器具有高精度、小尺寸、0-100mV输出、支持表压和绝压测量、温度补偿等多种特性，可以提升MFC特种气体质量控制精度，从而提升工艺良率。85系列压力传感器同样采用了内表面抛光技术实现超高洁净度，并且支持多种金属材料选择，从而确保高可靠性，不会与介质发生反应造成二次污染。

发送到邮箱 |
+1 赞 0
收藏
评论 0
| 转发至：

本文由翊翊所思转载自TE Connectivity，原文标题为:TE工业传感器系列典型工业应用半导体设备之压力监测，本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的，且明确注明来源，不希望被转载的媒体或个人可与我们联系，我们将立即进行删除处理。

全部评论（0）

暂无评论

【应用】康森斯克小型压力传感器CPG、CPS610系列在医用输液泵中的应用

输液泵用于临床环境，是医疗上一种用于精确控制输液速度，以确保药物或营养素可以均匀、精确并且安全进入人体血管的打针设备。CONSENSIC公司推荐使用CPG和CPS610系列小型压力传感器，可以监测输液压力，使输液泵对药物打针速度控制愈加精确、安稳，且可以对输液进程加以监控，大大减轻了人工操作量。

2024-07-31 - 应用方案代理服务技术支持采购服务

【应用】TE微型侵入式压力传感器SMI-1A-48-100-BMAR助力颅内压监测设备，压力灵敏度5µV/V/mmHg

客户目前需选取一款合适的压力传感器用来监测患者颅内压，参数需求50~250mmHg的血压传感器，引线长度110cm，推荐TE Connectivity生产的微型侵入式压力传感器SMI-1A-48-100-BMAR。

2022-03-24 - 应用方案代理服务技术支持采购服务

【应用】灵敏度达5.0μV/V/mmHg的0.5g一次性医用压力传感器，为有创血压监测提供解决方案

本文推荐TE Connectivity推出的一款一次性医用压力传感器——1620。1620是一款多用于侵入式（有创）血压监测的完全压阻式硅压力传感器，可用于自动化装配设备，并可直接装入客户的一次性血压计的外壳内。其设计满足美国医疗仪器促进协会（AAMI）规范中所述的要求。具有低成本、小尺寸、长寿命、高敏感度等优势，为一次性血压传感器提供理想解决方案。

2019-02-23 - 应用方案代理服务技术支持采购服务

【选型】一款用于直接式汽车胎压检测的压力传感器MLX91802

经分析汽车采用直接式胎压监测系统比较合理。而对于直接胎压检测它采用的是电池供电，所以它对压力传感器的要求是功耗要低，而且对于汽车胎压而言一般在300kpa左右，在留有一定余量的基础上要求压力传感器测量范围在400kpa左右就可满足要求。根据以上对胎压检测的描述，推荐一款Melexis的压力传感器MLX91802。

2019-06-12 - 器件选型代理服务技术支持采购服务

为胎压检测提供核心性能保证的压力传感器

汽车轮胎压力监测系统（TPMS）作为确保车辆安全的核心技术之一，在“汽车产业调整和振兴规划”中被列为汽车电子类第一项。本文将分享一些TPMS系统中会用到的压力传感核心器件，以及相对应的分离式系统解决方案。

2016-07-08 - 新应用代理服务技术支持采购服务

压力传感器解决方案GP6-010KD-F17用于酒精测试仪，采用24bit数字IIC输出

在酒精检测仪中，通过压力传感器测量人体呼气时通气管中的压力大小，可先得到检测仪中气体的流速；然后由管道的口径大小，便能计算出测试时气体的流量。在酒精检测仪中测量出酒精含量后，根据压力传感器测出呼气量大小，最终便得到了呼出气体中酒精的浓度。从而，可对接受测试的人员的饮酒状况进行判断。本文推荐AIoT品牌（合肥智感科技）的带温补和校准的压力传感器GP6-010KD-F17，非常适合用于酒精测试仪上。

2024-07-22 - 应用方案代理服务技术支持采购服务

电压范围为3.2V~3.5V的电池包压力监测传感芯片SNP805，可监控低至30µA的电流

SNP805是SENASIC针对电池包热失控管理应用场景的压力传感监测芯片，芯片内置压力传感MEMS、前端放大处理电路、高精度ADC、信号处理、接口传输电路以及温度传感器、压力传感器和供电电压监测单元。电压范围为3.2V~3.5V，温度范围为-40°C~125°C，压力范围为40kPa~260kPa，压力误差±1.2kPa@25°C，可监控低至30µA的电流。

2023-10-31 - 产品

SNP830 电池包压力监测传感器 Datasheet

描述- SNP830是一款电池包压力监测传感器，适用于新能源汽车电池包安全监测。它集成了高精度ADC、温度和压力传感器MEMS，支持通过SPI接口与外部主机通信，实现实时压力变化监测和报警。

型号- SNP830,SNP830BMCLE,SNP830BNCLE

2024-1-2 - 琻捷 - 数据手册 - Version 1.3 查看更多版本

【应用】康森斯克CPS610系列压差型压力传感器用于新风系统，对变风量控制起到至关重要的作用

Consensic康森斯克公司的CPS610系列压差型压力传感器已取得多项优秀技术成果。产品将压阻式MEMS压力芯体和专用信号调理电路封装在双气嘴结构的管壳内，降低环境对输出的影响。具有高速 24bit I2C 数字输出，高精度压力监测，耐用型 SOIC 封装、双垂直气嘴易安装等特点。

2024-07-16 - 应用方案代理服务技术支持采购服务

TE Connectivity（泰科TE） 1620一次性医用压力传感器数据手册

描述- 该资料介绍了型号为1620的可抛弃式血压传感器。这是一种用于侵入性血压监测的全压阻硅压力传感器，设计用于与自动装配设备配合使用，可直接插入客户的可抛弃式血压外壳中。传感器符合美国医疗器械促进协会（AAMI）关于血压传感器的规范要求。它具有低成本、小型化、可靠的性能等特点，适用于手术程序、重症监护室、输液泵、肾脏透析机等多种医疗应用。

型号- 1620,1620-X-N,1620-A-NT,1620-X-W

2017年01月01日 - TE CONNECTIVITY - 数据手册代理服务技术支持采购服务

【应用】MS5637-30BA压力传感器在智能手机上的应用

传感器的应用是智能手机的一大亮点，例如：温度传感器用于监测手机内部以及电池的温度；加速度传感器功耗小但精度低通常运用在手机中可用来计步、判断手机朝向的方向；重力传感器用来控制手机横竖屏智能切换、拍照照片朝向、重力感应类游戏（如滚钢珠）；光线传感器通常用于调节屏幕自动背光的亮度；紫外线传感器检测在紫外线照射下会释放出大量电子紫外线强度；压力传感器用于测量智能手机上的大气压。本文主要从海拔高度测量

2019-07-17 - 应用方案代理服务技术支持采购服务

康森斯克压力传感器CPS135B在消防监测系统中的重要作用，提供高分辨率和精确的压力测量

对于压力传感器的选择，康森斯克建议使用压力传感器CPS135B，CPS135B解决方案包括一个电阻桥式压力传感器和一个24位ADC，用于高分辨率和精确的压力测量。完全校准的压力和温度补偿的数字输出使CPS135B解决方案易于使用。应用于手持水深测量系统，潜水设备和潜水表等方面。

2024-07-09 - 应用方案代理服务技术支持采购服务

LSPML03-01低成本、一次性医用硅压力传感器

描述- LSPML03-01压力传感器是一款专为一次性医疗仪器设计的传感器，适用于有创动脉血压监测。它采用全硅压力传感器工艺制造，具备高精度、低成本等特点，广泛应用于医疗设备如血压计、外科手术、暖肾透析机等。

型号- LSPML03-GBPF04-01,LSPML03-01

2021-4-1 - 敏芯微 - 数据手册 - 版本1.2 代理服务技术支持采购服务

【经验】如何通过代码实现压力传感器温度和压力值读取？

TE MS5805压力传感器，可以测量周围环境的温度以及压力；室温下，温度误差为+/-1℃，内部具有24bit ADC，最高压力精度为0.02mbar。本文主要介绍MS5805压力传感器的温度和压力值的读取，方便工程师在软件开发的时候，可以快速的了解MS5805的软件代码实现的过程，更加容易的应用MS5805压力传感器。

2018-01-18 - 设计经验代理服务技术支持采购服务