真空步进电机和真空减速机在半导体关键设备硅晶体生长炉中的应用
硅晶体生长炉是一种用于制造半导体和其他电子元件的设备。它通过一种叫做直拉法（Czochralski 方法）的工艺来生长单晶硅。硅晶体生长炉的主机包括以下组件：
机架，双立柱
双层水冷式结构炉体
水冷式阀座
晶体提升及旋转机构
坩埚提升及旋转机构
氩气系统
真空系统及自动炉压检测控制
水冷系统及多种安全保障装置
留有二次加料口
原理：
首先，将高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚中，通过石墨加热器产生的高温将其熔化。
然后，稍微降低熔化的硅液的温度，使其产生一定的过冷度。
接下来，将一根固定在籽晶轴上的硅单晶体（称作籽晶）插入熔体表面。待籽晶与熔体熔合后，慢慢向上拉籽晶，晶体就会在籽晶下端生长。
控制籽晶生长出一段长约 100mm、直径为 3～5mm 的细颈，用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错，这个过程称为引晶。
放大晶体直径到工艺要求的大小，一般为 75～300mm，这个过程称为放肩。
进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度，生长出一定直径规格大小的单晶柱体。
最后，将晶体逐渐缩小形成一个尾形锥体，称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程就基本完成，进行一定的保温冷却后就可以取出。
这种直拉法生长单晶的设备和工艺相对简单，容易实现自动控制，生产效率高，易于制备大直径单晶，也容易控制单晶中杂质浓度，因此在半导体行业中得到广泛应用。
硅晶炉需要在生长过程中维持高度纯净的环境，以确保单晶硅的质量。硅晶生产过程需要创造真空环境，以防止杂质进入晶体生长区域。这有助于减少气体和杂质对晶体生长的干扰。所以环境内部的所有部件都需要在真空环境中保持稳定，不能释放对真空环境产生扰动的放气现象和其他真空污染。所以在需要使用到电机的部分，对电机有真空度和洁净度的要求。
在晶体生长设备领域，有一些代表性的企业专注于硅晶体生长设备的研发、制造和销售。以下是其中一些国内的主要企业：
晶盛机电：成立于2006年，是国内晶体生长设备领域的龙头企业。
湖北晶星科技股份有限公司：专注于多晶硅、单晶硅及硅片的生产、加工和销售。
宁夏日晶电子科技有限公司：专业的直拉式碳化硅单晶生长炉生产厂家，其产品包括碳化硅长晶设备、抛光设备和外延设备。
西安创联新能源设备有限公司：该公司也是从事硅片生产的企业之一，主要产品涵盖硅材料、碳化硅和蓝宝石领域。
浙江晶阳机电股份有限公司：专业的直拉式硅单晶生长炉生产厂家，目前主要产品有单晶炉、铸锭炉、其他半导体相关设备。
中固维科（成都）动力技术有限公司是一家专业从事真空，高温，深低温等特殊环境下电机开发、制造及应用的企业，成都市军民融合企业。公司已拥有真空高低温步进电机、真空高低温伺服电机、真空旋转变压器、高低温步进驱动器、真空模组等6个系列产品，可提供特殊环境下完整自动化解决方案，同时可根据客户要求设计、开发特殊规格的上述定制产品。公司的产品已广泛用于航空航天、军工电子、空间观测、生物工程、交通物流等领域。
- |
- +1 赞 0
- 收藏
- 评论 0
本文由鸣鸟不飞转载自中固维科知乎，原文标题为:真空步进电机和真空减速机在半导体关键设备-硅晶体生长炉中的应用，本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的，且明确注明来源，不希望被转载的媒体或个人可与我们联系，我们将立即进行删除处理。
相关推荐
中固维科提供最大4.5N·m的真空电机及模组，真空度可达10-7Pa，实现宝石抛光等真空内多维度运动
对于宝石抛光，新的抛光或表面处理工艺也在实验和实践中不断成熟，比如溅射工艺。为了获得多角度溅射，真空室内的多维度运动机构变得尤为重要。中固维科为实现真空内的多维度运动提供了完整的解决方案，HS真空电机和VC真空模组为真空环境提供从动力到传动的完全支持，真空度可达10-7Pa。可以提供蕞大4.5N.m的真空步进电机，接受定制伺服电机，提供负载150Kg以内标准真空模组，接受定制大负载真空运动平台。
应用方案 发布时间 : 2024-01-12
真空减速机，提升工业生产效率的关键设备
真空减速机是现代工业生产中的关键设备之一，它在提升生产效率和改善产品质量方面发挥着重要作用。作为企业网站内容编辑，我将为您介绍真空减速机的优势和应用。首先，真空减速机能够有效地降低运转噪音和振动，提供一个安静和稳定的工作环境。这对于需要保持高精度和高品质的生产过程至关重要。通过减少噪音和振动，真空减速机有助于降低设备故障率，并延长设备的使用寿命，从而减少了维修和更换成本。
应用方案 发布时间 : 2024-05-09
真空步进电机在真空/高温/低温等环境的应用
中固维科的真空步进电机经过真空高温脱气、真空浸漆等处理，长时工作可承受280度的温度。本文中固维科将探讨真空步进电机在真空、高温、低温等环境的应用。
应用方案 发布时间 : 2024-02-29
中固维科伺服电机/步进电机选型表
中固维科可提供真空、高低温步进电机和伺服电机选型，耐高温达300°C、耐低温达-196°C，适用真空度达10⁻⁷Pa、标准设计28、42、57、86框号两相四线制混合式步进、伺服电机，还可以定制其他规格电机，或定制耐辐射、抗霉菌、耐冲击、出轴形式等特殊要求的电机。
|
产品型号
|
品类
|
相电感（mH）
|
相电阻(Ω)
|
相电流有效值(A)
|
防护等级
|
相电流峰值(A)
|
保持力矩（Nm）
|
工作温度(℃)
|
框号
|
重量（kg）
|
|
HK2032A-NTL2
|
宽温步进电机
|
2.6mH
|
11Ω
|
0.4A
|
IP40
|
0.57A
|
0.013Nm
|
-40~+85℃
|
20
|
0.08kg
|
选型表 - 中固维科 立即选型
中固维科减速机选型表
中固维科提供减速机选型，标准化设计制造42、60、90、120四种规格，可定制其它规格，工作环境温度-196℃至+200℃，适用真空度10⁻⁷Pa，可配合中固维科所有步进电机和伺服电机使用。
|
产品型号
|
品类
|
减速比
|
端盖材质
|
接口
|
工作温度(℃)
|
机壳表处
|
|
GP42-L1i8-BF-NTL3
|
宽温减速机
|
8
|
特种不锈钢
|
步进
|
-60~85℃
|
镀镍
|
选型表 - 中固维科 立即选型
一文介绍真空步进电机
在现代工业中，真空步进电机是一种应用广泛的设备。这种电机通过特定的机械结构和精密的控制系统，能够实现精确、高效的运动控制，在各种工业领域发挥着重要作用。本文中中固维科来为大家介绍真空步进电机，希望对各位工程师朋友有所帮助。
技术探讨 发布时间 : 2024-07-09
中固维科（DDON）真空高低温步进/伺服电机选型指南
描述- 中固维科（成都）动力技术有限公司（以下简称“中固维科”）成立于2013年，坐落于四川省省级重点开发区郫都现代工业港，占地约为2000㎡，公司始终致力于极端环境下特种电机的研发、制造及应用，拥有一支高素质的研发团队和经验丰富的生产队伍。凭借十余年的技术开发积累，产品持续迭代更新，市场渗透逐步加深，已在行业内树立了优良的市场口碑，与多家知名企业建立了长期战略合作伙伴关系。
型号- GP90-BF系列,HSK0810A-2R00,GZ42-BF,HS4248A,GP60-BF,GP120-CF系列,HSK0401A-2R0B,HSK0807A-2R00,GP90-CF,HD235R,HSK0604A-2R0B,HD235,GSHD-003-2A-**,GZ90-BF,GP60-BF系列,HS86118W,HK8680W,GSHD-4D5-2A-**,SV6-PA3ROS,GP60-L2I5-CF-VMT1,GP42-CF,GZ90-BF系列,SV6-PA7ROS,HSK1118A-2R00,GP42-CF系列,GZ42-CF,DV556C,GP90-CF系列,HV4249A,HSV0401A-2R00,HSK1118A-2R0B,GSHD-008-2A-**,HSK0401D-2R00,GP120-CF,HSK0807A-2R0B,GP42-BF系列,GP60-CF系列,HSK0401A-2R00,HSK0604A-2R00,GZ60-CF系列,GZ90-CF系列,HV86128A,GZ60-CF,GZ42-BF系列,DV422,GSFD-020-1D-**,HS2851A,HD265R,HS5776A,HK4240A,HV5786A,HK4260A,GSFD-010-1D-**,HSS0604A-2R00,GZ42-CF系列,GZ60-BF,GP60-CF,HSS0807A-2R00,GSHD-006-2A-**,HD265,HK6084A,HSK0604E-2R00,GZ60-BF系列,GP90-BF,HK86118W,HK60102W,HK2851A,HK4248A,HSS0810A-2R00,GZ90-CF,HK2030A,HSK0810A-2R0B,HSK0807E-2R00,GP42-BF,GSHD-020-2A-**,HK5756A,DV860C,HK5776A
真空减速机的原理及应用领域解析
真空减速机是一种常见的工业设备，其原理和应用领域都非常广泛。在这篇文章中，我将为您解析真空减速机的工作原理以及它在不同领域的应用。
技术探讨 发布时间 : 2024-06-04
中固维科携高温伺服电机、高温步进电机、真空电机参加中国国际电机博览会暨发展论坛
《2023第24届中国国际电机博览会暨发展论坛》在上海新国际博览中心隆重举行。本次展会为中固维科疫情三年后首次参加的电机展览会，主要展示了“高温伺服电机”、“高温步进电机”、以及“真空电机”。中固维科的电机弥补了工业电机不能达到的特殊环境（例如200℃高温、-196℃和-80℃低温、10-5Pa真空度、耐盐雾、防水等等）的空缺，成为行业中的一大亮点。
厂牌及品类 发布时间 : 2024-01-12
详解真空步进电机与电动真空位移运动平台
真空步进电机与电动真空位移运动平台电动位移台简称电移台，因其精度高、速度快、承载大、行程长等特点，而被广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域，以及实现真空、污染、无菌、辐射等环境下的自动位移控制。真空丝杆运动模组真空模组，可在10-7PA的真空环境下运行，耐温达200℃，真空模组的设计首要考虑机构和材料。
设计经验 发布时间 : 2024-03-01
如何选择适合的真空减速机以满足工业需求
选择适合的真空减速机满足工业需求是一项重要任务。通过了解自己的工业需求、不同类型的减速机、质量和可靠性以及价格因素，您将能够做出明智的决策。
技术探讨 发布时间 : 2024-05-30
世强硬创获中固维科授权代理，共拓特殊环境伺服/步进电机市场
中固维科产品已广泛应用于航空航天、军工电子、空间观测、生物工程、交通物流等多个高端领域。
签约新闻 发布时间 : 2024-04-28
真空减速机在制药工艺中的优势及应用案例
真空减速机在制药工艺中具有明显的优势和广泛的应用。它能够降低氧含量、提高干燥效率、提供无菌环境，保证制药过程的和质量。制药厂可以根据自身需求，合理利用真空减速机，提高生产效率和产品质量，进一步推动制药行业的发展。
技术探讨 发布时间 : 2024-05-29
定制-170℃至+150℃步进电机成功验收
中固维科为用户定制特种电机，使用环境温度最低-170℃，最高+150℃，真空度10-4Pa，7月底，在用户现场经过二十四小时测试，然后完成验收。本产品通过严谨的理论分析，结合现有生产工艺，确定合适的设计方案。此次定制产品是我公司在极端环境下应用的一次重大突破，温度差达320℃。
厂牌及品类 发布时间 : 2024-03-13
电子商城
服务
可定制电机的连续转矩范围1Nm至2000Nm，峰值转矩3Nm至5500Nm，电机延长线长度、变换编码器类型。
最小起订量： 1 提交需求>
提供电机的输出反电势波形测试、驱动芯片输入/输出波形测试服务，帮助您根据具体应用场景来选择适合的电机驱动芯片型号，确保电机驱动芯片能够与其他系统组件协同工作达到最佳效果。支持到场/视频直播测试，资深专家全程指导。
实验室地址： 成都 提交需求>
授权代理品牌：集成电路
授权代理品牌：分立元件
授权代理品牌：接插件及结构件
授权代理品牌：部件、组件及配件
授权代理品牌：电源及模块
授权代理品牌：电子材料
授权代理品牌：仪器仪表及测试配组件
授权代理品牌：电工工具及材料
授权代理品牌：机械电子元件
授权代理品牌：加工与定制
我要提问
登录 | 立即注册
提交评论