成都中科卓尔智能科技集团携石英空白掩膜版及自主研发掩膜版产线高端装备参加第24届中国国际光电博览会

时间： 2023-09-21 来源：中科卓尔公众号

技术问答

成都中科卓尔智能科技集团参加了第24届中国国际光电博览会，于2023年9月8日下午在深圳国际会展中心(宝安)圆满落幕。

中科卓尔作为参展商参加了此次光博会并向现场观展客人和合作伙伴展示了公司最新的产品和仪器设备。展出重点为石英空白掩膜版及公司自主研发的掩膜版产线高端装备。本次展示的掩膜版为6英寸半导体用空白掩膜版，是公司进入中试及量产阶段的主力型号之一。展出的掩膜版产线高端装备包括实时应力双折射检测设备、ALD原子沉积镀膜设备和高精度磁控溅射镀膜设备等。此外，展会上还推出了近期自研生产的衍生类仪器产品，如手持式应力检测仪、快反镜等。

在三天展会期间，中科卓尔的展位吸引了来自全国多个省市地区及海外客商前来参观、交流、洽谈。通过此次参展，我司与上百人次访客及潜在客户确立商务联系。其中，不乏一些海外专业客户在交流过程中表达了对我司产品的高度认可，个别客户还与我司进行了关于海外代理事宜的洽谈。

参展设备

通用型实时应力双折射检测设备
型号∶TS1-150

手持式应力检测设备

型号:HSI-A100

原子层沉积镀膜设备

型号∶ALD系列

原子层沉积镀膜设备

型号∶ALD300-R

磁控溅射镀膜设备

型号:MSC系列

ZEIT-FSM001

ZEIT-FSM002

ZEIT-FSM004

空白掩膜版

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