【经验】如何实现全数字MEMS压力传感器的自动调零？

时间： 2019-09-03 来源：世强作者：一棵松

技术问答

【摘要】智能型压力传感器如何定期进行自动校准？SMI 压力传感器 SM3041通过算法可以解决这个问题。SM3041是一款全数字MEMS压力传感器，可以通过I2C与MCU进行通信，彻底解决零点漂移问题，具有优于1%的初始精度和生命周期内小于1%的精度偏移量。本文详细表述了其自动调零所需的条件及具体的操作步骤。

工业自动化、仪表产品更新换代对产品的可靠性、耐久性提出了更准确的技术标准。在新的测量传感器和仪表产品中必须进行在线校准和调零已经成为市场新的需求。以往技术只是在出厂时做一次调零校准，而压力传感器在使用过程中会因为环境等因素导致偏差，所以智能型压力传感器均需要自动调零技术，也就是说定期进行自动校准。世强代理的SMI压力传感器SM3041通过算法可以解决这个问题。

SM3041是一款全数字MEMS压力传感器，采用先进的硅片技术和CMOS混合信号处理技术。其可以通过I2C与MCU进行通信，彻底解决零点漂移问题。由于优于1%的初始精度和生命周期内小于1%的精度偏移量，使其赢得了工程师们的青睐。

图1：SM3041压力传感器

SM3041自动调零所需条件：

1）本操作适合气体温度变化范围为5℃-10℃，气体压力已经进入压力传感器中，并且和SM3041的硬件电路是在相同条件下进行标定的，可参考图2框图。

2）在0pa时，读取SM3041的读数值V01、温度值T1。

3）让标准气压计加压到P，读取此时SM3041的读数值Vp1，并且减去V01，获得Vp值。根据初始标定的灵敏度可以计算出压力值。

图2：SM3041的调零电路框图

SM3041的自动调零步骤：

步骤1：在压力为0psi，温度为T1环境下，读取SM3041的测量压力值为P01，储存新的零点补偿数值。

步骤2：在压力为Apsi，温度为T1环境下，读取SM3041的测量压力值为PA1，计算新的压力值PA= PA1- P01。

步骤3：在压力为Bpsi，温度为T1环境下，读取SM3041的测量压力值为PB1，计算新的压力值PB=PB1-P01。

步骤4：当出现下面情况时候，请重复步骤1的实验过程。

1）当温度值T1变化(增加或者减少)超过5℃。

2）当SM3041在某些特性时候，出现了读数为0psi。比如说系统在上电/下电过程中。

上述实验过程可以用下面的图来表示，其实就是在气体温度变化不超过5℃下，只要重新标定一下量程、0点读数即可。

图3：SM3041的0点标定示意图

从上图可以清楚看到，只要环境温度(气体温度)T1-T2超过±5℃，通过上述操作过程就可以实现在线自动化调零。而在实际产品中，可以通过MCU的定时器功能定期进行调零检测。

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全部评论（3）

Mia Lv8 2020-03-16

SMI的压力传感器SM9541上电多久可以稳定工作，零点漂移会漂多大？
- 用户97967577回复： SMI的压力传感器SM9541上电就测量，基本测量周期是小于1ms，通过呼吸机案例中测试来看，SM9541一般会在2ms-4ms基本会稳定输出。
  查看全部2条回复
三3三 Lv8. 研究员 2018-07-04

价格有点贵啊～～～
Chandler Lv8. 研究员 2018-03-03

支持下

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台达工业自动化2022全产品简介

目录- 公司简介驱动类产品与电源治理运动控制类产品控制类产品智能传感器/过程控制器/现场仪表机器视觉产品工业型电源供应器网络装置工业计算机工业机器人智能制造产品

型号- DRS-24V100W1AZ,VIS,PMT-12V35W2BA,DRS60LCSS1BN002,AX-3,DVS-016,DVP50MC,DVS-G406W01-2GF,DFM,DMV-CC2M1GC055,VFD-EL-C,DMV-CL5M0GM023,ECM-SD3,PJ-24V30WBNA,PMC-12V050W1AA,DRS-5V50W1NZ,ECM-PFC83,ECM-PFC84,ECM-PFC81,ECM-PFC82,PMT-30V50W2BA,PMR-5V320WDBA,AHBP04MR1-5A,DVPEN01-SL,DOP-107WV,DRR-40N,AH,DRN-24V7AAEN,PJU-27V60WCBA,DVS-G008W01,PMT-36V350W2BM,AS,DRC-12V30W1AZ,PJ-5V15WBNA,DRM-24V960W1PN,AS500,ICAM-W-020D,DVP04DA-E2,PMT-36V350W2BR,PMC-24V600W1RW,PMR-5V320WDCA,AX-8,PMR-5V320WCAA,PJT-12V100WBAA,PMT-12V100W2BA,PMC-12V600W1BA,DRP024V060W1BN,DVPAEXT01-E2,HMC07-R412H55X,DVP02LC-SL,PMF-4V320WCGB,PMT-D2V75W2CA,DRS60L6SS1BN302,REG2000,DVS-G900-6GM12,IFD6530,DVS-G900-8GE,DVP10RC-E2,DIAVIEW,R1-EC6022D0,NC30EBH,ISE,PMC-12V100W1AA,DVS-G900-8GF,DIASVP,PJT-12V100WBBA,TP04G-AL-C,TP70P,DRL-12V120W1EN,DRP048V480W1BN,DMV1000G,DVP16XM211N,UC-PRG020-12A,PJT-12V65WBAA,DVP-SE,DVW-W01I2-E1,DMV-CL5M0GC023,PMU-27V155WCBA,PMU-27V155WCCA,DRP012V015W1AZ,VFD-EL-W,CP2000,DVP-F2AD,DRS60L3SS1BN002,PMR-5V320WDAA,DMV-C,DRP-24V100W1NN,ME300,ECM-PF,PMR-5V320WDGA,HS3,HS5,DRL-48V75W1AA,PJT-15V100WBBA,VFD-E,DVP-ES2,PMT-15V50W2BA,DTM-BDR,DVS-G408W01,DVP-ES3,DFS131,DTM-BDV,PMT-30V100W2BA,DVS-109,DOP-110IS,DVS-108,RTU-DNET,EH,DAH1000S,DOP-112MX,DVS-103,DRL-12V240W1EN,PMT-D2V75W2BA,DX-2100系列,DVP202LC-SL,ES,DRP012V030W1AZ,PJT-15V40WBAA,DRS60L6SS1BN002,ECM-PU,AFE2000,DRS80LC,DRP024V960W3BN,DOP-110IG,IFD6500,PMC-DSPV100W1A,IFD6503,DRM-24V960W3PN,PJ-12V100WBNA,PJB-24V150WBNA,PMT-30V35W2BA,PJT-18V100WBBA,CH2000,DVP-PM,PJH-24V300WBBA,DVS-110,DFS150,DRV-24V240W1PN,PJL-48V200WBBA,DVPCP02-H2,DVP08XM211N,PJ-12V30WBNA,PJ-12V150WBNA,DX-2300LN,DVP-F2DA,MH2系列,PJT-18V100WBAA,DTM-BDC,DVS-008,DIAIDE,DVP04PT-E2,DVPSCM12-SL,DVS-005,PJH-24V300WBCA,DVP04TC-E2,DTM-BDL,DVPPF02-SL,DRP048V120W1BN,PJB-24V240WBNA,PJT-15V100WBAA,ECM-PFS03,DPM-M系列,ECM-PFS04,ECM-PFS02,DRL-48V240W1EN,PMT-12V75W2BA,PJT-12V40WBAA,DVS-110W02-3SFP,PMC-12V035W1AA,TP04G-BL-C,HH,DRS60L3SS1BN502,DRS-12V50W1NZ,RS-AFS60LB06,PMT-15V35W2BA,RS-AFS60LB01,DXMC,AM-ESP S SERIES,HS,PJU-13V60WCAA,RS-AFS60LB05,RS-AFS60LB04,RS-AFS60LB02,LD-E,PMT-12V150W2CA,DOP-103WQ,LD-N,DVS-G928W01,ASDA-E3,PCI-DMC-B03,PJT-27V150WBNA,PCI-DMC-B02,PCI-DMC-B01,DPM-M,DRS40L3SS1BN002,DRL-48V120W1EN,DMV-CL,PJ-24V100WBNA,ECM-PU212,PMT-48V100W2BA,DMV-CC,DMV-CL12MGM008,DRP-24V240W2BN,DPA,ECM-PU211,R1-EC5614D0,DPB,DVW-ANT,DOP-100,AHCPU560-EN2,PMT-30V150W2BA,DVPDNET-SL,DMV-CL20MGM005,DOP-115WX,DPM,PMT-36V200W2BM,ES3,ES5,DAH2000H,DVW-W02W2-E2,PMT-D1V75W2CA,DVP08XN211R,DVP08XN211T,DPM-C,DPM-D,DRC-24V10W1AZ,PMT-30V150W2CA,VTSCADA,PCI-DMC-A02,DMV-CL12MGC008,DRU-24V20AMN,DRP-24V480W1CAN,PMC-05V035W1AA,ECM-PU433,DXMC-P,ECM-PU432,PMT-12V50W2BA,DRS60L6,ECM-PU435,PMT-12V200W2BM,PMT-D1V75W2BA,PJ-12V50WBNA,ECM-PU434,PMT-12V200W2BR,PMT-36V75W2BA,AMBD,IFD8540,AS-E,DIAEAP,DXMC-S,PJT-18V40WBAA,DVP04AD-SL,AS-B,PMT-24V200W2BR,VFD2207,ASDA-B3,PMT-24V200W2BM,ASDA-B2,PMT-36V150W2BR,PMT-48V350W2BM,ASDA-A3,PMT-48V350W2BR,DRS,DVP-SV2,DRP024V240W1AA,DRV,DRL-24V120W1EN,MSR - LES - SLE 10000 S0,PMT-24V100W2BA,PMT-36V150W2BA,R1-EC70F2D0,DOP-107BV,IFD9503,DRP024V060W1AA,PMT-48V200W2BM,IFD9502,PMT-12V350W2BM,MSR - LEH - SDE 4N 3 Q5 S1,PMT-12V350W2BR,IFD9506,DVP-F422,DTM-CT030,ECM-PFC8,DRP048V060W1BN,DRV90L7,DT3,PMT-24V75W2BA,MH300,PCI-L221-XXD0,DVP-FEN01,DRV-24V120W1PN,PJT-15V65WBAA,DTA,IFD8520,DVP08XP211R,DTC,DRC-24V10W1HZ,ASDA-M,DTB,DRS-24V100W1NZ,PJT-24V40WBAA,DTE,LCP-1FE,DTK,DTM,PMC-24V075W1AA,DRP024V060W1AZ,DTM-DOL,PJ-12V15WBNA,DOP-107EG,DVPPF01-S,DRP024V060W3BN,DTM-DOR,PMT-48V150W2BA,DTV,DRP012V060W1AA,RS-AFS60LA02,RS-AFS60LA01,DTM-DOV,DVP08XP211T,RS-AFS60LA06,RS-AFS60LA05,RS-AFS60LA04,PMT-24V150W2CA,DOP-107DV,DVS-G112,TP04G-AL2,DTM-DOC,RTU-ECAT,CSJ,DVP15MC,DVS-G116,DRP048V240W1BN,PMT-24V150W2BA,DRP-24V120W2BN,DRP024V240W1BN,PJB-24V300WBNA,PJU-13V60WCBA,DRS-24V30W1NZ,PMT-48V150W2CA,DRS80LCSS1BN002,DVP-SS2,DIASECS,ASD-SD3,PMT-30V75W2BA,CTA,DRU-24V10AMN,DRC-24V30W1AZ,PMT-12V150W2BA,PMT-36V150W2CA,DOP-107CV,DVP-EX2,MH2,PMT-48V35W2BA,R1-EC70E2D0,DVP-PS01,DVS-G106,DOP-112WX,DMV-CL20MGC005,DVP-PS03,DVP-PS02,DRC-12V10W1AZ,DRP024V120W3BN,DOP-105CQ,DMV-CL6M3GC016,TP04P,DRU-24V40AMN,R2-EC0902D0,DRM-24V480W1PN,PMT-36V50W2BA,PJB-24V100WBNA,DMV-CL1M6GM060,DRS70L6SS1BN002,AH10SCM-5A,DRL-24V75W1AA,AHBP08ER1-5A,DOP-108IG,IFD8510A,PMT-24V350W2BM,PJ-24V50WBNA,ASDA-A3-E,ASDA-A3-F,PCI-DMC-F02,PMC-24V100W1AA,PMT-24V350W2BR,DTMR08,DOP-107EV,PMC-24V600W1BA,DXMC系列,DTMR04,PMF-24V320WCGB,DVP16XP211R,DVP-F232,DVP16XP211T,DRS-5V30W1NZ,DRM-24V240W1PN,DIAENERGIE,DIAWMS,DOP-107IV,DVP06PT-E2,DRS-24V30W1AZ,PMT-48V75W2BA,DRS40L3,DRP012V100W1AA,DVS-G005I00C,PLCAS300,DVS-G005I00A,DRS-24V50W1NZ,DVPPF02-H2,DVPDT02-H2,DMV-CC1M6GC075,ASDA-A2-F,DRV70L7,IPC-E200,DVP02DA-E2,ASDA-A2-E,PMT-48V200W2BR,MS300,RTU-485,DOP-110WS,DX-3001H9-V,DRP024V240W3BN,DIABCS,DVP-SX2,HMC08,DRM-24V480W1SN,DRP024V480W3BN,ASDA-B3-F,PMF-24V240WCGB,ASDA-B3-E,PJH-36V300WBBA,PJT-24V100WBAA,DMV-CC1M6GM075,DRU-24V10ACZ,ECM-PU381,ECM-PU383,ECM-PU382,ECM-PU384,DVP10MC,DRP024V120W1BN,PJ-24V150WBNA,DMV-CC400GM290,DRP-24V120W1CAN,DVP01LC-SL,PMT-1

选型指南 - 台达 - 版本 5.0 - 202207 PDF 中文下载

SMI是专职于研发和生产基于MEMS技术的压力传感器的半导体领先企业，成立于1991年，总部位于美国，拥有一流的质量及生产控制，在2019年被TE Connectivity泰科收购。SMI生产的传感器产品为要求超低压力范围，极端恶劣的工作环境以及微小体积的应用提供了绝佳的解决方案。

微压力传感器中低压力传感器汽车级压力传感器

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康森斯克携多种压力传感器、流量传感器、流量计、流量表、流量控制器等亮相第31届中国国际测量控制与仪器仪表展览会

10月23日~25日，由中国仪器仪表学会主办的第31届中国国际测量控制与仪器仪表展览会（原“多国仪器仪表展”）于北京国家会议中心隆重举行。作为国内知名的MEMS压力传感器、流量传感器供应商，康森斯克携多种压力传感器、流量传感器、流量计、流量表、流量控制器等亮相，受到密切关注。

原厂动态发布时间 : 2023-10-31

TE Connectivity（泰科TE）传感器（压力传感器）解决方案

描述- TE为严苛应用环境设计并制造一系列从感应元件到系统封装的压力传感器。基于硅压阻微机械加工(MEMS)技术和硅应变计(Microfused, Krystal Bond)技术，我们的产品能够测量从几英寸水柱(＜5 mbar)到100K psi (7K bar)的各种压力。复杂的设计和先进的生产工艺为医疗，HVACR，非公路/重型设备以及一般工业应用创造了可靠及高性价比的解决方案。

型号- EPL,MS5607,MS5805,P700,MS5803,47,P105,MS4515,P981,P101,1220,MS54XX,MS52XX,P900,AST4000,AST46AST5100,1210,EB,13,154BSD,MS4525,17,P9000,MS5611,MS1451,U86B,1230,154N,DP86,EPIH,MS4525DO,AST44XX,U5700,1620,U5300,D5100,MS8607,EPRB,MS5525ASO,23,US300,P125,89BSD,27,1240,AST20SW,MS4515DO,P1200,AST5300,AST5400XX,MSP300,1630,AST20HA,85BSD,EPB-PW,MSP100,MSP340,33,MS5837,MS5637,37,MS4426,MS4425,U7100,85F,AST20PT,AST45XX,MS1471,AST43XX,U5600,M7100,U5200,EPB,82,86BSD,M5600,MS5525DSO,85,86,43,M5200

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呼吸机项目中，压力传感器SM9542和压力传感器SM9541的区别有哪些？

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【选型】SMI MEMS芯片/系统/压力传感器/微创传感器（Systems）选型指南

目录- MEMS pressure sensor die

型号- SM933X,SM6X21,SM30G,SM4X21,SMI-1A-48-XXX-ADAR,SM7X91,SMI-1A-48-XXX-ADAP,SMI-1B-48-XXX-ADAR,SM5108E,SMI-1B-48-XXX-ADAP,SM5X91,SM9325,SM1X91,SM9543,SM1X21,SM30D,SMI-1A-48-XXX-ABUU,SM98A,SMI-1B-48-XXX-AAUU,SMI-1B-48-XXX-ABUU,SM6841,SM1171,SM5420E,SM7X21,SM9D,SM5X21,SM95G,SM5G,SM1111,SM6X91,SM1131,SM4X91,SM9G,SM95D

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Amphenol Sensors(安费诺) 医疗传感器选型指南

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选型指南 - AMPHENOL SENSORS - 2018年7月 PDF 中文下载

Amphenol Sensors(安费诺)/Nova Sensor 压力传感器及敏感元件选型指南

目录- P1300低压硅压力传感器芯片 P1302低压硅压力传感器芯片 P111中压硅压力传感器芯片 P883（5~15000 PSI）硅压力传感器芯片 P1602硅压力传感器芯片 P122 高压硅压力传感器芯片 NPC-100系列一次性医疗压力传感器 NPC-1210系列低压系列固态压力传感器 NPC-1220系列中压传感器 NPH系列固态压力传感器(中低压) NPI-12卫生型压力传感器、不锈钢介质隔离压力传感器 NPI-15VC系列电压激励、高压、介质隔离压力传感器 NPI-15系列电流激励高压、介质隔离压力传感器 NPI-19系列电压激励、中压、介质隔离压力传感器 NPI-19系列电流激励、中压、介质隔离压力传感器 NPI-19低压不锈钢介质隔离压力传感器 NPP-301系列贴片封装压力传感器 NPA贴片式压力传感器 NPR-101系列复杂介质压力传感器 Modus T系列微差压力传感器压力变送器IPT1000/2000系列

型号- NPP-301B-700AT,IPT1000,51243,51245,51003,51244,NPP-301A-100AT,51005,51367,51004,51007,51006,51009,NPI-19X-YYYZZ,51008,51407,51406,NPI-15X-YYYZZ,51409,51408,NPP-301A-200A,NPH-XYYY-ZZ,51010,51012,51254,51011,51253,51013,NPA-300,NPR-101,51137,NPA-700,NPH系列,NPP-301B-200A,NPI-12,NPI-19X-XXXXV,P1602,NPI-15,NPP-301B-200AT,NPI-19,NPA100,NPI-15X-XXXXX,51142,MODUS T,51421,NPI-15X-XXXXXX,51304,51303,NPI-15C-C00903,NPP-301B-700A,51391,NPC-1210XXXX-YZ,51151,51393,51392,51395,NPI-19A-031GH,T10,51394,51031,51397,51399,51313,51433,51314,NPC-100T,51317,51318,NPP-301A-100A,P1302,NPC-100,P1300,51041,51283,NPI-19A-021GH,51282,T20,51045,51322,51046,51445,51324,51444,51323,51326,51325,51328,51327,51329,NPI-19A-002GV,NPI-15VC,NPP-301A-200AT,IPT2000,T30,NPC-1220XXXX-YZ,51298,51331,NPA-500,51330,51333,51299,51332,51335,51334,NPI-19X-XXXXXV,51337,51336,51339,51338,NPP-301B-100A,NPP-301B-100AT,NPA,T系列,P122,P883,NPH,NPI-19A-C01841,NPI-19A-C01840,NPP-301A-700A,T40,51340,NPP-301,51342,51187,51341,NPI-12-101GH,NPI-1,NPC-1220,NPP-301A-700AT,P111,51076,NPC-1210,51114

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