Coherent高意Monaco50W紫外飞秒激光器，助力晶圆和堆叠OLED屏的高效切割

时间： 2024-03-26 来源：Coherent高意激光

技术问答

工业级材料加工激光器的领导者COHERENT高意（NYSE: COHR）近日宣布推出新款Monaco工业级紫外(UV)飞秒激光器。新产品配置50W的输出功率，尤其适合晶圆和堆叠OLED显示屏的高速、高效、大批量切割。

面向新一代移动IT设备，晶圆开槽和堆叠显示屏精密切割等应用场景正在快速增多和发展。这加速推动了对新性能激光切割工具的需求——即可提供更高输出功率，完成材料的高精密度、高速加工。新推出的Monaco345-25-50，是首款技术参数达到50W、400fs且具备全天候工业级作业性能的UV激光器。其极易适配集成，可完美支持大批量高精密切割。

Monaco工业激光器平台是我们非常成功的一个产品系列，而Monaco345-25-50正是该系列的最新成员，它也是市场上尺寸很小的50W飞秒激光器。Monaco产品系列已在应用现场得到证明，目前已有800多个Monaco系统部署于世界各地的工厂之中，它们可全天候运行，大规模量产医疗器械和应用于尖端消费品的OLED显示屏。

Allan Ashmead

北美微电子设备和仪表事业部高级副总裁

Monaco345-25-50在紫外线波长以最高达25µJ的能量提供脉冲，其重复率最高可达2MHz，脉冲宽度小于400fs。它具备Monaco平台的所有标准功能，包括可控按需脉冲模式、可变脉冲宽度调制、可变重复率和灵活的种子光源爆发(Seeder Burst)模式。依赖自身的紧凑尺寸和真正的单盒设计，新产品能够轻松集成到各种机床之中。它进一步扩展了Coherent的Monaco红外和绿光激光器系列，是紧随Coherent 在美国西部光电展(Photonics West 2023)上推出高功率、高能Monaco1035-150-150红外激光器之后的又一力作。整个Monaco系列均可以直接烧蚀方式切割各种晶圆材料，碳化硅晶圆也不例外。

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