Coherent高意Monaco50W紫外飞秒激光器，助力晶圆和堆叠OLED屏的高效切割

时间： 2024-03-26 来源：Coherent高意激光

技术问答

工业级材料加工激光器的领导者COHERENT高意（NYSE: COHR）近日宣布推出新款Monaco工业级紫外(UV)飞秒激光器。新产品配置50W的输出功率，尤其适合晶圆和堆叠OLED显示屏的高速、高效、大批量切割。

面向新一代移动IT设备，晶圆开槽和堆叠显示屏精密切割等应用场景正在快速增多和发展。这加速推动了对新性能激光切割工具的需求——即可提供更高输出功率，完成材料的高精密度、高速加工。新推出的Monaco345-25-50，是首款技术参数达到50W、400fs且具备全天候工业级作业性能的UV激光器。其极易适配集成，可完美支持大批量高精密切割。

Monaco工业激光器平台是我们非常成功的一个产品系列，而Monaco345-25-50正是该系列的最新成员，它也是市场上尺寸很小的50W飞秒激光器。Monaco产品系列已在应用现场得到证明，目前已有800多个Monaco系统部署于世界各地的工厂之中，它们可全天候运行，大规模量产医疗器械和应用于尖端消费品的OLED显示屏。

Allan Ashmead

北美微电子设备和仪表事业部高级副总裁

Monaco345-25-50在紫外线波长以最高达25µJ的能量提供脉冲，其重复率最高可达2MHz，脉冲宽度小于400fs。它具备Monaco平台的所有标准功能，包括可控按需脉冲模式、可变脉冲宽度调制、可变重复率和灵活的种子光源爆发(Seeder Burst)模式。依赖自身的紧凑尺寸和真正的单盒设计，新产品能够轻松集成到各种机床之中。它进一步扩展了Coherent的Monaco红外和绿光激光器系列，是紧随Coherent 在美国西部光电展(Photonics West 2023)上推出高功率、高能Monaco1035-150-150红外激光器之后的又一力作。整个Monaco系列均可以直接烧蚀方式切割各种晶圆材料，碳化硅晶圆也不例外。

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型号- OBIS594LS,1285005,OBIS CORE 552LS,OBIS808LX,OBIS FP 561LS,STR-660-100-T-FL-L01-10-S-TX,GENESIS MX STM-SERIES,GENESIS CX-577,OBIS522LX,GENESIS CX-SERIES,OBIS473LX,SAPPHIRE LP,SAPPHIRE 552 LP,SAPPHIRE 532 SF FP NX,1323285,GENESIS MX-1064,1286584,SAPPHIRE 588 FP,GENESIS MX MTM,GENESIS MX SLM-SERIES,OBIS413LX,GENESIS CX STM-SERIES,GENESIS CX-460,OBIS CORE 514LS,GENESIS MX 532 OEM,GENESIS CX-589,1343229,1234466,STR-660-10-A-FL-L01-20-E-XX,SAPPHIRE 488 LPX,OBIS FP LS,OBIS CORE 488LS,1110061,1234465,OBIS FP LX,GENESIS CX SLM-SERIES,SAPPHIRE 514 FP,OBIS LG 355,1399476,GENESIS CX-590,1179858,OBIS CELLX 488,SAPPHIRE 568 LP,GENESIS CX-355,1276557,1399474,STR-520-35-CW-FL-D01-XX-S-TX,GENESIS MX 561,OBIS FP375LX,1105375,1098313,OBIS561LS,STR-660-35-CW-HR-L01-20-S-XX-8,OBIS XT,1311150,1097901,GENESIS MX,GENESIS CX-480,1365935,GENESIS MX-1154,1280028,1280027,SAPPHIRE LPX,OBIS785LX,GENESIS MX 577,GENESIS CX-488,OBIS LG 355-50,OBIS633LX,STR-639-10-CW-P-L01-75-E-XX,GENESIS CX STM,OBIS422LX,OBIS FP 488LX,SAPPHIRE 561 LPX,OBIS445LX,OBIS FP 488LS,STR-660-100-T-HR-L01-30-E-TX-5,OBIS LG 355-20,SAPPHIRE 594 LP,GENESIS MX-SERIES,OBIS CORE 505LS,OBIS505LS,GENESIS CX SERIES,GENESIS MX-514,1236439,1236438,OBIS505LX,1264213,OBIS FP 514LX,1318680,GENESIS MX STM,GENESIS MX 590,1323597,1318682,1264214,1318681,1236443,1236442,OBIS CELLX 637,1236441,SAPPHIRE 458 FP,OBIS 349 XT,SAPPHIRE 488 SF NX,OL15-UV,1276186,1264216,1318683,1189089,1098579,1264218,1276188,1276187,STR-660-10-CW-FL-L01-60-S-TX,OBIS FP 552LS,1236445,1236444,OBIS FP 785LX,1214875,STR-520-20-CW-FL-L01-75-S-XX-3,OBIS FP 514LS,1321963,1321964,1289028,OBIS532LS,1231404,OBIS730LX,1253555,1253556,OBIS FP 637LX,1253553,1253554,1383130,OL10-UV,SAPPHIRE 552 FP,OBIS375LX,GENESIS MX-532,CHAMELEON ULTRA II,1098350,1288507,OBIS FP445LX,OBIS FP 640LX,OBIS458LX,OBIS GALAXY,GENESIS MX 460 OEM,1173961,COMPASS 115M,OBIS 360 XT,1211389,OBIS405LX,OBIS552LS,OBIS CORE LS,1262526,OBIS 640 XT,OBIS CORE 594LS,SAPPHIRE 532 SF NX,1397910,0012-3863,1262766,GENESIS MX MTM-SERIES,1277105,STR-660-100-T-HR-L01-15-E-TX-5,STR-639-5-CW-FL-L01-20-S-XX-8,STR-660-100-CW-HR-L01-45-S-XX-8,SAPPHIRE 514 LP,1275608,GENESIS MX 514 OEM,GENESIS CX,GENESIS MX 480 OEM,OBIS LX FP,STR-660-100-CW-FL-L01-60-S-XX,SAPPHIRE 561 LP,GENESIS MX SERIES,GENESIS MX-561,OBIS FP 647LX,STR-660-35-CW-HR-L01-1-S-XX-8,GENESIS MX 561 OEM,1275619,OBIS FP 505LX,SAPPHIRE 488 SF FP NX,OBIS CELLX 405,1286514,OBIS CORE 532LS,GENESIS MX 577 OEM,SAPPHIRE 532 LPX,OBIS660LX,1363484,1363485,GENESIS CX-514,STR-639-5-CW-FL-L01-45-S-XX-8,SAPPHIRE SF NX,1179451,SAPPHIRE FP,GENESIS MX-577,SAPPHIRE 532 LP,1323532,OBIS FP405LX,1285314,1184491,CHAMELEON DISCOVERY NX,GENESIS MX-460,1170412,1276167,SAPPHIRE 458 LP,1168337,SAPPHIRE 488 FP,OBIS LS FP,OBIS FP 532LS,SAPPHIRE 588 LP,GENESIS CX SLM,SAPPHIRE LPX NX,1313160,STR-785-90-T-FL-D01-XX-S-XX,OBIS637LX,OBIS FP413LX,GENESIS CX-532,OBIS980LX,1426529,1298365,OBIS750LX,GENESIS MX-590,OBIS LX,OBIS LS,CHAMELEON MPX,GENESIS MX 590 OEM,OBIS640LX,OBIS FP 660LX,SAPPHIRE 488 LP,OBIS CORE 561LS,OBIS FP 473LX,1228877,OBIS FP 594LS,OBIS FP 458LX,GENESIS MX-480,1343303,GENESIS MX SLM,1270002,GENESIS MX-920,SAPPHIRE 532 FP,1253606,GENESIS MX-488,1203909,GENESIS CX-4602,1098400,1398222,1321203,BIORAY FR,1258287,SAPPHIRE SF,OBIS CELLX 561,1315322,OBIS488LX,OBIS FP 633LX,1193289,1276599,1280731,SAPPHIRE FP NX,1197523,OBIS CELLX,GENESIS MX 488 OEM,1299911,SAPPHIRE 594 FP,OBIS FP 522LX,SAPPHIRE 561 FP,OBIS LG,OBIS685LX,1426532,1426531,1426530,OBIS647LX,OBIS514LX,OBIS488LS,1255565,OBIS514LS,GENESIS CX-561,1276125,STR-660-10-CW-FL-L01-10-S-XX-8,GENESIS MX 532

选型指南 - COHERENT - 2021/12/17 PDF 英文下载

Azure NX 266-1000 Next Generation High-Power CW Deep UV Laser

型号- NX 266-1000

数据手册 - COHERENT - 0618 PDF 英文下载

高意携众多新品亮相美国西部光电展，展示了在生命科学、精密制造、面板显示和传感领域广泛的产品组合和差异化解决方案

Coherent高意在2023年1月28日至2月2日期间，携众多创新产品和技术亮相美国旧金山的Photonics West与BiOS展会，展示了在生命科学、精密制造、面板显示和传感领域广泛的产品组合和差异化解决方案。

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OBIS LG Highly Compact CW UV Lasers

型号- OBIS LG 355-20,OBIS LG,OBIS LG 355-50

数据手册 - COHERENT - Rev.C - 1017 PDF 英文下载

PYTHON 提供突破性固态激光技术，助力OLED 显示制造取得坚实进步

准分子激光器一直是支持平板显示制造的一项关键技术。它们可产生高能量紫外(UV) 脉冲激光，其脉冲间能量差异非常小且具有极佳的光斑匀化度。这些独特的特性使得Coherent 高意公司能够以 VYPER 准分子激光器为基础，匹配 LineBeam 光学系统实现准分子激光退火（ELA）工艺。

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HyperRapid NXT 266 Deep UV Picosecond Laser for Industrial Micromachining with Maximum Flexibility

型号- NXT 266

数据手册 - COHERENT - 2023/1/24 PDF 英文下载

Advances in Laser Diode and OPSL Technologies Render Ion and Metal Vapor Lasers Obsolete White Paper

白皮书 - COHERENT - 2021/5/24 PDF 英文下载

Coherent Introduces 50W UV Femtosecond Monaco Laser for High-Throughput Cutting of Wafers and Stacked OLED Displays

Coherent Corp., a leader in industrial lasers for materials processing, today announced that it introduced a new Monaco industrial ultraviolet (UV) femtosecond laser with 50 W of output power that is ideal for high-speed, high-volume cutting of wafers and stacked OLED displays.

厂牌及品类发布时间 : 2023-08-09

HyperRapid NXT 355 UV Picosecond Lasers for Industrial Micromachining with Maximum Flexibility

型号- NXT 355-50,HYPERRAPID NXT 355,NXT 355,HYPERRAPID NXT 355-50,HYPERRAPID NXT 355-30,NXT 355-30,NXT 355-30 HRR,NXT,HYPERRAPID NXT 355-30 HRR,HYPERRAPID NXT 355-15,NXT 355-15

数据手册 - COHERENT - 2023/10/26 PDF 英文下载查看更多版本

Paladin Advanced 355 Quasi-CW Modelocked UV Lasers

型号- 355-16000,355,355-8000,355-24000,355-10000

数据手册 - COHERENT - Rev.C - 0720 PDF 英文下载

Coherent Introduces 150W Monaco Laser Delivering Energy Pulses of 150µJ at a Rate of 1MHz for Large OLED Display Glass Cutting

The Monaco 1035-150-150 can deliver energy pulses of 150µJ at a rate of 1MHz with a pulse width of less than 400fs. It includes all the standard functionality of the Monaco platform, including pulse on demand, variable pulse width tuning, variable repetition rate, and seeder burst mode.

新产品发布时间 : 2023-09-08