适用于医疗设备的表压型MEMS压力传感器AGR10，量程5~350kPa，长期稳定性达0.2%FS/Y

时间： 2024-05-01 来源：奥松电子（奥松传感微博）

技术问答

MEMS压力传感器是传感器行业中市场规模最大的细分市场之一，具有体积小、功耗低、价格便宜等优点。随着时代的发展及人们对健康的重视度提高，电子血压计、呼吸机、制氧机、雾化器、监护仪等开始走进用户家庭，并在健康保健方面发挥着重要的作用。其中的核心器件——MEMS压力传感器，其市场应用规模极大。

在医疗器械领域，压力传感器在检测和响应身体内压力变化方面起着至关重，但在MEMS压力传感器实际设计及制造过程中，能够同时满足最优状态的设计结构和工艺较难达到。

针对MEMS压力传感器灵敏度及线性度较难兼顾的问题，奥松电子设计了一种可应用于医疗设备、量程从5~350kPa的AGR10 表压型MEMS压力传感器，该传感器的长期稳定性达到0.2%FS/Y，量程≤10kPa的非线性度达到-1~0.1%FS；量程≥40kPa的非线性度达到-0.3~0.3%FS。

AGR10表压型压力传感器采用标准的SOP6形式封装，方便用户采用表面贴装式进行安装，尺寸小巧，适合在狭小的空间内实现高效检测功能，响应速度快，信号输出稳定。

应用领域广泛

AGR10表压型系列压力传感器除可应用医疗设备外，还可用于以下场景：

•工业应用：负压测量、压力仪表等;

•家电：洗衣机、啤酒机、咖啡机、吸尘器、净水机、热水器等;

•真空负压：真空包装机、真空搅拌机、真空破壁机、真空保鲜盒、真空泵等。

MEMS压力传感器因其高技术壁垒和工艺要求，长期以来国内市场主要由海外企业主导。外资企业几乎垄断了全球MEMS压力传感器市场，高筑的技术壁垒下本土玩家屈指可数，国产化率不足5%，且国内企业主要以组装为主，核心芯片依赖进口。奥松电子攻克技术难题，利用成熟的MEMS技术研发制造压阻式压力敏感芯片，使产品具有良好的线性、重复性、高灵敏度和优异的稳定性等优势，为低成本、大批量的商业应用和工业应用树立了新的性价比典范。

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