MEMS流量传感器的工作原理、应用

时间： 2024-09-20 来源：MITSUMI官网

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流量传感器是检测液体、气体和其他物质的速度和流速的传感器，检测方法有接触式和非接触式两种。

接触式：直接测量，原理简单、精确，但安装时需要对现有设施进行初步设计和施工。

非接触式：不直接接触，根据测量方法的不同误差可能较大。易于安装，可在现有设施内直接启动测量。

流量传感器工作原理

使用MEMS技术的流量传感器利用的是热量传递到热电偶（热电堆）产生电动势的热电效应。气体流动会改变加热器的热分布，使上下游传输的热量产生差异，从而产生电动势。产生的电动势进行温度补偿和线性修正后，作为流量输出。

使用MEMS技术的流量传感器体积小巧，安装自由度高，对客户的产品设计没有限制。另一方面，采用数字输出方式，精度和分辨率高，响应速度也非常快，时间可小于5毫秒，能快速获得测量结果。

流量传感器大致有三类：测量上游和下游压力差的传感器、测量流量的传感器和测量风速的传感器。其中测量风速的流量传感器可用于10m/s的风速测量，各自在不同的领域能发挥不同作用。

应用案例

1、呼吸设备

常用的呼吸治疗设备有CPAP设备、呼吸机、制氧机和肺活量测量设备等，流量传感器在其中发挥了重要作用。流量传感器还被用于检测肺部空气的流动情况，并作为关系生命的重要传感器不断扩大应用领域。

2、自动化工厂

流量传感器可对自动化工厂环境中空气的流量和流速进行可视化，不仅能使工厂环境更加舒适，还能防止灰尘进入生产线造成产品缺陷。用于控制设备时，再小的气流也能被检测到，可以控制设备只使用所需的气流，节约能源。

3、可变风量控制设备（VAV）

空调系统中的可变风量控制设备（VAV）是一种可以自动调节风量并控制风量保持恒定的装置。在装置中使用流量传感器可协助控制加热和冷却能力。流量传感器可以测量流经空调管道的气流速度，并根据室内温差打开或关闭风门叶片以调节气流，实现节能。

美蓓亚三美将半导体技术与传感器技术结合，不断研发出多种小型化、高性能的MEMS传感器产品，为各行各业提供优质的传感器解决方案。

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