电容容量的测定方法有什么？

时间： 2023-10-30 来源：是德科技 Keysight Technologies知乎

技术问答

电容测量是分析半导体、元器件、材料等器件及各种电子设备特征的一项基础且十分重要的测量。通常，使用电容表/LCR 表可在高达几 MHz 的多个频率范围内执行电容-电压测量（CV测试），对器件进行表征。电容测量是一种极为常见的测量，但也是一个明明可以预防但还是非常容易出现测量错误的测试领域。

执行精确的电容测量时必须注意以下几点：

对电缆和夹具的寄生电感和电容进行补偿。

适合的连接，考虑到电流流动，使电容表的测量电流达到平衡。

使用晶圆探头的连接（适用于半导体晶圆测量）

要实现精确的器件表征，必须了解电容测量的理论知识以及先进的电容测量方法。

可满足 MOS 器件表征需求的准静态电容电压QS‐CV测试及其挑战

对于 MOS 器件表征来说，除了交流阻抗电容测量外，利用准静态 CV（QS-CV）方法测量电容与电压CV特征也是特别重要的。高频 CV（HF‐CV）曲线无法展示重要反相系统中的 MOS 氧化物的特性，只有 QS-CV 曲线才能显示这一信息。因此，QSCV测试对超薄氧化物 MOS 器件表征的表面状态分析至关重要。大多数情况下，都必须进行 QS-CV测试以及 HF-CV测试和基础的电压-电流测量。

QS-CV 可根据方程式 Q=CV 或 C=I/(dV/dt) 计算电容，前提是需要通过对电压/电流源和测量进行专门控制来获得线性斜率或电压步进。不过，LCR 表和电源/测量单元（SMU）等传统仪器不支持 QS-CV测试，需要使用专门的仪器。因此，尽管工程师们迫切需要 QS-CV测试，但 IV（电流-电压）、HF-CV 和 QS-CV测试的集成和执行一直非常困难。

全方位综合解决方案提供轻松和准确的 IV 和 CV测试（ QSCV / HFCV测试）

为应对上述测量挑战， B1500A 半导体器件分析仪可以配置 SMU 进行 IV测试，也可配置多频率电容单元（MFCMU），在单一设备上进行 CV、C-t 和 C-f 测量。B1500A 的 SMU 还支持 QS‐CV 测量，这是传统 SMU 不具备的功能。

此外，KEYSIGHT B1500A 还支持 SMU CMU统一单元（SCUU），能够在 IV 测量和 CV 测量之间轻松切换，而集成多种测量的配置往往很难实现这一功能。而且，SCUU 可使用 SMU 将直流偏置扩大至 100V。上述功能使 Keysight B1500A 成为能够轻松、快速且准确执行 IV、HF-CV 和 QS-CV测试的完整解决方案。

通过集成电流-电压（IV）和CV测试，可让您对电容-电压CV测试结果充满信心

Keysight B1520A 多频率电容测量单元（MFCMU）拥有是德多年以来的 LCR 仪表技术和知识作为后盾, 进一步扩展 Keysight B1500A 半导体器件分析仪的精确电容测量功能。它集成了 MFCMU 和电源/测量单元（SMU）的功能，能够执行基本的 IV测试和多种电容测量，例如 CV、C-t、C-f 和准静态 CV（QS-CV），因而是一款综合的 IV 和CV测试解决方案。对于要求进行精密 IV 和CV测试的半导体、碳纳米管（CNT）、碳纳米线（CNW）、有源/无源元件、材料以及任意电气器件，B1520A 结合使用 EasyEXPERT 软件的分析和数据管理能力，非常适合对这些器件进行 IV 和 CV 表征。

通过自动更改连接，可以进行快速、精确的 IV 和CV测试

此外，选件 SMU CMU 统一单元（SCUU）允许您方便快捷地切换 IV 和 CV测试，并且不会影响测量精度。除了测量切换和测量精度这两个方面，B1500A 和 SCUU 组合还能处理 CV测试补偿、连接和返回路径问题。您无需对CV测试原理详加了解，仪器能够自动完成上述操作。

使用集成了偏置 T 型接头的 SCUU，可在高达100 V偏置时进行电容测量

MFCMU 内置有高达25 V的直流偏置电源，无需使用外部仪器即可实现偏压。利用 SCUU 中的偏置T型接头，SMU 可将直流偏置扩展到 100V，以满足更高的直流电压需求。直流偏置具有灵活的可扩展性，可以快速、精确地对各种器件进行 IV 和 CV测试。

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Keysight（是德科技）测试仪器分销产品选型指南（英文）

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型号- U8480,B2911A,U1272A,N8926A,34460A,N7040A,U8000,N9340B,53140,N5742A,N5766A,34905A,N9918A,N6735B,N8480,N5743A,N5767A,N1914A,3024T,3012T,U1273A,34904A,N6746B,N6734B,U3800,U1282A,N8948A,34470A,N7042A,N1913A,N5744A,N5768A,34903A,N8924A,N9916A,N9928A,34939A,N6701C,N8949A,U1271A,N8925A,N8937A,N7041A,N1912A,N9000B,N5745A,N5769A,N2819A,3022T,3034T,N6700C,34902A,N9917A,34938A,N6736B,U1600,8491A,DSOX1102G,DSOX1102A,N9320B,P-SERIES,33509B,N7020A,N1911A,N9344C,N5746A,N3302A,N2818A,34901A,34937A,U1701B,82357B,U1273AX,U2802A,N5181B,N2142A,U1281A,B2902A,4024A,N5747A,N3303A,8490G,N2805A,3032T,N6702C,U1700,N6705C,N8928A,N9342C,33519B,B2901A,N3304A,N5748A,34947A,N2804A,N8929A,N5171B,N9343C,N2140A,X-SERIES,B2912A,N3305A,U8903B,N5749A,4022A,34934A,4034A,34946A,8480D,3054T,U2702A,N3306A,U1733C,U1210,U2300,N5700,34945A,3458A,TU1453A,U2701A,B2962A,1146B,N3307A,1147B,N7026A,33600A,33612A,B2961A,N9322C,N9310A,U1731C,2002A,53200,2014A,3104T,U1610A,U2723A,33611A,2004A,U1732C,J7205A,34942A,U3606B,53210A,J7205B,U2722A,N1810UL,33622A,3102T,34941A,N8760A,2012A,2024A,U2500,U1620A,33512B,33500B,33621A,N1810TL,3004A,N6700,N6705,N8761A,N2821A,33511B,N3300,4104A,2022A,N2820A,U2600,33510B,33522B,3014T,N2843A,E36100B,33521B,N9962A,87106D,AC6804B,E4982A,DAQM905A,34950A-34959A,N6750,N9950A,N8740A,E36103B,U2020,EDUX1002A,N9951A,33520B,N7007A,83050A,N2962A,53131A,P9243A,E4981A,U2741A,34972A,E36102B,J7211B,J7211A,J7211C,E36320A,N8741A,AC6802B,DAQM903A,U1270,N9960A,E36311A,N8762A,E36105B,N6781A,U2000,E3641A,EDUX1002G,N2863B,AC6803B,DAQM904A,N8900,U1280,84904L,U2751A,34970A,N9961A,B2900,E36104B,E3640A,AC6800B,N2862B,6002A,E3600,E-SERIES,E36313A,DAQM900A,U1250,U5850,N8756A,N8732A,N8950A,AC6801B,10070D,DAQM902A,U2761A,34980A,E36300A,E36312A,N6782A,DAQM901A,E36106B,53220A,N8757A,87222D,N8733A,N8951A,87222E,N9952A,87104D,P9242A,E4980A,6004A,53132A,N6785A,N6773A,U1452A,B2980A,N6761A,N8754A,N8742A,P9241A,N2871A,53230A,N8700,N4985A-S50,U1240,N6784A,E4981A-001,E4981A-002,N8755A,U1453A,N8731A,N2870A,8495D,N2797A,87405B,N2894A,N5770A,8495B,87405C,34420A,E3647A,10833F,34921A-25A,10833G,10833A,10833B,4154A,10833C,10833D,N6775A,U1450A,N8736A,N6763A,U1232A,N8954A,N6751A,N8930A,N7550,N9923A,N2796A,N9935A,N2893A,N5771A,E36100,E3646A,6811C,N4985A-S30,4032A,N8737A,N6786A,N6774A,N8943A,N6762A,E5063A,10834A,N8955A,U1451A,8494G,N8931A,E3634A,U1233A,3052T,N2783B,P9371A,N2795A,N5772A,6813C,E3649A,6800C,6812C,N6753A,N8758A,U1460A,N6741B,U1242C,N8734A,U1242B,N8952A,N6777A,N8940A,N6765A,P9370A,N2891A,N2782B,EPM SERIES,53181A,N5761A,34931A-33A,34465A,E3648A,4054A,N8759A,N6764A,U1231A,U1461A,N6752A,E9320,83020A,N8735A,N8941A,N6776A,N2793A,DAQ970A,N2890A,L2060,N2781B,U1240C,N9914A,82350C,N5750A,N5762A,U2063,E5810B,N8934A,N6743B,N9926A,P1912A,N8946A,N6731B,N9938A,U1252B,E3643A,E3631A,N6755A,14585A,N2792A,N2780B,U1241C,N5763A,E4980AL,N5751A,E36300,E9300,N8923A,N9915A,N8935A,N6742B,N9927A,E3630A,U1241B,4052A,U1253B,E3642A,N6766A,34908A,N6754A,N2791A,N9912A,N8738A,N9936A,U1190,U2040,N5752A,N5764A,34450A,DAQM907A,N8932A,N8944A,34907A,N8920A,E3645A,N6745B,E3633A,N6733B,L2050,N2790A,U1251B,N8739A,N9913A,N9925A,N5741A,DAQM908A,N5765A,34461A,U2053,N8945A,N6732B,N9937A,N8957A,N8921A,E3632A,E3620A,N6756A,E3644A,N6744B

选型指南 - KEYSIGHT - November 2018 PDF 英文下载

为什么mos管电极会起名为源极栅极和漏极？

功率转换电路中的晶体管的作用非常重要，为进一步实现低损耗与应用尺寸小型化，一直在进行各种改良。如低损耗、高速开关、高温工作等，显而易见这些优势是非常有用的。本文将通过其他功率晶体管的比较，进一步加深对SiC-MOSFET的理解。

技术探讨发布时间 : 2024-06-16

Keysight（是德科技）电源产品选型指南（中文）

目录- BenchVue软件电源产品系统直流电源和台式直流电源直流电源输出电压和电流一览表直流电源直流电子负载交流电源专用电源产品已停产的直流电源及其替代产品

型号- B2911B,B2911A,N8926A,U8000,N5742A,N5766A,6632B,6644A,BV0003B,N6977A,N6735B,N6953A,6800C 系列,N5743A,N5767A,N1275A,6621A,6633B,6645A,N6780 系列,EL30000系列,N6976A,N6746B,B1506A,N6952A,N6734B,U8031A,N8948A,N5744A,N5768A,N1274A,E4361A,N3300A,6622A,6634B,66332A,N8924A,66102A,6600 系列,B1505A,N6701C,66000,N8949A,N8925A,N8937A,6624A,N5745A,N5769A,E4360A,6611C,N3301A,N1273A,6623A,B2901BL,N6700C,66101A,U8000 系列,N6736B,N6954A,E36100A 系列,N6700A,E5263A,6625A,6612C,N5746A,N3302A,N1272A,66104A,N1260A,U8032A,66321D,66321B,B2902B,B2902A,6626A,N5747A,N3303A,6613C,PA2203A,66103A,BV0012B,N1271A,N6702C,6060 系列,6060B,N6705C,B2901B,N8928A,6800B 系列,N7900 系列,B2901A,6627A,EL30000,N3304A,6614C,N5748A,6600,E4360,66106A,N6783A-BAT,N8929A,B2900A,B2912B,E5262A,6628A,B2912A,N3305A,N5749A,66311B,PV8922A,66105A,U8001A,E4368A,N3306A,E4356A,N5700,6672A,B1511B,6684A,PV8921A,RP7935A,CX3322A,BV9210B,RP7945A,RP7933A,B2962A,N8900 系列,N3307A,E4367A,RP7900 系列,N6900,B1510A,6673A,PV8932A,B2960,RP7946A,6620 系列,B2961B,B2961A,RP7932A,6674A,AC6906L,AC6918L,PV8931A,U2723A,U8002A,RP7943A,RP7931A,6675A,B1520A,6651A,PA2201A,U2722A,BV9201B,AC6900,N8760A,6652A,B2900A 系列,E36232A,AC6906H,66300,AC6918H,N6700,N8761A,6653A,E4362A,B1514A,6641A,E36231A,BV9211B,B2960系列,EDU36311A,N3300,B1513C,6654A,6642A,E36234A,N7900,CX3324A,667X,U2720,CX3300A,BV9200B,669X,E36200 系列,66000 系列,B1500A,6643A,B1512A,E36233A,6655A,6631B,AC6903L,668X,RP7936A,E36100B,AC6903H,E36100A,RP7962A,AC6804A,PV8900 系列,AC6804B,N8740A,E36103A,E36103B,N6791A,AC6912L,AC6912H,RP7973A,RP7961A,6035A,66309B,E36102B,E36102A,66309D,N8741A,AC6802B,RP7972A,AC6802A,E3600 系列,E36311A,N8762A,B2960 系列,E36105B,N6781A,E36105A,6690A,E3641A,RP7983A,N3300 系列,AC6803A,AC6803B,N8900,E36104B,E36104A,N6792A,E3640A,6691A,AC6800A,N6790,AC6800B,N6783A-MFG,RP7942A,E3600,6038A,N6900 系列,E36313A,6692A,N6783A,N8756A,6680A,N8732A,PV8900,N8950A,RP7941A,AC6801A,AC6801B,N6780,RP7953A,E36312A,N6782A,E36106B,E36106A,AC6900 系列,N8757A,6681A,N8733A,N8951A,RP7952A,N7971A,6682A,N6785A,N6773A,N6761A,N8754A,N8742A,RP7963A,RP7951A,N7970A,N8700,6683A,6671A,N6784A,N8755A,N8731A,N5770A,6629A,N7973A,E3647A,N6775A,N6763A,N8736A,N6751A,N8954A,N8930A,E36300 系列,E36340,6063B,E5260A,N5771A,N1259A,6812B,N7972A,E36100,E3646A,6811C,6811B,E36100 系列,N6786A,N8737A,N6774A,N6762A,N8943A,AC6800A 系列,N8955A,N8931A,E3634A,N5772A,N1258A,6813C,6813B,N7951A,6800C,E3649A,E36100B系列,6812C,6800B,AC6800B 系列,N6753A,N8758A,N6741B,N8734A,N6971A,N8952A,N6777A,N8940A,N6765A,EL30000 系列,E5270B,N5761A,N7950A,N7974A,N8700 系列,E3648A,N8759A,N6764A,N6752A,N6970A,N8735A,N8941A,N6776A,RP7982A,6030A,N5750A,N7953A,N7977A,N5762A,N1268A,N8934A,N6743B,N6731B,N8946A,N6973A,E36100B 系列,E3643A,E3631A,N6755A,14585A,CX3300A 系列,6031A,N7976A,N5763A,N5751A,E36300,N7952A,N1267A,N6972A,N8923A,N6790 系列,N8935A,N6742B,E3630A,E3642A,N6766A,N6754A,N5700 系列,N8738A,6032A,6030 系列,N5752A,N5764A,RP7900,B2910BL,N1266A,N6951A,N8932A,N8944A,N8920A,E3645A,N6745B,E3633A,N6733B,N8739A,6033A,N7954A,N5741A,N5765A,66319B,N1265A,N6950A,N8945A,N6732B,N8957A,N8921A,E3632A,E3620A,N6756A,N6974A,E3644A,N6744B,66319D

选型指南 - KEYSIGHT - 2021年11月16日 PDF 中文下载

MOSFET工作原理是怎样的？

MOSFET器件工作原理是什么，MOSFET属于什么器件？MOSFET是与施加电压相关的电容器。 MOSFET的栅极至衬底的电容取决于所施加的直流电压（我们在直流电压上叠加幅度小得多的交流电压进行测量）。

技术探讨发布时间 : 2024-06-14

【技术】宽禁带半导体更适合高温下工作原因

Keysight B1500A半导体器件参数分析仪是一款拥有IV、CV和快速脉冲IV等丰富测量功能的综合型器件表征解决方案，测量可靠性非常高。是德科技帮助您加速执行半导体测试，同时降低测试成本，增加利润空间，让您在新市场中占据先机。

技术探讨发布时间 : 2023-07-16

KEYSIGHT自动驾驶与车规芯片测试技术研讨会，共同推动技术创新与发展！

2024年3月15日，KEYSIGHT是德科技与IC PARK共同举办“自动驾驶与车规芯片测试技术”研讨会。本次讲座在中关村集成电路设计园芯学院举行，涵盖毫米波雷达、高级辅助驾驶系统、车载MCU、域控制器高速接口PCIe/DDR，车载以太网以及车载serdes发展趋势与测试挑战等多个热门话题，同时有是德科技示波器、误码仪、网络分析仪、信号分析仪等新品展示与测试技巧交流。

原厂动态发布时间 : 2024-06-10

【应用】IC测试实例系列技术专题——IGBT功率器件参数测试

面对IGBT功率器件高压、高流的测试要求，Keysight 可以提供B1505A和B1506A功率器件分析仪两套测试方案，可以支持晶圆和封装器件全参数测试。这些方法同样适用于宽禁带半导体SiC和GaN功率器件。

应用方案发布时间 : 2018-09-17

源表=电源+数字表？一文看懂SMU源表

是德科技的B2900、M9600等系列源表，内置波形发生器功能，配合强大的触发机制、可轻松实现直流、脉冲、扫描以及任意自定义波形激励。B2900、M9600等系列源表内置采样速率高达15MSa/s的高分辨率数字化仪，灵活的源、测量触发机制，以及Quick IV 软件，可以轻松定制测量的起始位置和测量窗口长短。

原厂动态发布时间 : 2021-07-16

B1500A 半导体器件分析仪技术概述

型号- B1500A

技术文档 - KEYSIGHT - August 22, 2019 PDF 中文下载

是德科技 B1500A 半导体器件分析仪使用 B1500A WGFMU 模块执行超快速 1 μs NBTI 表征

型号- B1500A

应用及方案 - KEYSIGHT - July 31, 2014 PDF 中文下载

Keysight（是德科技） B1500A Semiconductor Device Analyzer Data Sheet

型号- E5263A,82350C,82350B,E4980A,N1301A-200,B1525A,N1301A-100,B1531A,4156C,B1511B,4156B,16440A,3458A,B1517A,E5288A,E5262A,B2900A,E5260A,E5270B,82351B,82537A,82537B,B1500A,81110A,B1514A,4284A,B1530A,4155C,B1520A,N1255A,B1505 A,4155B,B1510A,16445A

数据手册 - KEYSIGHT - December 1,2017 PDF 英文下载