奥松电子液体流量计AFD4系列在单晶炉设备中的应用方案分享:重复性<2%且流量精度<±3%F.S
近年世界光伏市场增长非常迅速,光伏产业也随之迅速扩张。单晶炉是半导体和太阳能行业重要的生产设备,其冷却水系统较为复杂,对安全性的要求较高。
在高炉消费过程中,由于炉内产生大量的热量,任何炉衬材料都难以承受这样的高温作用,必须对其炉体进行合理的冷却,同时对冷却介质进行有效的控制,以便到达有效的冷却,使之既不危及耐火材料的寿命,又不会因为冷却元件的泄露而影响高炉的操作。因此对高炉冷却介质进行必要的监测和控制尤为重要。
生产单晶硅的单晶炉设备,它的内部结构复杂,而单晶硅的生产对环境要求极为苛刻,比如炉体温度;如果冷却水供应不及时,就可能导致炉体变形,造成硅晶体产品的不合格以及设备的损失,所以需要在冷却水的主管路和支管路上对水进行流量的实时监测。
奥松电子研发的涡街水流量计可以对单晶炉、切片机、扩散炉等设备的冷却系统中的冷却水流量进行精准监测,以达到冷却降温的需求,保障产品合格,设备正常运行。水流量计通过传感器芯片感应漩涡大小,可测量2~16L/min、5~40L/min、10~100L/min等流经管道内的多个量程范围的液体流量,传感器具有<2%的出色重复性,流量精度小于±3%F.S,可在-10℃至65℃的环境温度下保持性能稳定,表现出色,性价比高。内部无运动部件,具有长使用寿命、耐污染、高精度、无漂移等特点。
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