MEMS流量传感器的工作原理、应用

时间： 2024-09-20 来源：MITSUMI官网

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流量传感器是检测液体、气体和其他物质的速度和流速的传感器，检测方法有接触式和非接触式两种。

接触式：直接测量，原理简单、精确，但安装时需要对现有设施进行初步设计和施工。

非接触式：不直接接触，根据测量方法的不同误差可能较大。易于安装，可在现有设施内直接启动测量。

流量传感器工作原理

使用MEMS技术的流量传感器利用的是热量传递到热电偶（热电堆）产生电动势的热电效应。气体流动会改变加热器的热分布，使上下游传输的热量产生差异，从而产生电动势。产生的电动势进行温度补偿和线性修正后，作为流量输出。

使用MEMS技术的流量传感器体积小巧，安装自由度高，对客户的产品设计没有限制。另一方面，采用数字输出方式，精度和分辨率高，响应速度也非常快，时间可小于5毫秒，能快速获得测量结果。

流量传感器大致有三类：测量上游和下游压力差的传感器、测量流量的传感器和测量风速的传感器。其中测量风速的流量传感器可用于10m/s的风速测量，各自在不同的领域能发挥不同作用。

应用案例

1、呼吸设备

常用的呼吸治疗设备有CPAP设备、呼吸机、制氧机和肺活量测量设备等，流量传感器在其中发挥了重要作用。流量传感器还被用于检测肺部空气的流动情况，并作为关系生命的重要传感器不断扩大应用领域。

2、自动化工厂

流量传感器可对自动化工厂环境中空气的流量和流速进行可视化，不仅能使工厂环境更加舒适，还能防止灰尘进入生产线造成产品缺陷。用于控制设备时，再小的气流也能被检测到，可以控制设备只使用所需的气流，节约能源。

3、可变风量控制设备（VAV）

空调系统中的可变风量控制设备（VAV）是一种可以自动调节风量并控制风量保持恒定的装置。在装置中使用流量传感器可协助控制加热和冷却能力。流量传感器可以测量流经空调管道的气流速度，并根据室内温差打开或关闭风门叶片以调节气流，实现节能。

美蓓亚三美将半导体技术与传感器技术结合，不断研发出多种小型化、高性能的MEMS传感器产品，为各行各业提供优质的传感器解决方案。

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敏芯微（MEMSENSING）创立于2007年，主导推动了中国MEMS产业链构建，多年蝉联“中国半导体MEMS十强企业”、“中国传感器公司TOP10”、“中国IC设计成就奖”等一批荣誉，引领MEMS技术创新与应用，致力于成为全球领先的MEMS解决方案提供者。

MEMS声学传感器骨振动传感器硅麦克风 MEMS压力传感器气压计电子血压计压力传感器一次性血压计压力传感器充油隔离式压力传感器 LGA封装绝压数字输出压力传感器绝压单芯片封装压力传感器集成调理塑封压力传感器制氧机陶瓷板载压力传感器有创呼吸机压力传感器无创呼吸机压力传感器 MEMS惯性传感器加速度传感器 MEMS力传感器力传感器 MEMS流量传感器电子烟压力传感器红外热电堆传感器热电堆红外传感器芯片模组类产品充油隔离式压力传感器模组车规级汽车压力传感器模组后市场汽车压力传感器模组热电堆红外传感器模组

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【元件】敏芯微新推医用及过程控制气体流量传感器模组MF1250，5ms超快响应，流量范围0~250slpm

敏芯微推出的MF1250系列气体流量传感器采用创新的微机电系统（MEMS）质量流量传感器技术，是历经多年研制开发的一款医用气体流量测量或过程控制气体质量流量传感器模组。本产品具有高灵敏度、高精度、大量程比、无需温压补偿等特点。可广泛应用于呼吸机、制氧机、雾化器、麻醉机等多种医疗设备。

2024-03-15 - 产品代理服务技术支持采购服务

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2022/10/18 - CONSENSIC - 商品及供应商介绍代理服务技术支持采购服务

敏芯微气体流量传感器模组在医疗器械中的应用：量程提升至0-600SLPM，并实现双向可测量功能

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