【仪器】高意LineBeam LB1300-G8退火系统提供四种线光斑长度，提高OLED显示屏制造效率

时间： 2024-01-24 来源：Coherent高意激光公众号

技术问答

越来越多的显示屏制造商开始使用8代线大型基板，新型Coherent LineBeam LB1300-G8 退火系统提高了在8代线大型基板上生产低温多晶硅(LTPS)背板的效率。对于8代线更大尺寸的基板，LB1300-G8提供退火工艺所需的更长激光束，来实现提高效率这一目标，并可选配专为LTPS 工艺设计的革命性新型Coherent PYTHON全固态激光器。

OLED显示屏变得更大

OLED 面板制造商正在积极推进在笔记本电脑、平板电脑、游戏系统和台式电脑显示器等应用中取代传统液晶显示屏 (LCD)。与LCD相比，OLED 显示具有更多优势，特别是在移动或手持设备方面，包括更好的画质、更轻的重量、更紧凑的尺寸（更薄）、更宽的视角、更快的响应时间（对于视频流和游戏来说非常重要）以及更优的电耗（可延长电池寿命）。

但是，制造这类IT面板也给面板制造商带来了挑战，因为以往的生产主要针对较小尺寸的智能手机显示屏。在面板制造工艺中，首先在一块大尺寸玻璃母板上同时生成多个阵列排布的显示屏。随后，再从该母板中切割出单个显示屏。

随着单个显示屏尺寸增加，在给定尺寸的玻璃母板上可以生产的显示屏数量越来越少，但加工该母板的成本却基本保持不变，这导致每个显示屏单位成本的上升。

随着显示屏尺寸增大，在给定尺寸的玻璃母板上可以生产的单位数量相应减少，从而增加了单位成本

面板制造商的一个解决方案是增加玻璃母板尺寸，以便在每块母板上生产出更多数量的显示屏。很显然，这个解决方案的前提是加工这些更大尺寸的母板不会大幅增加成本，否则，将无法显著降低显示屏制造的单位成本。

为8代线优化 LINEBEAM

Coherent 高意是 LTPS 退火系统的首要供应商，全球所有主流面板制造商都依赖我们的LineBeam 系统。过去，我们提供的系统中具有四种不同的线光斑长度选项（750 mm、1000 mm、1300 mm和1500 mm），这使得面板制造商能够加工所有不同尺寸的玻璃母板。

如今，面板制造商计划在最新的8代线 OLED 工厂采用尺寸为 2290 mm x 2620 mm的玻璃母板，这个尺寸比之前的世代线所采用的玻璃母板大得多，其综合成本有可能大幅降低以达到面板制造商的预期。

对于8代线玻璃母板，如果采用沿短边方向扫描两次的方式做LTPS 晶化，则至少需要1310 mm（2620 mm的一半）的线光斑长度。当然，这也可以通过现有的Coherent LineBeam 1500来实现，但该系统的成本显然无法匹配面板制造商所预期的经济效益。

LB1300-G8专为提高8代线面板的经济效益和加工效率而设计，其线光斑长度足以适配采用两次扫描的LTPS 背板工艺，对面板制造商来说极具吸引力。

LB1300-G8的另一大特点是兼容Coherent VYPER或PYTHON 系列激光器。PYTHON是一种二极管泵浦固态 (DPSS) 激光器，其激光输出特性与VYPER 准分子激光器基本相同，而使用成本可大大降低。

Coherent LineBeam LB1300-G8（尤其是搭配TwinPYTHON 激光器时）可使面板制造商在8代线 LTPS 背板量产制造中实现更高的良率和加工效率。

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产品发布时间 : 2024-07-24