【仪器】 高意LineBeam LB1300-G8退火系统提供四种线光斑长度,提高OLED显示屏制造效率

2024-01-24 Coherent高意激光公众号
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越来越多的显示屏制造商开始使用8代线大型基板,新型Coherent LineBeam LB1300-G8 退火系统提高了在8代线大型基板上生产低温多晶硅(LTPS)背板的效率。对于8代线更大尺寸的基板,LB1300-G8提供退火工艺所需的更长激光束,来实现提高效率这一目标,并可选配专为LTPS 工艺设计的革命性新型Coherent PYTHON全固态激光器


OLED显示屏变得更大

OLED 面板制造商正在积极推进在笔记本电脑、平板电脑、游戏系统和台式电脑显示器等应用中取代传统液晶显示屏 (LCD)。与LCD相比,OLED 显示具有更多优势,特别是在移动或手持设备方面,包括更好的画质、更轻的重量、更紧凑的尺寸(更薄)、更宽的视角、更快的响应时间(对于视频流和游戏来说非常重要)以及更优的电耗(可延长电池寿命)。


但是,制造这类IT面板也给面板制造商带来了挑战,因为以往的生产主要针对较小尺寸的智能手机显示屏。在面板制造工艺中,首先在一块大尺寸玻璃母板上同时生成多个阵列排布的显示屏。随后,再从该母板中切割出单个显示屏。


随着单个显示屏尺寸增加,在给定尺寸的玻璃母板上可以生产的显示屏数量越来越少,但加工该母板的成本却基本保持不变,这导致每个显示屏单位成本的上升。

随着显示屏尺寸增大,在给定尺寸的玻璃母板上可以生产的单位数量相应减少,从而增加了单位成本


面板制造商的一个解决方案是增加玻璃母板尺寸,以便在每块母板上生产出更多数量的显示屏。很显然,这个解决方案的前提是加工这些更大尺寸的母板不会大幅增加成本,否则,将无法显著降低显示屏制造的单位成本。


为8代线优化 LINEBEAM

Coherent 高意是 LTPS 退火系统的首要供应商,全球所有主流面板制造商都依赖我们的LineBeam 系统。过去,我们提供的系统中具有四种不同的线光斑长度选项(750 mm、1000 mm、1300 mm和1500 mm),这使得面板制造商能够加工所有不同尺寸的玻璃母板。


如今,面板制造商计划在最新的8代线 OLED 工厂采用尺寸为 2290 mm x 2620 mm的玻璃母板,这个尺寸比之前的世代线所采用的玻璃母板大得多,其综合成本有可能大幅降低以达到面板制造商的预期。


对于8代线玻璃母板,如果采用沿短边方向扫描两次的方式做LTPS 晶化,则至少需要1310 mm(2620 mm的一半)的线光斑长度。当然,这也可以通过现有的Coherent LineBeam 1500来实现,但该系统的成本显然无法匹配面板制造商所预期的经济效益。


LB1300-G8专为提高8代线面板的经济效益和加工效率而设计,其线光斑长度足以适配采用两次扫描的LTPS 背板工艺,对面板制造商来说极具吸引力。


LB1300-G8的另一大特点是兼容Coherent VYPER或PYTHON 系列激光器。PYTHON是一种二极管泵浦固态 (DPSS) 激光器,其激光输出特性与VYPER 准分子激光器基本相同,而使用成本可大大降低。


Coherent LineBeam LB1300-G8(尤其是搭配TwinPYTHON 激光器时)可使面板制造商在8代线 LTPS 背板量产制造中实现更高的良率和加工效率。

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