解析电阻型半导体气敏传感器的结构

时间： 2024-09-08 来源：TOPPOWER官网

代理服务

技术支持

现货查询

批量订货

本文中TOPPOWER来给大家介绍电阻型半导体气敏传感器的结构，希望对各位工程师有所帮助。气敏传感器通常由气敏元件、加热器和封装体三部分组成。气敏元件按制造工艺不同可分为烧结型、薄膜型和厚膜型三类。它们的典型结构如图6-2所示。

图6-2a所示为烧结型气敏元件。这类元件以Sn0,半导体材料为基体，将铂电极和加热丝埋人Sn0,材料中，用加热、加压、温度为700℃~900℃的制陶工艺烧结成形，因此称为半导体导瓷，简称半导瓷。半导瓷内的晶粒直径为1mm左右，晶粒的大小对电阻有定影响，但对气体检测灵敏度则无很大的影响。烧结型气敏元件制作方法简单，元件寿命长，但由于烧结不充分，元件机械强度不高，电极材料较贵重，电性能一致性较差，应用受到一定的限制。

图6-2b所示为薄膜型气敏元件。它采用蒸发或溅射工艺，在石英基片上形成氧化物半导体薄膜(其厚度约在100nm以下)。其制作方法也很简单。实验证明，Sn0,半导体薄膜的气敏特性:但这种半导体薄膜为物理性附着，元件间性能差异较大。

图6-2c所示为厚膜型气敏元件。这种元件是将Sn0,或2n0等材料与3%~15%(质量百分比)的硅凝胶混合制成能印刷的厚膜胶，把厚膜胶用丝网印刷到装有铂电极的氧化铝(AL0:)或氧化硅(Si0,)等绝缘基片上，再经400℃~800℃温度烧结1h制成。由于这种工艺制成的元件离散度小、机械强度高，适合大批量生产，所以是一种很有前途的元件。

加热器的作用是将附着在敏感元件表面上的尘埃、油雾等烧掉，加速气体的吸附，提高其灵敏度和响应速度。加热器的温度一般控制在200℃~400℃范围内。

加热方式一般有直热式和旁热式两种，因而有直热式和旁热式气敏元件。直热式气敏元件是将加热丝直接埋入Sn02、2n0粉末中烧结而成，因此，直热式常用于烧结型气敏结构。直热式结构如图6-3a、b所示。旁热式气敏元件是将加热丝和敏感元件同置于一个陶瓷管内，管外涂梳状金电极作为测量极，在金电极外再涂上Sn0,等材料，其结构如图6-3c、d所示。

发送到邮箱 |
+1 赞 0
收藏
评论 0
| 转发至：

本文由星晴123转载自TOPPOWER官网，原文标题为:电阻型半导体气敏传感器的结构，本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的，且明确注明来源，不希望被转载的媒体或个人可与我们联系，我们将立即进行删除处理。

全部评论（0）

暂无评论

变压器容量计算公式详解

变压器容量的计算公式根据变压器的类型（单相或三相）有所不同。在实际应用中，需要根据变压器铭牌上的数据来计算其容量，并考虑变压器的效率以确定其实际负载能力。通过合理的容量计算，可以确保变压器在电力系统中的稳定运行，并避免过载或欠载等问题的发生。

2024-07-02 - 技术探讨代理服务技术支持现货查询批量订货

无感电阻和普通电阻的区别

无感电阻和普通电阻的主要区别在于它们在电路中的特性，尤其是对于交流信号的响应。本文TOPPOWER来为大家介绍无感电阻和普通电阻的区别，希望对各位工程师朋友有所帮助。

2024-11-07 - 技术探讨代理服务技术支持现货查询批量订货

详解继电保护的原理和分类

继电保护（Relay Protection）是电力系统中保护设备和电气设备的一种重要保护措施，其主要作用是在电力系统发生故障时，快速检测并隔离故障，以保护设备和维持系统的稳定运行。本文TOPPOWER详细解释了继电保护的原理和分类。

2024-07-11 - 技术探讨代理服务技术支持现货查询批量订货

中高端电源模块厂商顶源科技（TOPPOWER）授权世强硬创代理

根据协议，DC-DC电源模块、AC-DC电源模块、AC-DC开关电源、DC/DC隔离定电压输入电源、DC/DC隔离宽电压输入电源、DC/DC非隔离电源等全线产品上线世强硬创平台，丰富了平台的产品及产品信息，满足不同科技企业需求。

2023-10-13 - 签约新闻代理服务技术支持现货查询批量订货

解析如何使用全通滤波器设计正交网络

本文TOPPOWER介绍了如何使用全通滤波器设计正交网络。

2024-11-23 - 设计经验代理服务技术支持现货查询批量订货

直流电源：接地还是不接地？

是否应将直流电源接地？答案并不是简单的“是”或“否”。本文探讨了直流电源接地的优点和缺点。直流电源是任何控制系统中常见的、几乎肯定会用到的组件。直流电源系统经常讨论的一个问题是将输出连接到连接工业机器的接地系统。这种接地连接是必需的吗？如果不需要，建立这种连接是好主意还是坏主意？控制柜内安装的大多数直流电源输出常见的 24 伏电压。