宙讯微电子再获一项BAW发明专利授权：《一种谐振器反射栅制备方法》

时间： 2024-10-11 来源：宙讯科技（QuantGrav半导体公众号）

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2024年，南京宙讯微电子科技有限公司（以下简称“宙讯微电子”）申请的发明专利《一种谐振器反射栅制备方法》，现已取得国家知识产权局的授权，专利号：ZL 2024 1 0934222.4。

这次发明专利的授权证明了宙讯微电子在TC-FBAR和SMR BAW滤波器领域的知识产权布局再上新的台阶。

专利技术介绍

《一种谐振器反射栅制备方法》发明公开了一种新型BAW体声波谐振器反射栅的制备方法。

近几年来，5G技术急速发展，推动着手机终端射频系统的全面升级。未来几年内，5G手机以及基站的数量将成倍增长，滤波器的需求量也将大幅提升。导致市场对滤波器的工作频段、传播损耗等各方面性能也有越来越高的要求。

传统体声波滤波器FBAR有着优良性能的同时，也有着相对复杂的制造流程和昂贵成本。

宙讯微电子采取了一种新的体声波谐振器反射栅制备方法，简化了传统体声波谐振器反射栅制造过程中多次光刻的工艺步骤，有效降低了谐振器反射栅的制造复杂度，同时还可以有效降低制造成本。

荣获专利意义重大

此次发明专利的获得，是宙讯微电子在自主知识产权成果方面开发能力的展现，是对公司坚持技术创新路线的肯定，进一步促进其完善公司知识产权保护体系，有助于提升公司核心竞争力，是宙讯微电子长远发展战略重要一环。

不忘初心，继续前行，宙讯微电子将不骄不馁，砥砺前行。并持续提升自主创新能力和核心竞争力，深耕射频前端技术，坚持锐意进取、科学管理，引领射频前端产业前行，为实现“中国芯”的伟大愿景而不懈努力！

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