半导体制造中混合气体需精确控制:奥松电子AS200系列气体质量流量控制器,重复精度达±0.2%F.S.
在半导体制造中,进行气体定量混合配气使用是一个关键的步骤,将不同气体按一定的比例混合到一起,配出不同浓度、多种组分的工艺气体后才能更好的满足工艺性能的要求,以确保半导体器件的制造过程得以控制和优化。以下是半导体制造中气体混合的一些常见用途和相关操作。
1、清洗:气体混合用于制备清洗气体,例如氢气和氮气的混合物,以去除制造设备和器件上的杂质和残留物,确保器件的纯度。
2、退火:气体混合物,通常是氢气和氮气的混合物,用于高温氢退火,以去除晶格缺陷并提高晶片的质量。
3、制备气氛:某些半导体制造步骤需要特定的气氛,以防止氧化或其他不良反应。气体混合物可用于创建这些特殊气氛,例如氢气和氮气的混合物。
4、化学气相沉积(CVD):CVD是一种半导体薄膜制备工艺,气体混合物用于在晶片表面沉积薄膜。混合气体的组成和流量必须精确控制,以实现所需的薄膜性质。
5、刻蚀:在半导体刻蚀过程中,混合气体通常用于去除薄膜或材料的特定部分。例如,氟化氢和氮气的混合物可用于硅氮化刻蚀。
6、气相掺杂:半导体器件中的掺杂步骤可能需要混合气体,以引入掺杂物质,如硼、磷或砷。
7、高温工艺:高温工艺,如退火和热处理,通常需要混合气体来实现所需的气氛和温度控制。
在半导体制造中,气体混合的关键是确保混合气体的成分、流量和稳定性能够满足工艺的要求,这通常需要精确的气体混合系统,包括流量控制器、混合室和监测装置,以确保工艺参数的精确控制。在半导体制造中,需要精确控制气体混合物的成分和比例。确保气体供应系统具备精确的流量控制和混合控制能力,以满足特定工艺的要求。 对于混合气体,如果知道具体的组分比例,则可以选择热式或差压式;因为热式和差压式原理虽然是与气体的质量流量相关,但是也会与气体自身的其它特性相关,所以需要知道具体是什么气体或者混合气体中每种气体的大概比例,这样测量出的流量值才会相对准确。
奥松电子研发的AS200系列气体质量流量控制器,适用于多种常规气体,提高了气体质量流量控制测量结果的准确度及可靠性。重复精度高达±0.2%F.S.;1×10-10 Pa·m3/sec He的低泄露率,气密性好,保障生产安全;可支持多种信号输出,包括数字信号、1~5V模拟信号以及4~20mA模拟信号,可以使用单电源(+15~+24 VDC),适用于不同的工作场景;标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利;同时,产品还提供功能强大的免费客户端上位机软件,方便用户调试操作。
AS200系列产品是奥松电子采用先进的MEMS技术研发,在传感器的驱动,零点漂移的控制和阀控等诸多方面都采用了独特的技术,保证了产品的高性能、高品质和高可靠性,是一款稳定性好、精度高、泄漏率低、耐压高的优质仪器。其典型的应用场景包括:集成电路工艺设备,如外延、扩散、等离子刻蚀、溅射、离子注入和各种CVD等设备;其他行业设备,如光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器等。
- |
- +1 赞 0
- 收藏
- 评论 0
本文由玉鹤甘茗转载自奥松电子(奥松传感微博),原文标题为:半导体制造中混合气体需精确控制,本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的,且明确注明来源,不希望被转载的媒体或个人可与我们联系,我们将立即进行删除处理。
相关推荐
在氩弧焊工艺中,气体流量控制器对氩气流量控制的应用方案
AFM07系列数显气体质量流量计是基于热式测量原理,结合奥松自主研发的MEMS质量流量芯片,打造的一款性能出色、稳定可靠的气体质量流量计。该产品通过测量电阻变化,计算被测量气体的质量流量,具有直观、精准、稳定、耐高低温、线性好、响应时间快、整机集成度高等优点。
应用方案 发布时间 : 2023-10-25
质量流量控制器AS200系列用于水厂氯气质量流量控制,无需温压补偿,精度高达±1.0% S.P.
为了实现了在复合环路控制模式下,水厂加氯机随水量、水质余氯变化时的自动投加,减少人工劳动强度,保障供水安全。因此在加氯机上安装氯气质量流量控制器十分重要。奥松电子研发制造的AS200系列质量流量控制器,无需温压补偿,不但具有质量流量计的功能,还能自动控制气体流量。用户根据生产需要进行流量设定后,AS200自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。
应用方案 发布时间 : 2023-12-07
奥松电子冷媒传感器系列,采用先进的MEMS工艺精确校准,有效监测制冷剂泄漏
奥松电子AGS0510/AGS0511/AGS0512/AGS0513冷媒传感器采用先进的MEMS工艺精确校准,分别对制冷剂R410A/R32/R290/R454B气体具有极高的灵敏度,可实时在线监测泄漏情况。传感器采用标准I2C通信协议,适应多种设备,可广泛应用于家用及商用空调、中央空调、制冷机组等制冷剂泄露检测。
应用方案 发布时间 : 2024-05-17
工业领域常用的八大传感器有哪些?
传感器在工业生产中起着至关重要的作用。它们能够监测和测量各种参数,如温度、压力、流量、湿度、位移、速度等,并将这些参数转化为可处理的电信号,实现对机械制造过程的自动化控制。本文介绍比较常用的几种传感器。
设计经验 发布时间 : 2024-07-11
奥松电子AS200系列气体质量流量控制器广泛用于半导体行业,重复精度高达±0.2%F.S.
奥松电子的气体质量流量控制器MFC已经逐步参与到扩散/退火、离子注入、刻蚀、气相沉积等大部分半导体行业工艺中。其中AS200系列气体质量流量控制器深受好评,重复精度高达±0.2%F.S.;1×10 -10 Pa·m3/sec He的低泄露率,气密性好,保障生产安全;可支持多种信号输出,包括数字信号、1~5V模拟信号以及4~20mA模拟信号。
器件选型 发布时间 : 2024-05-25
解析气体流量控制器:精准管理,实现节气目标
在现代工业生产和流程管理中,精确控制气体流量不仅是确保产品质量和生产效率的关键,也是实现节能减排、降低成本的重要途径。气体流量控制器作为一种高效、精确的气体流量管理工具,正在越来越多的领域发挥其不可替代的作用。本文奥松电子来给大家解析气体流量控制器。
技术探讨 发布时间 : 2024-11-14
电力行业常用的传感器有哪些?
电力行业依赖传感器实现设备监测与保护,确保电能稳定。本文简述了温湿度、压力、流量、液位及测力五大类传感器,它们分别监测环境、压力、流速、液位及受力情况,预防故障,优化运行。结合光电、霍尔、光纤等传感器,构建全面监测网络,保障电力系统安全高效。未来,随着科技发展,更多新型传感器将涌现,为电力行业注入新动力,推动其持续发展。
技术探讨 发布时间 : 2024-08-07
奥松携多款液体流量计、气体质量流量控制器、真空计、压力传感器等一系列高品质产品亮相SNEC2024
日前,备受瞩目的第十七届(2024)国际太阳能光伏与智慧能源(上海)大会暨展览会在上海国家会展中心盛大开幕。作为MEMS智能传感器领域的佼佼者,奥松电子携精心研发的多款液体流量计、气体质量流量控制器、真空计、压力传感器、压阻真空规、蝶形控制阀、温湿度传感器等一系列高品质产品亮相展会。
原厂动态 发布时间 : 2024-06-25
气体质量流量计/控制器在工业领域中发挥的重要作用
气体质量流量计/控制器作为现代工业自动化控制中的关键设备,能够精确测量并控制气体的质量流量,其应用范围极为广泛,尤其在工业领域中发挥着重要作用。
技术探讨 发布时间 : 2024-10-31
详解电力行业常用的传感器类型及其重要作用
在电力行业,传感器作为监测、控制和保护电力设备的核心元件,发挥着不可或缺的作用。它们如同电力系统的“眼睛”和“耳朵”,时刻关注着设备的运行状态,确保电能的稳定传输和分配。本文奥松电子将带您走进电力行业的传感器世界,了解那些常用的传感器类型及其重要作用。
原厂动态 发布时间 : 2024-08-22
气体质量流量控制器在半导体行业中的应用优势
AS200系列产品是奥松电子采用先进的MEMS技术研发,在传感器的驱动,零点漂移的控制和阀控等诸多方面都采用了独特的技术,保证了产品的高性能、高品质和高可靠性,是目前市场上一款稳定性好、精度高、泄漏率低、耐压高的优质仪器。
技术探讨 发布时间 : 2023-10-18
一文解析真空镀膜以及MFC对真空镀膜的重要性
真空镀膜法是在真空的条件下,将金属和非金属材料加热,当温度超过其沸点时,被加热物以气态急剧蒸发,以直线向四周喷射;当遇到障碍物时即附着积淀于物体表面,形成一层薄膜,从而改善材料的性能和外观。本文中奥松电子来为大家介绍真空镀膜以及MFC对真空镀膜的重要性,希望对各位工程师朋友有所帮助。
技术探讨 发布时间 : 2024-10-30
智慧工业传感器解决方案
通过部署传感器,实现设备智能化协作和全过程智能化管控。奥松电子的IO-LINK传感器在铸造厂冷却水监测、压缩空气流量记录、真空度检测等场景中减少设备成本和提高生产效率。太阳能光伏全自动智能装备解决方案通过自动化控制提升生产效率。此外,工业气体检测仪表、危险化学品泄漏监测、X射线探测仪、楼宇消防以及智能安防摄像头等创新应用均展示了传感器技术在增强生产安全、提升效率和降低成本方面的重要作用。
器件选型 发布时间 : 2024-07-11
IO-LINK传感器在工业物联网中的解决方案
奥松电子的IO-Link传感器提供强大的数据处理能力、远程诊断与配置功能,适配工业4.0需求。其核心优势包括标准化的通信协议、简化的布线、高效的数据处理及双向通信。对用户而言,IO-Link简化了电路连接、便于传感器更换、确保测量精确,并与现有系统兼容。它还是实现工业互联网中数据实时交换和管理的关键,由主站、设备和线缆组成,为自动化提供灵活、可靠的解决方案。
器件选型 发布时间 : 2024-07-10
共赴SENSOR CHINA 2024盛会,奥松电子展现国产传感器实力
在SENSOR CHINA 2024上,奥松电子不仅带来了包括流量传感器、气体传感器、压力传感器、温湿度传感器等在内的多系列明星产品和特色晶圆,还全面展示了公司在工业智能、智能家居、生物医疗、新能源汽车等领域的创新解决方案。不仅彰显了奥松电子在传感器领域的深厚技术积累和创新能力,更为广大客户提供了更加全面、高效、智能的传感应用体验。
原厂动态 发布时间 : 2024-10-21
电子商城
服务
可定制板装式压力传感器支持产品量程从5inch水柱到100 psi气压;数字输出压力传感器压力范围0.5~60inH2O,温度补偿范围-20~85ºС;模拟和数字低压传感器可以直接与微控制器通信,具备多种小型SIP和DIP封装可选择。
提交需求>
定制水冷板尺寸30*30mm~1000*1000 mm,厚度1mm~50mm,散热能力最高50KW,承压可达3MPA;液冷机箱散热能力达500W~100KW。项目单次采购额需满足1万元以上,或年需求5万元以上。
提交需求>
登录 | 立即注册
提交评论