莱尔德热系统热电制冷技术为半导体制造工艺中的精准温度控制保驾护航

时间： 2024-04-08 来源：Laird Thermal Systems（莱尔德热系统公众号）

技术问答

半导体制造依赖于精确测量（量测工艺）和自动光学检查（AOI）进行质量控制。高端的半导体生产制造中，高标准的检测和测量工艺更是不可或缺。AOI系统需要高度可靠的热管理系统，该系统不仅需要连续不间断地运行，而且还必须满足精确的温度控制。

与基于压缩机的传统制冷系统相比，热电循环制冷机的可靠性更高，运行成本更低，因此在半导体制造工艺中越来越受欢迎。

莱尔德热系统的热电制冷器，具有高可靠性，能够为半导体制造的自动光学检测系统提供精确控温。热电制冷不仅提升性能，同时可减少设备的维护，降低总运营拥有成本。

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全部评论（1）

zwjiang Lv9. 科学家 2024-04-27

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