敏芯股份MEMS热式质量流量传感器具有高灵敏度,可广泛用于汽车空气流量计、呼吸机等

2023-11-25 敏芯股份公众号
传感器,MFSH01,MFSL01,MFSL02 传感器,MFSH01,MFSL01,MFSL02 传感器,MFSH01,MFSL01,MFSL02 传感器,MFSH01,MFSL01,MFSL02

热式质量流量传感器是利用气体流经加热元器件时,从加热元器件表面带走部分热量,根据气体流量与换热量之间的关系进行测量。利用此传感器做成的流量计具有结构简单、压损小、量程范围宽、过载无损害等优点。


产品原理基于热交换原理的MEMS质量流量传感器:结构由位于由位于敏感薄膜上的微热源、与微热源对称的上游温度传感器和下游温度传感器以及位于硅基上的环境温度传感器组成。



1. 当传感器表面没有气流时,微热源周围的温度场呈对称分布,见上左图;

2. 当传感器表面有气体流动时,气体对微热源有冷却效应,将从微热源带走一部分热量,从而导致微热源周围的温度场对称性被破坏,如上右图。且气体的流速越大,气体从微热源带走的热量越多,微热源周围的温度的不对称性越大。气体的流速通过上下游温度传感器的温度差计算出来。


产品应用

MFSH01/MFSL01 传感器贴在预先定义好的 RF4 或陶瓷基板上,并将基板放置于在精心设计的气体流道中可实现质量流量的双向测量。它特别适合于具有高可靠性、高精度、宽量程要求的洁净气体的测量和监控,包括汽车空气流量检测、医疗呼吸检测及工业气体测量等应用。



传感器可在恒定功率(CP)和恒定电压(CV)模式下工作,但由于 CTD 模式可保证传感器有宽的动态测量范围,因而更推荐工作在所述恒温差(CTD) 模式。所谓的 CTD 测量,是微热源的温度高于环境气体的温度,气体流过时带走一部分热量,保持加热元件和被测气体温度差恒定在一定的温差,控制和测量热源提供的功率,功率消耗随流速的增加而增加,由功率的消耗反映气体流速。


在 CTD 模式工作时, 流量模组可非常快速地检测热平衡的任何变化,并通过加热器调整电源功率的以此测出流速的大小。这种模式可提高质量流量的测量精度以及获得毫秒的响应速度。



产品特征




授权代理商:世强先进(深圳)科技股份有限公司
技术资料,数据手册,3D模型库,原理图,PCB封装文件,选型指南来源平台:世强硬创平台www.sekorm.com
现货商城,价格查询,交期查询,订货,现货采购,在线购买,样品申请渠道:世强硬创平台电子商城www.sekorm.com/supply/
概念,方案,设计,选型,BOM优化,FAE技术支持,样品,加工定制,测试,量产供应服务提供:世强硬创平台www.sekorm.com
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选型指南  -  台达  - 版本 5.0  - 202207 PDF 中文 下载

敏芯微气体流量传感器模组在医疗器械中的应用:量程提升至0-600SLPM,并实现双向可测量功能

现有应用于医疗领域的气体流量检测模组在更大流量检测或双向流量检测的应用中,很难满足相应的要求。敏芯微开发了MF1600系列气体流量传感器模组,同样采用MEMS质量流量传感器技术,并在保持原有系列产品精度不变的基础上,将0-250SLPM的量程提升至0-600SLPM,并实现了双向可测量的功能,是一款既能应用于医用气体流量测量,又能应用于过程控制气体质量流量测量的传感器模组。

应用方案    发布时间 : 2024-10-15

信为科技(Soway)传感器产品选型指南

目录- 公司简介    接近开关&位置开关    角度传感器    转速传感器    位移传感器    液位传感器/液位计/液位开关    流量计&流量开关    压力传感器    温湿度传感器    电流传感器    专用传感器    配套仪表及采集系统   

型号- SP124,SPI 330,SPH312,SWV01 系列,SFC□□□-□□□□-□□□□□-□□-□,SPH318,SFC520-1000A-V1-F1P,SP121,SDM10A系列,SP12系列,SINM系列,SP128,SDM1X系列,SFC系列,SP126,SP□□□□-□□□-□□□-□□□□□,SPC 150,SAHC01-120,SP11G,STMR20E,SP113,SPH1,SP114,HOCM03,SP111,SP112,SCMH40B,SCMH19,SWU 系列,SP119,SDVB16,SYP□□□□-□□□□□□□ □□□□-□□□□□-□□,SPI18-10,SP117,SIMM100,SP118,SP115,SPH3,SYP250E 系列,SDVB20,SPI 318,SPI 312,SDMXXT,SDM40S,FBS101,SYP250E,SYP250T系列,SPH19,SDM20系列,FBS105,W11C,FBS104,SCMH08,SP140,FBS103,SF11G,FBS102,SFU30B,PP系列,SFM□□□□-□□□□□-□□□□□-□□□□□-□□□□□,SP11系列,SIMF,SFU30M,SYP210,SF122,SW1,SFP□□□-□□□□□-□□□□□-□□-□,SDVG20-VA,SINF系列,SIMM,SW□□□□□-□□□-□□□-□□□□□,SFC,SWU801-CD01-1-P9,SYP250T,SF113,SWV01系列,SF119,W133-DH,FBP501,SFM,SPC 130,SFP,SF13A0–1000–K1H3–MAP-S02,SPH318050-2F-N1-MBP10,SP134,SP131,SDVG38-100,SVM302,SWV01-10系列,SYP系列,SF112,SP138,SWU,W11C-2NPT,SIMF600,SIGF070,SP11H-1,SINF-100,SFU60A,SW□□□□□□-□□-□□-□□□□□,SIMM-200,SYP240H,SDHB08-1,SDVH8系列,SMM-260,SF□□□□-□□□□□-□□□□-□□□□□-□□□□,FBN109,SFU60R,SCMH60,FBS105G,SFM系列,SAH1XX-077,SFM20T,SVM30,FBN107,ST119,FBS111,SYP030-40K,SCMH20B,FBS110,SFU60A-08A-A1-GC,SYP265L,SFM40S系列,SWV02-50,SINF,SIMM系列,SFM20,SYP,ST116,ST117,ST118,W131,STMR21-30,SFU□□□□□-□□□-□□□-□□□□,SINM,SIMF100,FBS109,FBS107,FBS106,SWU801,STMR□1-□□-□□□,SPH3系列,SYP240H系列,SDHB08-0.6,SDVB20系列,SF112S,FBPC02,SFM20T-3500X-A1XN-MEP03-AXXX,SFM50P-0470X-A1XNZ-MMD03-EXXXZ,SDV□□□□-□□□□-□□□-□□□,SWU811,SYP210系列,SWD02,SWD01,FBP307,SPC 330,SAH□□□□-□□□□-□□□-□□□□□,STMR21,SDVG,SPI 140,SDM11B系列,SDM□□□□-□□□□□-□□□□□-□□□□□-□□□□□,SDM40S系列,SPC 318,SFM20系列,SIMM200,SYP250E系列,SIMF系列,SWU821,STMR20E-90,W132-DH,SDVG36-8,FBN115,SFM21T,FBN117,SCMH33,SDVB20-20A-A1-CFP,SDVG28,SINF100,SDM11B,SE□□□□□-□□□-□□□-□□□□□,SDVG20系列,SDVG8,SPH308043-2F-N1-G3P10,SDVG20,SYP 系列,SYP030,SPH210019-2F-N1-FZD10,SPC 312,STMR20E-60,SPC 313,STMR21-60,SPR185,SP12,W131-DH,SP13,TMR20E-10,SIGF120,SP11,SINM300,SBP102,W131-DL,SPH312050,SFM40S,SPH318050,SC□□□□□□-□□□□□□□-□□□□-□□□,FBP201,SDVG系列,SIGF系列,SDM40,SYP□□□□-□□□□□□□-□□□□-□□□□□-□□,SPH318系列,SINM-300,SCMH94,SP1191,SPC 306,SPH1系列,SMS,SPH318 系列,SYP030-700K,SDM20T系列,FBP112,SIMM-100,FBP110,SWV02-50系列,STMR21-90,SWV01,SW□□□□□-□□-□□-□□□□□,SAHC23-360,SWV01-10-N5-C6D,TMR20E-30,SPH210019,FBP105,FBP103,SAHX-120B,SDVB20-25,FBP104,SFP系列,SP□□□□□-□□□-□□□-□□□□□,SPH318-10B-MF2-MEP10,FBP107,FBP108,STMR21-5,T118,SDVH8,FBP102,SPI 180,SFP423-1000B-MA-MBB,SDVB16-4,SAHC02-360,SDMA系列,SDVG20 系列,SWU901,SWU901-C1-1-P9,SPH318061,SWV01-12,SPH318-10B-V-MEP10,SWV01-10,SDMA,SPH312050-2F-N1-MBP10,SAHC 系列,SP□□□□□□-□□□-□□□-□□□□□,SF141,SDM10,SPH308043,SDM11,SF142,SDM20T-0800-A1XP-MEP03-2XX1,W11C-1NPT,SDMS,SIGF,SDVG12B-10,SDVG20-35,PX113,BS-01A,BS-01B,SMM201,SPY601,SDMXXT系列,SMS-320,SF131,SF132,SF126,SPH1G,SIGF050,SYP240系列,STMR□3-□□-□□□,SP1310-XX-K1L1-M8P01,SDM20T,SAHC01-120系列,P11T,SDVG36-40,STMR□0E-□□-□□□,SP13系列,SWU□□□-□□□-□□-□□□□,SDM1X,SDM10T系列,SYP25K,SFM50P,SDM21T,SDM10A,SWV01-20,SDM10系列,STP100,P112,SDMS系列,SDM10A-0800-A11P-XXDS-BXXA,SYP240,SDM20,SDVG12,P119,SMS-100,SAHC,SPH40,WEBDAQ,P11M,SDVN8-4,SINF-070,SWV01-18,SPH318061-2F-N1-MEP10,SDM10T

选型指南  -  信为科技  - V8.3  - 2022/7/14 PDF 中文 下载

TE Connectivity(泰科)传感器选型指南

目录- Company Profile    DIGITAL COMPONENT SENSOR DEVELOPMENT TOOLS    FLOW SENSORS    FORCE SENSORS    HUMIDITY SENSORS    LIQUID LEVEL SENSORS    PHOTO OPTIC SENSORS    PIEZO FILM SENSORS    POSITION SENSORS    PRESSURE SENSORS    RATE AND INERTIAL SENSORS    SCANNERS AND SYSTEMS    SPEED SENSORS    TEMPERATURE SENSORS    TORQUE SENSORS    ULTRASONIC SENSORS    VIBRATION SENSORS    WATER LEVEL SENSORS   

型号- 7504A,3255A,T500,8011-AR,8011-AP,CD9515,DSD 25,68CM1,FS-90,FS-91,6900,4602,4604,7505A,MS4525DO,DSD 17,TSYS02D,CWW600,D5100,4610,MS8607,EPRB,XP5,805,5903 SERIES,808,89BSD,T400,4630,SDT1,P1200,606M1,PS2011AB,LDTC FAMILY,DSD 40,ELM-4000,3058A,MS5803-01BA,FMT,SIL-3,M7100,700,LS809-31,EGCS-D5,TLH100,4332M3,FTP520,MS54XX,EGCS-D0,ESP 64HD,XL403D,AST46HA,832,FN7110,HSTA,834,EB,PS501,LDM-1000,U86B,DP86,KMXP 1000,52M30,PS2021AB,M905,RVIT-Z,603,LS509-51,ELM-5000,TS318-3B0814,FN4070,H005,PT500,H009,610,RCS01-10,31207B,FTP540,CWW850,PML 1000,LDS309-11N,EPB-PW,EVS722-51,CWW1000,FN9630,GC,FN9635,FLDT1,U7100,FTP530,85F,FN4080,834M1,HTU2X,ARD154,EPB,EGAXT,VS804-21,HC,65210E,EPL,7108A,86A,CLP,AST46SW,HR,MS52XX,KMXP 2000,AST4510,KPSI 730,KPSI 735,FTP560,633,634,7531A,XFTC300,Y12AD,18FR,FTP552,FTP553,FTP554,AST4401,AST4400,AST4520,KPSI 720,U5700,KPSI 600,FN4055,KPSI 601,400,MS5803-30BA,FTP551,31206B,FN9620,DPG,TRUBLUE 255,LL-01,FN7325,DPL,DPN,64B,40A,64C,40B,HTF3000LF,52F,3022,KPSI 750,KMT37,FN3050,TPT,64X,KMT39,9916,53A,AST43LP,ESP 16HD,AST4500,KPSI 500,KPSI 501,KPSI 745,3028,86BSD,8811-01,PM50,KMA36,TSYS01,LT,TSYS02,ATA-2001,KMT36H,P900,LBB,G-SERIES,PM81,FN3030,DSD,3038,DSF,CM-01,DSH,8021-AP,8021-AR,DSL,PM83,CD375,ML,DT1,4020,TSD,6200,DSS,AST46PT,AST44LP,805M1,AST4600,DSY,TSD305,7500A,DC-SE,EGAXT3,4030,LDTC,XPM10,MS4515DO,KPSI 710,PT100,MSP300,AST20HA,XS-C,XS-D,7501A,LL-10,HTU3535PVBM/WIRE,PT101,6100,SSI,HTG351XCH,AST2000H2,KPSI 700,SSR,KPSI 705,TRUBLUE 275,LS304-31,LMM-H04,LMM-H03,FN3148,TSYS,DSD 70,7502A,7514A,P700,APS,4810A,CD1110,KPSI 330,8021-VP,8021-VR,KPSI 335,AST4000,7135A,5905 SERIES,400 SERIES,XFL212R,6000,LVM-110,KMXP 5000,KPSI 320,AST44XX,8711-01,121,FN3002,AST5100,LCS-03,FN3000,CS1120,R36,PCA 375,U5300,RT9,RT8,M3200,7100A,9400,TLH600,CPA150,HS1101LF,M210,AST20SW,KPSI 351,KPSI 353,HTU383X/WIRE,130,IT9000,KPSI 355,AST5300,AST4100,SG,CD1140,XPM4,SK,7101A,SM,FX19,MSP100,SP,EPM-5000,TPT300V,PM101,MSP340,SR,12FR GP,PT9000,AST45XX,KPSI 342,1201F,MT3A,ACH-01,SL-630,M5600,7102A,PT1000,TS,EL20-S458,8011-VP,MS5805,XFU400,MS5803,MP 2000,P981,HSTAR,KPSI 30,HTM2500LF,CS1210,AST5400,E-SERIES,MLP,FN1010,HTU2XF,HM1520LF,TS305-10C50,24FR,TRUBLUE 585,16MS,52,8011-VR,KPSI 27,MS32,KPSI 28,58,MS1451,XPM6,160,AST46XX,ESP 32HD DTC,PT1,161,ACCUSTAR EA,AST4200,PT5,DSH 16,DOG2,FX29,MMX,12FR,ESP 64HD DTC,7104A,TRUBLUE 575,FN2114,US300,9FR,9146-R,GHSE,PTX,85BSD,7105A,MS5837,9216,KMA36A,AST20PT,AST4300,MS1471,9146-T,808M1,U5600,FN2570,CD1050,EPM-4001,XP,82,MS5525DSO,85,86,TRUBLUE 555,FS-01,89,MS5607,FS-02,FS-05,FS-06,ED32I,MS5840,PS2031AB,8032-01,FN2420,R60D,3052A,154BSD,P9000,MS5611,XFC200R,EPIH,ELAF,ESP 32HD,M12,3801A,1620,KMY,65210ES,KMZ,FN2317,M150,AST46DS,11206AC,10FR,PS831,8021-01,EGCS-D1S,KPSI 300DS,1630,820M1,XPC10,TSEV,53AF,140A,SL-900,MS5637,CD1124T,EVS312-11N,MT2,MT3,CS1060,CD1095,832M1,VCS-06,MTA,VCS-04,3700,M5200,FN7080,P105,P101,9022,FS19,7131A,FC22,FC23,4630M12,9034,142A,9038,154N,4801A,9032,LIM-420,9033,5905,GHSER,7132A,LTA,ACCUSTAR IP66,LTB,4630M14,5903,PT8000,P125,TS318-5C50,T600,8102A,LTR,HM1500LF,R30A,GHSER 750-A,HTU21D,8011-01,PS801,700 SERIES,KPSI 380,NDT-1,FS20,FS22,4835A,AST43XX,D-SERIES,FS23,U5200,1201,1200,HPGS 750,FCA7300,AD-101,PS811,VS309-51N,KMXP,11207AC

选型指南  -  TE CONNECTIVITY  - 06/2019 PDF 英文 下载

Amphenol Sensors(安费诺)/All Sensors 压力传感器选型指南(简版)

目录- 传感器解决方案及产品优势介绍    传感器技术介绍    单芯片压力传感器    双芯电路交叉耦合补偿压力传感器    双芯电路和气路交叉耦合补偿压力传感器    传感器应用领域介绍    压力单位换算    传感器通用名词解释   

型号- DLH,ADCX,ACPC-C,AXCA,ACPC,BLV,DLV,ACPC-H,AXCA-PRIME,AXCA-MIDDLE,MAMP,MLV,SAMP,ACPC-P,BLC,ADUX,BLVR,MAMP-/P,ADCA,DLH,DLVR,DLVR,BLCR,MAMP-P,MDCX,ADO,BLV,AXCX-PRIME-INCH,DLHR,DLHR,AXCX,MLV,AXCA-MIL,BLC,DLC,ADO-MIL

选型指南  -  AMPHENOL SENSORS PDF 中文 下载

Consensic(康森斯克)压力传感器/流量传感器/流量计选型表

描述- 无锡康森斯克电子科技有限公司是一家新兴的MEMS设计、生产制造的美国独资企业。通过持续不断地技术创新,为客户提供更多具有市场竞争力的MEMS产品。无锡康森斯克电子科技有限公司为广大用户提供了MEMS传感器的解决方案。我们致力于不断创新和具有市场竞争力的传感器制造,为先进的集成系统提供了更多微小型封装的选择。

型号- CGF5012,CAFS1000A,CPS121,CAFS3000,CAFS5025,CPS122,CPS125,CAFS1000B,CAFS1000C,CPS123,CPS129,CAFS5008B,CAFS5008A,CPA900,CAFS6000,CAFS4000B,CAFS4000,CAFS5012,CPS171,CMF9000,CPS510,CPS137,CAFS5019,MFC900,CPS135B,CPG

选型指南  -  CONSENSIC  - 2023/8/29 PDF 中文 下载

康森斯克亮相MICONEX2024第三十二届中国国际测量控制与仪器仪表展览会成都世纪城新国际圆满结束

康森斯克电子携多款传感器新品亮相MICONEX2024,为了给现众带来全新的观展体验,CONSENSIC为本次环博展会精心设计了全新展台。展品涵盖CAFS3000, MFC900-P300、显示一体的9000系列、CAFS4000、CMF5000、CTS110、CPG、CTS510系列等等,可用于环保、医疗、消防、工业控制、物流、交通、智能家居等众多领域。

原厂动态    发布时间 : 2024-08-06

工业领域常用的八大传感器有哪些?

​​传感器在工业生产中起着至关重要的作用。它们能够监测和测量各种参数,如温度、压力、流量、湿度、位移、速度等,并将这些参数转化为可处理的电信号,实现对机械制造过程的自动化控制。本文介绍比较常用的几种传感器。

设计经验    发布时间 : 2024-07-11

Consensic流量传感器/流量计/流量控制器选型表

Consensic(康森斯克)提供以下技术参数的流量传感器选型:汽车空气流量计:测量范围:0-370、0-800kg/h;精度2%F.S.;电压:7-24;输出方式:电压、频率输出。流量传感器:测量范围0-3000SCCG、0-10000SCCG、0-500SLPM;精度:1.5%F.S.;输出方式:电压输出、I2C输出、485输出。流量计:测量范围(SLPM):0-300、0-400、0-1000、0-1200、0-150(防爆);精度:1.5%F.S.;输出方式:电压输出、I2C输出、485输出。流量表:0-1000SLPM,精度1.5%F.S.。流量控制器:量程范围:0-10000SCCM,精度:1%F.S。

产品型号
品类
测量范围
精度(%F.S.)
供电电压(V)
输出方式
接口
主要应用场景
备注
CAFS1000A
汽车空气流量计
0-370 kg/h
2
7~24
电压输出
DN60
汽车、各类机车、工业、 化工、机电设备
-

选型表  -  Consensic 立即选型

展会回顾:芯感智携全系仪器仪表类方案产品,亮相MICONEX2024展览会!

第32届中国国际测量控制与仪器仪表展览会(MICONEX)已圆满落幕!作为一家集设计、封测、方案、销售于一体的专业测控方案商,本次展会,芯感智携全系传感器产品及仪器仪表类方案产品集中亮相,其中包含了高精度压力传感器和气体流量传感器、耐腐蚀压力表头、以及数显压力表、差压表、气体流量表头等方案产品,为广大用户及行业人士呈现高品质、先进性的传感器产品及定制化产品解决方案。

原厂动态    发布时间 : 2024-08-05

【应用】微差压传感器SM5852-015用于呼吸流量及呼吸率的检测,量程仅0.05PSI

本方案利用微压差传感器实现呼吸流量及呼吸率的检测。由于呼吸所产生气体流速较小,所以我们需要选用量程较小的,灵敏度较高的差压传感器。SMI公司生产的SM5852-015 采用CMOS数字信号处理技术,内置多级压力非线性修正,量程仅为0.05PSI(1.5 inH2O),已被广泛的应用于呼吸机、麻醉机等医疗设备,非常适合应用到本方案。

应用方案    发布时间 : 2019-12-08

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品牌:敏芯微

品类:MEMS热式流量传感器

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品类:气体质量流量芯片

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品牌:敏芯微

品类:absolute barometer pressure sensor

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品牌:敏芯微

品类:absolute pressure sensor

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品牌:敏芯微

品类:热电堆红外传感器

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品牌:敏芯微

品类:压力传感器

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品牌:敏芯微

品类:Digital output pressure sensor

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品牌:敏芯微

品类:热电堆红外传感器

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品牌:敏芯微

品类:pressure sensor

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品牌:SILICON LABS

品类:Switch Hall Effect Magnetic Position Sensor

价格:¥2.2924

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品牌:格科微

品类:图像传感器

价格:¥11.5588

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品牌:TI

品类:IC

价格:¥2.3459

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品牌:ONSEMI

品类:图像传感器

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品牌:TI

品类:测温芯片

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品牌:SILICON LABS

品类:Light Sensor

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品牌:中科银河芯

品类:温度传感器

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品牌:中科银河芯

品类:温度传感器

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品牌:中科银河芯

品类:温度传感器

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品牌:中科银河芯

品类:温度传感器

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压力传感器定制

可定制板装式压力传感器支持产品量程从5inch水柱到100 psi气压;数字输出压力传感器压力范围0.5~60inH2O,温度补偿范围-20~85ºС;模拟和数字低压传感器可以直接与微控制器通信,具备多种小型SIP和DIP封装可选择。

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温度传感器定制

可定制温度范围-230℃~1150℃、精度可达±0.1°C;支持NTC传感器、PTC传感器、数字式温度传感器、热电堆温度传感器的额定量程和输出/外形尺寸/工作温度范围等参数定制。

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