照亮半导体创新之路（二）：EUV光刻技术与晶圆检测的前沿挑战

照亮半导体创新之路（三）用于半导体后端工艺制造的光

我们通过照亮半导体创新之路的三篇微文，介绍了半导体行业未来发展、激光技术与创新材料在半导体前端工艺及后端工艺的应用。一直以来，Coherent高意专注于为半导体工具制造商提供具有高性能的创新产品 — 激光器、光学元件、材料。而通常，我们的客户选择Coherent高意不仅仅是因为这个原因。

Yole展望：化合物半导体行业前景先声夺人

Yole集团半导体衬底与材料技术与市场分析师Ali Jaffal博士总结道：“化合物半导体行业正处于向更大直径衬底过渡的关键时刻。在功率电子领域，产能的需求使SiC向8英寸过渡成为了当务之急；在光子领域，人工智能正在推动高数据率激光器的需求，这将加速向6英寸InP衬底的过渡。总之，在功率电子和光子化合物半导体强劲增长的推动下，化合物半导体衬底和外延片市场将不断发展，整个行业前景可期。

研讨会2024功率器件新技术研讨会

描述- 11月21日在线直播，带来低导通电阻的功率MOS、集成驱动的GaN IC、IGBT新技术、用于电机驱动/BMS/移动储能的SGT MOS、高压车规SiC功率MOS、国产车规IGBT模块等功率器件新产品新技术，点击了解报名

议题- 降低20%导通电阻的功率MOS  |  集成驱动的GaN IC  |  沟槽栅场截止型IGBT新技术  |  适用于电机驱动/BMS/移动储能等应用SGT MOSFET  |  1700V SiC功率MOS  |  国产50A IPM模块  |  高可靠国产车规IGBT模块  |  ROHM——专注功率，电源和模拟技术的全球知名半导体厂商  |  EPC——基于氮化镓（GaN）功率管理器件的领先供应商  |  致力于功率器件和智能传感器技术的专业半导体厂商——瑶芯微（ALKAIDSEMI）  |  中国半导体功率器件十强企业：扬杰科技（YANGJIE）  |  致力于成为双碳时代功率半导体中国领跑者——阿基米德半导体（Archimedes）  |  中国领先的碳化硅（SiC）半导体和芯片解决方案提供商——瞻芯电子（InventChip）  |  专业从事电源管理、电机驱动、微控制器、传感器的集成电路和系统方案的设计与开发——华润微电子（CRM ICBG ）  |  Kyocera（京瓷）——全球领先的材料与电子元件制造商  |  Shindengen（新电元）——“桥王”，整流桥全球份额占比约40%  |  中国半导体功率器件十强的主板上市企业——新洁能（NCEPOWER）  |  国内首家抗负压能力可达-40V/600ns的电机驱动（HVIC）制造商——数明半导体  |  国内领先的半导体分立器件整合制造商 (IDM) —— 捷捷微电(JieJie Microelectronics）  |  国产一站式电路保护解决方案专家——硕凯（SOCAY）  | 

可穿戴健康监测器依赖于激光器：Coherent高意可为消费类电子行业提供几乎所有类型的EEL和VCSEL

虽然VCSEL等半导体激光器是为许多可穿戴医疗传感设备供电的光源，但它只是完整光子传感系统的一部分。COHERENT高意是一家垂直整合式光子制造商，也是这些核心组件类型的批量供应商。高意与光子学领域的其他相关各方密切合作，并坚信，未来应用将越来越依赖光子集成电路（PIC）模式来集成系统级组件并实现可穿戴电子产品所需的小外形尺寸。PIC相当于主导电子世界的IC的光子。

长飞携贝系列光纤、散热材料、工业激光、数据中心等产品与解决方案在慕尼黑激光器与光电子展区亮相

长飞公司以大功率光电子器件领域的高密度封装材料为主要应用重点，针对大功率激光器、IGBT、射频通信等领域存在的封装散热材料不足问题，自主研发、展示了金刚石铜复合材料、金刚石铝复合材料、AMB金刚石覆铜板等第三代散热材料，满足碳化硅。

【应用】高性能TEC制冷片+高可靠性热界面材料为VCSEL激光器提供快速散热方案

我们常规的结构散热方案：热界面材料+铝制散热器，外接风冷。但对于VCSEL激光器，尽管发光效率可达25%，但剩余会以热量形式损失，其应用空间有限，陶瓷支架尺寸小，PCBA导热差等。故我们需要合适的散热解决方案，这里可推荐marlow 单级TEC半导体制冷片SP2626+Parker Chomerics热界面材料MS30+散热器方案。

新型Axon 780紧凑型飞秒超快激光器具有800mW更高功率，可更快实现无标记成像

高意新型 Axon 780 紧凑型飞秒超快激光器速度与性能得到明显提升，适用于无标记双光子显微成像、2P 纳米加工以及晶圆和薄膜检测。可更高功率实现更快的临床前显微成像、纳米加工等。

【应用】半导体制冷片NL1010T-01AC用于激光器Vcsel部位制冷控温，操作简单，使用方便

针对激光器产品在研发设计及实际应用过程中所面临的Vcsel芯片部位制冷控温问题，可推荐使用Marlow旗下的NL1010T-01AC这款高性能半导体制冷片。其尺寸为3.96mm x 3.96mm，小体积，结构适应性好。

【产品】​ATL系列半导体制冷器，高性能半导体制冷片作为制冷/加热驱动源，广泛用于激光，医疗，实验室设备

奥冷ATL型半导体制冷器采用高性能半导体制冷片作为制冷/加热驱动源，能够精确控制热源及冷却液的温度。同时，通过合理的设计，大幅提升了产品效率。半导体制冷器由于其自身的优势，是本产品被广泛用于激光，医疗，实验室设备及广泛的工业领域。近年来，随着激光美容行业的兴起，ATL型半导体制冷器得到了广泛的应用。我们除了提供性价比高的标准产品之外，还可以根据客户的具体需求提供产品的深度定制特点。

激光雷达 – 远程测距的激光规则

激光雷达是一种强大而灵活的技术，可用于气象、汽车和科研等多种应用。Coherent 高意的激光器、光纤、光学元件等提供了支持其中许多应用所需的性能、可靠性和经济性。

常见激光器及简单电源拓扑介绍

本文介绍了激光的基本概念、用途和激光器的分类。激光具有单色性、方向性好和亮度高的特点。激光广泛应用于打标、焊接、切割等领域。激光器按增益介质可分为气体、液体、固体激光器；按输出功率分为小功率、中功率、大功率激光器；按工作方式分为连续和脉冲激光器。文中还详细介绍了CO2激光器、YAG固体激光器、半导体激光器和光纤激光器的组成、工作原理和应用特点。最后，简要提到了常见激光器的对比和简单激光电源拓扑。

享誉生命科学领域的Coherent Axo系列飞秒激光器，平均功率最高3.5W，短脉宽＜150fs

Coherent Axon是具有固定波长、经济高效的紧凑型飞秒激光器，目前具有780nm, 920nm和1064nm三种波长，在多光子显微成像、生命科学领域备受青睐。它还适用于半导体检测和纳米加工等。

激光器在现代防御系统中发挥着关键作用

激光器、成像系统和其他光子技术以不同的方式部署，以用于保护军队、收集情报以及实现安全的通信。Coherent高意为现代防御系统提供各种组件，其中包括用于高能激光系统中的激光器、单管半导体、激光晶体、光纤、旋光器/隔离器和轻型光束定向器光学元件。

Coherent高意推出高功率工业激光器衍射光学元件DOE产品，适合消费电子等大批量应用

Coherent高意2023年1月10日宣布推出高功率工业激光器衍射光学元件（DOE）产品系列。其利用自身专有的纳米压印技术和设计模拟工具，向市场提供新系列高度定制化DOE，可同时实现极高光学效率与极为均匀的激光束。这些DOE产品可加选精密光学涂层处理，由此确保焊接、切割和增益制造等各应用领域的千瓦级工业激光器保持高可靠性。