国基南方加速碳化硅MOSFET技术攻关，建立国内第一条6英寸碳化硅功率产品生产线

时间： 2024-03-04 来源：中电国基南方（国基南方公众号）

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超净厂房里，科研人员坐在电脑前操控，一台台精密仪器自动化运行；生产车间里，比绣花针还细的测试探针在芯片间高速移动，这是自动测试台在对一片已完工的6英寸碳化硅晶圆进行测试……走进国基南方、55所碳化硅产线，高科技含量十足的场景随处可见。

“随着新能源汽车供需量的增加，我们也正在加快推进大电流碳化硅MOSFET关键核心技术攻关和批产。”春节期间，团队提早启动，坚守岗位，聚焦新能源汽车、光伏、高压输变电、智能电网等重点领域需求，在火热的生产中迎来春天。

碳化硅MOSFET能让新能源汽车充电速度提高5-10倍，续航里程提高8%以上，能耗降低50%，优异的性能让其成为新能源汽车所需的关键元器件。截至目前，团队研制的新能源汽车用650V-1200V碳化硅MOSFET出货量突破1500万只，累计上车超200万辆，一颗颗奔腾的“中国芯”，正随车畅行在祖国大江南北。

小心翼翼用真空吸笔拾取起长宽仅有2毫米的“小物件儿”，技术人员笑着说：“别看这个碳化硅MOSFET个头小，它可是新能源汽车车载充电机的‘心脏’，电能的处理和控制，靠的就是这个。”技术专家解释，近年来，碳化硅材料凭借着耐高压、耐高温、低损耗等优越性能，用其研制的功率产品，快速走向应用舞台“C位”。“相同规格下碳化硅MOSFET的尺寸只有硅基产品的1/10，但导通电阻是后者的百分之一，总能量损耗可以降低70%。”

持续推进碳化硅MOSFET关键核心技术攻关和产业化应用，国基南方、55所碳化硅团队贯通碳化硅衬底、外延、芯片等全产业链量产平台，陆续攻破高温高能离子注入、高迁移率栅氧化等关键工艺。经过集智攻坚，团队建立国内第一条6英寸碳化硅功率产品生产线，在国内率先突破6英寸碳化硅MOSFET批产技术，形成了成套具有自主知识产权的碳化硅功率产品技术体系。

“大幅提升典型产品良率，我们将研制的碳化硅产品从实验室样品变为批量化商用产品，有力化解车企用户的缺‘芯’危机。”中国电科专家表示，最初碳化硅产品只是应用在电源等工业领域，直到这两年才逐步应用到新能源汽车等领域。“要实现快速批产应用，面临很大挑战。”为满足用户需求，团队马不停蹄与新能源汽车企业对接应用需求，快速完成产品开发和验证，迅速开发了性能更优异的碳化硅MOSFET产品。

“芯片面积减少30%，导通损耗降低15%，新一代碳化硅MOSFET产品电能转换效率显著提升，已进入新能源汽车龙头企业规模化应用。”专家表示，自产品通过用户车载项目验证以来，碳化硅MOSFET每月稳定批量交付，荣获“最具影响力汽车芯片奖”。

依托多年来积淀形成的技术优势，国基南方、55所持续加大关键核心技术攻关力度，取得了一批突破性技术成果，建立完善了具有自主知识产权的碳化硅JBS、JFET、MOS等芯片工艺，形成了650V—6500V系列产品，推动碳化硅功率产品率先在新能源汽车充电桩、高压电源、车载充电器、雷达电源等领域实现工程应用。

“目前，我们研发的首款750V碳化硅功率芯片完成样品流片，首款全国产1200V塑封2in1碳化硅功率产品完成A样件试制，将为碳化硅功率半导体设计与生产全自主化、全国产化打下坚实基础。”持续完善产品谱系、拓展产品类型，新的一年，团队成员将全力提升碳化硅芯片线产能，进一步推进新能源汽车用碳化硅MOSFET芯片关键核心技术攻关及产业化，推动碳化硅系列产品进入风光发电、储能、电网等领域规模化应用。

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tiankai001 Lv7. 资深专家 2024-10-12

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型号- IV2Q12040BD,IV1B12009HA2L,IV1D12030BD,IV2Q07014T4Z,IV1Q12050D7Z,IVST12017MA1L,IV2Q12100BD,IV1Q12017T4ZG,IV1Q12160T4Z,IVST12080DA1L,IVCR2405DR,IV2Q12040T4Z,IV1D06020BD,IVCR1412SR,IV2Q12013T6Z,IV2Q06060BD,IV1Q12080T3Z,IV2Q171R0BD,IVCO1A01DQR,IV1Q12750T3,IV2Q12030D7Z,IV1D12015BD,IV2Q07014BA,IV2Q07014BD,IV2Q12160T4Z,IV1D06006F5,IVCO1A01DR,IV1B12013HA1L,IVSM12040HA2Z,IVSM07060HA2Z,IV2Q12200T4Z,IV2Q06060L1,IV1D06010O2,IVCO1A02DWR,IV1Q12030BDG,IV1Q12080T4Z,IV1Q12750BD,IV2Q171R0T3,IVCC1102DR,IV1Q06060BDG,IV2Q12040K1Z,IV1D06020T2,IV3D12060U3,IV1Q12050T3,IV1D12020T2,IV1Q12080BD,IV1Q12050T4,IVST12050SA1L,IVCR2504DR,IV1Q12017BDG,IV1D06006BD,IV1D06004O2,IV1D12020T3,IV1Q06060D7G,IV2Q12160BD,IVCR2402DR,IV2Q12160D7Z,IV2Q06040BD,IV2Q12017BD,IV1D12040U3Z,IVCR1801ASR,IVCO1A02DWQR,IV2B12003HA2L,IV1D06020U3Z,IV1Q06040T4Z,IV2Q12017BA,IV3D12030U3,IV1Q06060T4ZG,IV2Q12013BD,IV2Q12013BA,IV1D12010O2,IVCC1102F4AR,IVCO1412DDWQR,IVST12040DA1L,IV1D06010T2,IVCR1401DR,IV1Q12080T3,IV1D12020BD,IV1D12040U3,IV1D06004P3,IV1Q12080T4,IV3D12015T2,IV2Q12080D7Z,IVCR2404MPQR,IV2Q06025BD,IVTM12080TA1Z,IV2Q06040L1,IV2Q17020T4Z,IV2Q20045BD,IV3B20023BA2,IV3D12030T2,IV2D12002BD,IVCO1A02DQR,IV1D12005BD,IVCC1104F4AR,IV2Q06025T4Z,IV2Q06040T4Z,IV2Q06060O3Z,IV1Q06060T4G,IV1D12040T2,IV2Q12100D7Z,IV2Q171R0D7Z,IV2Q06025L1,IVST12050MA1L,IVST12160DA1L,IVCR2403DR,IV1Q06040BD,IV1Q12160T3,IV1Q12160T4,IV1B12025HC1L,IV1Q12017BAG,IV2Q12200D7Z,IV2Q20045T4,IV2D12020T2,IV2Q12200BD,IV2Q06060T4Z,IV2Q12030T4Z,IV2Q12040D7Z,IV2D12020BD,IV1D12040BD,IV6212004HA2,IV1Q06060T3G,IVCR1407ASR,IV1Q12050BD,IV1Q12017T4G,IV1D12010T2,VSM12080HA2Z,IVCR1402DPQR,IV1D06004F5,IV2B12006HA1L,IVCO1411DDWQR,IV1Q06040T4,IV1Q06040T3,IV1D06010BD,IV1Q12160BD,IV1Q12750O3,IV1Q06040L1,IV1Q12160D7Z,IVCC1104DR,IV2Q12080BD,IV2Q175S0BD,IV2Q06025D7Z,IV6212004HB2,IVSM06025HA2Z,IVST12017SA1L,IV1D12030U3,IV1D20020T2,IV1D06004BD,IV1D06006O2,IV2D12020D2Z,IV2Q06040D7Z,IV2Q12017T4Z,IVCR2404DR,IV2Q06060D7Z,IVCO1A01DWR,IV1Q12030T4G,IV2Q17020BD,IV3D12020T2,IV1D12010BD,IV2D12002P2,IV2Q12030BD,IVST12120DA1L,IV2Q12080T4Z,IV1D06020U3,IVCO1A01DWQR,IV1D12030T2,IVHD122M1TA2Z,IVCO1A02DR,IV1D06006P3,IV1Q12050T4Z,IVCR2404MPR,IV1D12010P2Z,IV2Q12100T4Z,IVCR1401DPR,IV1Q06060L1G,IV2Q12080K1Z,IV1Q12080D7Z,IV2Q171S0BD,IV1D20020BD,IV1D12015T2,IV2D12002O2,IVSM12160HA2Z,IV1D12005O2,IV2Q171S0S1

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