光刻机实现突破：芯片制造核心瓶颈的环节，28nm光刻机国产替代加速推进

时间： 2024-03-31 来源：芯长征科技公众号

技术问答

光刻机市场达200多亿美元，ASML垄断高端市场，国产光刻机28nm取得突破

光刻机在半导体设备市场中占据重要地位

光刻机，作为半导体制造的核心装备之一，承担着将电路图案高精度转移到硅片上的任务，是半导体制程升级的关键环节。其主要指标包括分辨率、精度（包含覆盖精度和对准精度）以及产能。光刻机在半导体设备市场中占据约24%的份额，市场规模达到了258亿美元，为半导体制造业的发展提供了坚实支持。

光刻机的演进历程

从接触式到极紫外（EUV）光刻，光刻机经历了多个发展阶段。接触光刻技术，虽然是最早的光刻方法，但由于其分辨率的限制和对掩模和硅片的直接接触，使得在实现精细特征方面存在局限性。近距离光刻技术通过增加掩模和硅片之间的间隙，有效降低了损伤风险，但同样受到分辨率的制约。随后的步进扫描光刻技术以其高分辨率和高通量成为一次重大进步，而深紫外（DUV）光刻则使分辨率进一步提高。浸没式光刻的引入，通过使用液体介质替代空气，有效降低了波长，提高了分辨率。而EUV光刻则以约13.5nm的极短波长取得了更小特征的突破，实现了7nm及以下更精细制程。

ASML垄断高端市场，国产光刻机28nm取得突破

在全球光刻机市场中，ASML、Canon、Nikon等大厂商垄断了大部分市场份额。据SEMI预测，2022年全球光刻机市场规模超过200亿美元，其中ASML以161亿美元的营收占据绝对主导地位。中国大陆市场规模约为67亿美元。

然而，令人振奋的是，国产光刻机在28nm技术节点上取得了重要突破。在半导体制程的竞争中，国产光刻机正逐渐减小与国际巨头的差距。这标志着中国在芯片制造领域取得的新的里程碑，为我国半导体产业的独立发展提供了强有力的支持。

EDA技术的重要性

EDA（Electronic Design Automation）技术在半导体设计和制造中起着至关重要的作用。它通过计算机辅助设计工具，提高了芯片设计的效率和精度。EDA技术在半导体产业链中占据着重要地位，为设计人员提供了强大的工具和支持，推动了半导体技术的不断创新。

总体而言，光刻机作为半导体制造的关键装备，在技术演进和市场竞争中发挥着至关重要的作用。国产光刻机的崛起为我国半导体产业自主发展提供了新的机遇，同时，EDA技术的不断进步也为半导体设计和制造注入了强大的动力。随着技术的不断发展，我们有理由相信，在未来的半导体产业中，中国将继续取得更多的突破和进步。

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