尼得科SR8241系列超洁净机械臂突破性三连杆设计，提升半导体洁净室机械臂性能

时间： 2024-04-24 来源：NIDEC（尼得科）微信公众号

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从智能手机、个人电脑和汽车等熟悉的设备到通信网络等社会基础设施，毫不夸张地说，半导体是支撑工业的基础。其制造工序多，对洁净度要求极高。尼得科集团生产用于半导体制造现场搬运基板（晶圆）的机械臂。

机械臂将在预处理工序中接收到的晶圆搬运至下一道工序。近年来，为了保证洁净空间尽可能狭小并在有限的空间内安装更多的半导体制造设备，对紧凑型设备的需求不断增加。

尼得科集团研发的“SR8241”系列超洁净机械臂用于搬运半导体晶圆，它通过自主研发的三连杆结构实现了三连杆机械臂。其他公司使用的是双连杆机械臂，而三连杆机械臂可以缩短每个臂的长度，因此NIDEC（尼得科）成功地将移动范围缩小了72mm。半导体制造设备领域中对紧凑性的要求通常是以10mm为单位的，三连杆机械臂对该领域影响深远。

用于搬运的机械臂在前后摆放着的四个晶圆盒之间来回移动，但通过缩小移动范围，则可以保持半导体制造设备本身的尺寸紧凑。此外还有一项优点是机械臂的总长变长了，因此今后即使增加晶圆盒数量，只要是三连杆机械臂，即可轻松应对。

可动连杆部分由电机控制。虽然“SR8241”增加了要控制的连杆数量，但使用的电机数量与双连杆机械臂相比并未增多。因此，最大限度地控制了成本的增加。

在半导体制造现场，小至0.1μm的细微粒子都是不允许的。因此，虽然是在洁净室中制造，但制造设备本身也是发尘源。尤其是具有金属和橡胶相互摩擦的轴承和油封的机器人或机械臂的可动结构是主要源头。

之所以能够在粒子的源头——机械臂增加连杆，是得益于NIDEC（尼得科）拥有避免粒子释放在洁净的空气中的技术。NIDEC（尼得科）在关节处采用了独特的密封结构，防止粒子溢出。

机械臂底部装有排气扇。其内部产生下沉气流，粒子被排放至地板下方的排气孔中。此外，晶圆导轨的移动结构也会产生粒子，但机械臂内部会产生真空，因此采用的是吸入结构，以保持空间洁净。凭借这些技术，“SR8241”获得了ISO标准洁净室分类中最高级别的一级洁净度。

通过使用这种洁净技术，NIDEC（尼得科）实现了移动结构中不释放粒子的结构，因此NIDEC（尼得科）成功采用了可以增加移动结构的三连杆结构。

虽然连杆数量增加到了三个，但可以简化机械臂的动作，因此每个连杆的移动量得到了控制。由此，可以减轻可动结构的的负荷，以确保其高耐用性。NIDEC（尼得科）建议每5年对机械臂进行一次检修，但“SR8241”已通过表示设备可靠性的“平均故障间隔时间”证明其耐用时间不止5年。

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NIDEC（尼得科）S-FLAG II系列AC伺服电机/驱动器选型指南（中文）

目录- S-FLAG II伺服电机产品系列介绍伺服电机编码器伺服驱动器伺服电机/驱动器配线 I/O连接示例安全注意事项

型号- MY500A2K,MJ851P2 □ □ ＊＊,M□□□□N2□A＊＊,MY500A2L,MM152A2 □ □ ＊＊,172159-1,DB6Z111,MY500A2S,MM202N2 □ □ ＊＊,MY500A2T,MX102,MZ401,MY500N2□ □ ＊＊,MY500P2□ □ ＊＊,MX152A2 □ □ ＊＊,MH152A2 □ □ ＊＊,JL04V-6A18-10SE-EB-R,NA20276RRSB-C,MY500B2□ □ ＊＊,M□□□□A2□A＊＊,MZ751,MX951A,MJ132N2 □ □ ＊＊,MH102,MG500B2□ □ ＊＊,MX951N2 □ □ ＊＊,MZ401P2 □ □ ＊＊,MM系列,MX951B,MZ751P2 □ □ ＊＊,MM102,MX751P2 □ □ ＊＊,M□851,MH102P2 □ □ ＊＊,MG101A2 □ □ ＊＊,DB64A11,DB6YZ41,MY500B2L,M□152,MY500B2K,MG500P2□ □ ＊＊,MX201A2SA**,MG101,MJ851,MY500B2T,MY500B2S,MX202,MX201,MX102N2 □ □ ＊＊,M□ 751,MJ132A2 □ □ ＊＊,MZ201N,MZ201P,MZ751B2 □ □ ＊＊,MX202N2 □ □ ＊＊,MH152N2 □ □ ＊＊,MX751B2 □ □ ＊＊,DB63811,MZ201A,MZ201B,MG500P2L,MG500P2K,M□□□□P2□A＊＊,DB6241,MM202,MG500P2T,MG500P2S,MY101A2 □ □ ＊＊,MM152N2 □ □ ＊＊,NAUL1007-24-BK,M□ 500,MZ201,MY101B2T,MG101N2 □ □ ＊＊,MJ132B,MY101B2S,MJ851N,MY101B2L,MY101B2K,MJ851P,MX201A2 □ □ ＊＊,MX102A,MM152,MX102B,MX951P2 □ □ ＊＊,MJ132P,MZ201A2 □ □ ＊＊,DB6YZ11,MZ401N,MJ851A,MZ401P,MJ851B,MM152N,M□401,MM152P,DB68C41,EW32AAG-3P020B,MG500A2K,MY101,MG500A2L,CAN750S,216-106,MY100,MZ401N2 □ □ ＊＊,MG401P2□ □ ＊＊,MJ132P2 □ □ ＊＊,MG500A2S,MG500A2T,MZ401A,MM152A,MZ401B,170365-1,MM152B,MH102N2 □ □ ＊＊,MG201A2 □ □ ＊＊,MM202A2 □ □ ＊＊,MX102N,EW32AAG-2P020B,MZ751P,M □ 102 □ 2 □□ ＊＊,E04SR401938,MX401N2 □ □ ＊＊,MZ751N,MX102P,MY101A2S,MX401B2□ □ ＊＊,MY101A2T,MG401B2□ □ ＊＊,M□751,MZ751A,MY101A2K,MY101A2L,NA3CT-18-4,DF3-2EP-2C,MM102P2 □ □ ＊＊,MZ751B,MX951P,JL04V-18CK13-CR-R,MX951N,MG500A2 □ □ ＊＊,NA3CTR-18-4,M□500,216-143,MZ系列,CAN400S,MG500B2K,MX102A2 □ □ ＊＊,MG500B2L,MG101N2K,S-FLAG II系列,MG500B2S,NAUL1007-24-R,MX202P2 □ □ ＊＊,MG500B2T,MH152N,MJ系列,MY101B2□ □ ＊＊,MG201B,MY101N2 □ □ ＊＊,MG201A,170366-1,MY10,MH152P,MM152P2 □ □ ＊＊,MG201N,MM102B2 □ □ ＊＊,MG201P,MJ851A2 □ □ ＊＊,MG101N2T,MG101N2S,MH152A,MH152B,MG101N2L,CM10-SP2S-M-D,DB61241,MG201B2□ □ ＊＊,MM202N,M□□□□B2□A＊＊,MG401,MM202P,MX152P2 □ □ ＊＊,MG101P2□ □ ＊＊,MAST-UL2517-19-2,MG401A2 □ □ ＊＊,MX202N,MY500A2□ □ ＊＊,MX202P,MM202A,MJ132B2 □ □ ＊＊,MX201N2 □ □ ＊＊,MX201A2SN**,MM202B,M□202,MZ201N2 □ □ ＊＊,MY系列,DB66B41,MG401A,MZ201B2□ □ ＊＊,MG401B,MZ751A2 □ □ ＊＊,M□101,M□102,M□ 201,MY101P2T,MX401A2 □ □ ＊＊,MZ401A2 □ □ ＊＊,MG401P,DF3-EP2428PCFA,MY101P2S,MG401N,MY500N2T,MY500N2S,DB68C11,MY101P2L,DB67C41,MY101P2K,MX202B2 □ □ ＊＊,MM152B2 □ □ ＊＊,MH102A2 □ □ ＊＊,MX951B2 □ □ ＊＊,MZ201P2□ □ ＊＊,MG500,MX751N2 □ □ ＊＊,MY101P2□ □ ＊＊,MZ751N2 □ □ ＊＊,LV275DI-U4,MH152,MX201A,M□□□□N2□N＊＊,3E206-0100KV,MX201B,MY500N2L,MY500N2K,MX201B2SA**,MX系列,DB67C11,MG500N2 □ □ ＊＊,MX401P2□ □ ＊＊,CM10-SP10S-M,MH系列,NA20276TSB-C,MX152,M□201,MX152B2 □ □ ＊＊,MX202A,MX202B,MX951,M□□□□A2□N＊＊,DB62441,M□ 101,M□ 102,MX201N,MG101P2T,SK06G-E10,MG101P2S,MG101P2L,MX201P,MJ851N2 □ □ ＊＊,MG101P2K,MX152N2 □ □ ＊＊,MX401A,MX951A2 □ □ ＊＊,DB62411,M□132,NA6CTR-14-4,172157-1,MG201,MX201B2□ □ ＊＊,MG401N2 □ □ ＊＊,MX401B,MH102B2 □ □ ＊＊,MM202P2 □ □ ＊＊,3E306-3200-008,MX751N,DB64A41,MX751P,MG101A2S,MH102N,MG系列,MG101A2T,DB6Z141,MX201P2□ □ ＊＊,MH102P,172161-1,MX102B2 □ □ ＊＊,MG101A2K,MG101A2L,DB61211,MY500,MY500P2L,MY500P2K,MX401N,MX401P,MY101N2T,MY101N2S,MY500P2T,MH102B,MY500P2S,MM102N2 □ □ ＊＊,MH102A,DB65B41,MY101N2L,CAN100S,MJ851B2 □ □ ＊＊,MM102A2 □ □ ＊＊,DB66B11,MY101N2K,M□ 401,170639-1,DB63841,S-FLAG II,LV275DI-Q4,MH152B2 □ □ ＊＊,MX152A,NA6CT-14-4,MX152B,MJ132,MX401,MX951 □ 2 □□ ＊＊,MG201N2 □ □ ＊＊,MX751A2 □ □ ＊＊,DB65B11,MM202B2 □ □ ＊＊,R2-4,MG101B2T,MM102N,MM102P,MG101B2S,MH152P2 □ □ ＊＊,MG101B2□ □ ＊＊,MG101B2L,MG500N2L,MX751,MG101B2K,MX751B,MG500N2K,172160-1,MX751A,MG201P2□ □ ＊＊,NA3UCR-18-2,MX202A2 □ □ ＊＊,MG500N2T,MG500N2S,MM102B,MM102A,MX152P,MX102P2 □ □ ＊＊,MZ401B2 □ □ ＊＊,3SUPF-BE □□ -ER-6- □,MX152N

2019. 11 - NIDEC - 选型指南 - NOV. 2019 代理服务技术支持批量订货

NIDEC VRG ABLE同心轴减速机选型咨询

NIDEC ABLE VRG系列同心轴减速机选型咨询, 高刚性、高精度，精密齿隙系列 0.05°(3 arc-min) 或以下，易于安装到任何伺服电机。

服务提供商 - NIDEC 进入

【经验】Nidec CT变频器显示故障代码解析大全

尼得科CT变频器显示故障代码解析大全，列举常见的故障码及测试方法。

2022-08-01 - 设计经验代理服务技术支持批量订货

Nidec散热风扇选型表

尼得科（日本电产）DC散热风扇，高风量，高静压，高效率，低噪音，低振动。尺寸从17mm*17mm*05mm到172mm*172mm*51mm，标品可选型，性能参数可定制，可通过定制服务联系我们。

产品型号	品类	厚度(mm)	电压（V）	转速（rpm）	风量（CFM）	风压	噪音(dB)	尺寸（mm）
W38S12BS1B5-57	散热风扇	28mm	12V	25000rpm	18CFM	895Pa	59.5dB	30mm

选型表 - NIDEC 立即选型

NIDEC（尼得科）无刷电机产品及应用介绍

描述- NIDEC全定制无刷电机，大功率，小声音

NIDEC - 商品及供应商介绍代理服务技术支持批量订货

Nidec提供散热风扇、散热片、液冷模块等部件或模组，解决CPU散热问题

人们每时每刻都离不开数据，5G时代，全世界数据量爆炸增长。为了处理大量的数据，CPU高速进化的同时带来散热问题。为了解决这些课题,日本电产（Nidec）在散热解决方案中，竭尽全力。

2021-09-16 - 原厂动态代理服务技术支持批量订货

China No.1-- FY24 Nidec Drives总裁沟通会

Nidec Drives（CT）亚太区人力资源总监Cloris He女士介绍了公司高层，包括全球总裁Miles Ackerman先生等。Ackerman先生强调了对中国市场的重视和未来投资计划，期望到2030财年中国销售额达2亿美元。中国区总经理朱建闽讲述了尼得科驱动的业务发展和战略调整，以及面对经济形势的策略和企业文化。他提到，过去五年中国业务增速平均18%，新财年增长19%。

2024-10-13 - 原厂动态代理服务技术支持批量订货

Nidec集团简介

型号- LM700,DP100,GATS SERIES,E1540H,KV42,STAR REC SERIES,FY8S25-D3,E0515H,RWI SERIES,D1350X,LSR-3230,G1238C,NRTES SERIES,RSH,G1238B,AE SERIES,LE SERIES,LM SERIES,DMN37HB,CNDC,DMN37H,NVM-6060GCP,FED6P20S-D3,KH86,PG-100N,GQ938,KF42,FY6S6-D3,LA14G-487VA,E0720L,LA12GE-344SF,E0720H,AM SERIES,LPD6G,AQ SERIES,DEWE3-A4,PM SERIES,D1751,NRFEIS,PE62,TF029B,FP8S25U,PM101,D1238,PM100,PE SERIES,PUDC,MM SERIES,R-580,FHD6P20S-D3,E1232L,G1438,E0525H/K,E1027H,KLDC,FY8S15-D3,D0925,KT42,KH42 B900,RSH SERIES,RVL,KH56 B900,PM90 SERIES,PS97-103P-MG2-J,REC-71,LE105,FH6S40H-D3,FHD6P40S-D3,NE SERIES,KH60 B900,FP8S15U,FH6S20H-D3,RVL SERIES,D0938,KT35,STAR REC,PE70,E1331K,MM300,FP7S10U,WM100,AE46,D1225,KT60,GQ625,E1033H,DMN29BB,DMN29BA,RWI,G0838,E2271Z,E1033L,AQ56,NRTES,DMN37KB,NE86,KV28,LAV10C-001,AM51,AM52,AM50,FED6P10S-D3,AE56,AE52,FP10S40U,FY9S40-D3,R-7XX,TUDC,DMN37SA,DMN37SB,KH39 800,TF037C,TF037E,TF037F,DMN37KA,NRFEIS SERIES,DMN37JB,PM90,REC-92FT,G1751,DMN37BA,GATS,DMN37BB,R-5920,GQ638

July 2021 - NIDEC - 商品及供应商介绍代理服务技术支持批量订货

Nidec 3M粉末涂层更换

描述- 3M公司通知NIDEC，其用于定子涂层的“SCOTCHCAST #266+”粉末涂料将停产，建议更换为SOMAR的“F-219Z1”作为替代品。资料中详细比较了两种涂料的物理和电气性能，包括粒径、凝胶时间、机械冲击强度、剪切强度等，并进行了电气强度测试、化学耐受性测试和环境测试，结果表明替代品满足要求。更换计划预计从2024年1月开始逐步进行，希望在2023年12月底前获得批准。

型号- 48F704S750,42F704SE90,48F704T730,42F704SA80,17S220H270,48F704SA60,48F704T320

2023/9/27 - NIDEC - 产品变更通知及停产信息代理服务技术支持批量订货

Nidec Copal无铁芯电机演示

描述- 该资料介绍了Nidec Copal的无刷电机产品系列，包括不同型号的电机的性能参数和外观尺寸。涵盖了多个系列的电机，如LS8-001、LS12-003、LS12-004、LS12-005和LS16系列，每个系列都有详细的电气特性和机械特性数据，例如额定电压、无负载电流、转速、启动电流、扭矩、电阻、惯量和重量等。此外，还提供了电机的物理尺寸图。

型号- LS12-005,LS12-003 SERIES,LS12-004 SERIES,LS12-005 SERIES,LS16,LS16 SERIES,LS8-001A,LS12-003B,LS8-001,LS12-004A,LS12-005B,LS12-003A,LS8-001SERIES,LS16-001,LS12-004,LS12-003

2017/7/19 - NIDEC - 选型指南代理服务技术支持批量订货