什么是真空计？常见的真空计类型有哪些？

时间： 2024-06-29 来源：奥松电子微博

技术问答

什么是真空计?

真空计，也称为真空表计和真空规管，是通过测量真空下气体的压力来判断真空度的高低，广泛用于科研和工业生产。

根据真空计测量原理所采用的不同物理机制，真空计主要可分为三类：利用力学性能(如波尔登真空计和薄膜电容规)、利用气体动力学效应(如皮拉尼电阻规和热电偶规)和利用带电粒子效应(热阴极电离规和冷阴极电离规)。

工业上按照真空度的大小划分为以下几个等级：

低真空 10^5~10^2pa
中真空 10^2~10^-1pa
高真空 10^-1~10^-5pa
超高真空 <10^-5pa

对于每一个等级内的真空度，最佳的测量仪器是不一样的，具体来说，若处于中低真空的范围，通常选用皮拉尼规真空计、电容式薄膜真空规和压阻式真空规进行测量。

皮拉尼复合真空计

基于热导式原理，在玻璃管壳中安装一根金属丝，给金属丝通热发电，使其温度高于周围气体和管壳的温度，于是在热丝和管壳之间产生热传导。当达到热平衡时，热丝的温度决定于气体热对流。在一定的压力范围内，气体压力越高，传导的热量就越多，热平衡后金属丝温度就越低。即电阻丝的温度与气体压力存在负相关的关系，通过金属丝的温度可以计算气体压力。

AGP3000集成了先进的气压传感器模块和MEMS皮拉尼真空传感器芯片，配备了彩色液晶显示屏(TFT-LCD)和直观的按键控制，支持Pa、Torr、mbar三个常用单位的切换，提供模拟电压输出和RS485通信协议，配备了标准的KF16压力接口，方便用户与各种设备和系统进行连接和数据交换。

电容薄膜真空规

膜片因压力变化而发生弹性偏移，偏移量的变化引起电容量的变化，最后由数字电路测量并转换成输出信号。AGP21系列电容薄膜真空规使用了Inconel材料，可耐受腐蚀性工艺介质。

压阻式真空规

压阻式真空规的工作原理基于半导体材料的压阻效应。当外部压力作用在真空规内部的金属膜片上时，金属膜片会发生微小的形变，导致内部电路中的电阻值发生变化。这种电阻值的变化可以精确地测量出来，并转换成相应的压力或真空度值。

AGP10系列属于绝对压力真空规，可以测量非常小的压力和真空度，不受气体和种类的影响，精度达到±0.5%FS，提供模拟电压输出，具有精度高、稳定性高、抗腐蚀性强等优点。

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