奥松电子提供适用不同场景的多种气体质量流量控制器,满足各种应用的实际场景
奥松电子在MEMS智能传感器领域深耕20余年,持续为客户提供品质优良的传感器产品,并不断进行技术创新,采用自主研发的MEMS质量流量芯片,开发了一系列气体质量流量控制器产品。这些MFC产品对于半导体、光伏、高端装备制造、医疗设备、工业自动化等工艺精密和环境敏感的领域来说,产品自身的灵敏度、精确度及优良的性能起着至关重要的作用。
AS200气体质量流量控制器
流量范围覆盖多个量程,从100SCCM到300SLM(可定制),能适应多种场景需求
可同时支持数字信号,1~5V或4~20mA模拟信号,方便客户选择
使用双电源(±15 VDC)或单电源(+15~+28 VDC)
支持自动故障报警,多气体多量程
精度高达±1%
免费提供上位机软件
1×10-10 Pa·m3 / sec H的低泄露率,气密性好,保障生产安全
量程从100SCCM到5SLM,可定制
重复性好,稳定可靠
支持多种气体监测测量控制
标准Modbus-RTU通信
质量流量与温度集成测量监测控制
更换了底座结构,优化了流道设计,使流量更加稳定
搭载了LED数码管进行读数显示,并对控制状态一目了然。
加载了按键操作,设置相关参数,简单便捷。
选购指南
适用场景不同
AS200适用于多种常规气体、混合气体及腐蚀性气体,量程规格很多,精度高,可以用于对气体质量流量的精密控制和测量,非常适用于半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域。其典型的应用场合包括:集成电路工艺设备,如外延、扩散、等离子刻蚀、溅射、离子注入和各种CVD等设备;其他行业设备,如光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器等。
AMC2000是针对微小气体流量的测量与控制,可广泛应用于高校科研、消防、环境监测、烟草、智慧农业、食品、医药等行业的质量流量控制监测。
客户可根据自己应用的实际场景选择合适的量程范围和精度的产品。
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MEMS传感器&总成及应用方案供应商 产品宣传册
型号- GF6000,GZP160,GZP6887,GZP6886,GZP6885,GZP167,GZP6169,GZP6167,GZP6881,GZP168,GZP6878A,GZP6846A,GZP6162,GZT6211R,GDT1104,GF5000,GZP6184系列,GZP6826,GZP170,GZP136-G系列,GZP6869,GZP6825,GZP6877,GZP131,GZP6182A,GDP2604,GZP6845A,GDP0703,GF4000,GZP136-G,GZP6818,GZP6859,GZP6858,GZT263,GZP6857,GZP185,GZP6863,GZP6147,GZC6201,GZP6832A,GZR6192,GZR6191,GZP6185,GZP6816D,GZP6184,GZP6183,GZP9091,GZP6181,GF7000,GZP6808D,GF3000,GZP6185系列,GZP192,GZP6847,GZP191,GZP194,GZP193,GZP6899,GZP6810,GZP195,GZP6897,GZP197,GZP6895,GZP6891,GDF9304
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