激光切割设备采用AS77-30BA气压传感器结局方案，极大降低了电路设计以及软件开发难度

时间： 2024-10-23 来源：AIoT Sensing

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合肥智感科技有限公司（英文AIoTSensing Inc.)是由一批来自世界顶级MEMS传感器技术公司、世界五百强传感器公司以及国内以传感器为主业主板上市公司的核心技术专家和优秀管理人才成立的高科技企业。公司的MEMS传感芯片设计团队和MEMS传感器件设计与制造团队拥有二十多年的从业经验。公司依靠团队掌握的先进MEMS传感器技术和丰富的实践管理经验，以自主知识产权产品的创新设计与开发为立足点，为物联网消费电子、工业电子、医疗电子、汽车电子等相关领域，提供MEMS芯片设计、MEMS传感器、MEMS传感模组与系统等产品和服务。公司已通过ISO9001、IATF16949质量体系，防水防尘抗腐蚀MEMS压力传感器系列产品已经被多家知名的消费电子、家用电子及工业电子设备商采用。在美国硅谷、美国威斯康星州、意大利米兰、日本东京及东南亚地区、台湾、香港、北京、上海、深圳、重庆、成都、合肥等地区布局销售服务网络。

激光切割设备是一种利用高功率激光束进行材料切割的设备，广泛应用于工业生产中。它通过聚焦激光束，使材料快速熔化、蒸发或达到燃点，从而实现切割目的。激光切割设备可以应用于：

● 工业制造——在汽车、航空、机械等领域的金属和非金属材料加工中发挥重要作用，如汽车车身覆盖件、飞机结构部件的精确加工；

● 精密加工——用于微电子学和生物医学领域，生产高精度的微型元件和细胞组织切片；

● 特殊材料切割——适用于金属、塑料、木材、玻璃和复合材料等；

● 工艺礼品、建筑模型制作——在木、竹、大理石、有机板等材料上雕刻精美图案和文字；

● 服装加工——皮革、服装加工业中的复杂图案切割；

● 广告制作行业——用于金属材质的广告字体加工；

● 农业机械行业——农机产品的加工和制造中；

● 厨具制作行业——用于钣金面板的加工等。

气压传感器在激光切割设备中扮演着重要角色。其主要作用包括：

● 确保切割质量：气压传感器能够监测并控制气体压力，这对于切割质量至关重要。适当的气压可以确保材料被有效切割，同时防止熔融物质反弹进入喷嘴。

● 优化切割过程：通过精确控制喷嘴压力，气压传感器有助于优化切割过程，提高切割速度和精度。

● 保护设备：气压传感器确保在气体压力不足时及时停止设备运行，避免设备损坏和切割零件的报废。

一个激光切割设备上需要配备两个气压传感器，1个安装在气源上，1个安装在喷嘴处，阈值一般设置在25bar。实际案例中厂家是把两个压力传感器做到了一个小板子上，这个小板子通过线束连接主控板。合肥智感科技推出的一款AS77-030BA产品能实时满足此类用户需求，具有极高的分辨率和检测精度，数字输出带温度补偿。

AS77-30BA主要技术优势：

1、采用24bit数字IIC/SPI双输出，芯片提供了全面的压力校准以及温度补偿（-10℃ to 60℃），极大降低了电路设计以及软件开发难度，典型应用电路如下图1；

2、芯片符合ISO9001标准，工作温度范围为-40℃ to 85℃；

3、支持1.8V-5.5V宽范围供电电压，方便电源架构的设计

4、芯片采用通用的SMD-6封装形式的邮票孔引脚，便于产品焊接。

5、防水

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目录- 温度压力复合传感器气压传感器陶瓷板载压力传感器高压传感器压力/数字温度变送器

型号- AS55L,AS23M,ASM10,ASM10-SERIES,AS23C,AS55H,AS77,AS215-SERIES,AST015,AS1318HU,AS6295,ASC31-SERIES,AS1318H-SERIES,ASM95D-SERIES,ASP001,ASP002,AS77PM-4BA,AS77S,AS77H-SERIES,ASM10D-SERIES,AT22-01BA,AS615-SERIES,AS1318C,ASM10A-SERIES,AS55,AS77H,AS615A,AS1318H,ASM95D,AS55L-SERIES,AS615,ASC31,AS77P1-01BA-01,AS55H-SERIES,AS23C-SERIES,AS23M-SERIES,AS215,AS216,AS55T-SERIES,AS77-SERIES,ASM10A,GP6-SERIES,ASM10D,AS615A-SERIES,GP6,AS1318C-SERIES,AS216-SERIES,ASM10M,AS1318HU-SERIES,ASM10M-SERIES,AS55T,AS55-SERIES,AS77S-SERIES

2023/12/28 - AIOT SENSING - 选型指南代理服务技术支持采购服务

工业应用手册

描述- ROHM公司提供高质量的半导体和电子元件，致力于支持工业设备的技术创新。公司通过垂直整合的生产系统，确保产品的高质量、高可靠性和稳定供应。ROHM的产品涵盖从消费电子和IT设备到汽车和工业系统的广泛市场。公司还提供产品长期供应计划，以满足工业设备市场对长期供应的需求。ROHM通过结合电路设计、布局和制造工艺技术，开发出具有卓越性能的产品，并提供全面的设计支持和服务。

型号- BD52W04G-C,SH8KXX SERIES,BD900N1W,QH8KXX SERIES,BM2SCQ123T-LBZ,R6007RND3,BD900N1G-C,BD2311NVX-C,RBR2VWM60A,BD9XXN1 SERIES,BD933N1,RFS SERIES,RBR1VWM40A,BM2SC12XFP2-LBZ,CSL1901,BP3622,BD14210G-LA,BP3621,SCT4013DW7,BM2P06XMF-LBZ,R6035VNX3,RB068VWM150,R60XXRNX SERIES,CSL1901DW,BD950N1WG-C,BM2P060LF-Z,BM2LE160FJ-C,BV1LE080EFJ-C,BM2SC123FP2-LBZ,SH8MC5,SCT4018KW7,RB168VWM-40,RFL SERIES,SCT4018KE,BD52W03G-C,SCT4026DE,BM2SCQ121T-LBZ,LTR10 SERIES,RB168VWM-60,BD48W00G-C,RBR1VWM30A,SH8MB5,SCT4018KR,SCT4026DR,R6035VNX,BM2P061MF-Z,BM6437X,CSL1901UW,BM64378S-VA,BD900N1EFJ-C,D950N1EFJ-C,SCT4013DE,BM2P063MF-Z,R6024VNX3,SCT4013DR,BD7XXL05G-C,R60XXVNX SERIES,BD950N1,RB068VWM100,RFL,SH8KXX,CSL1901VW,RFS,BD14215FVJ-LA,BM6437X SERIES,PSR,RB168VWM-30,SCT4036KW7,R6004RND3,BM2LE040FJ-C,RF05VAM2S,BD750L05G-C,BM2SC122FP2-LBZ,BD933N1G-C,BD900N1,BM2P061LF-Z,BD52W02G-C,BM64377S-VA,BD933N1EFJ-C,QH8MB5,REFLD002,R60XXRNX,RBLQ2VWM10,PSR500,SCT4026DW7,BV1LE040EFJ-C,RFS30TZ6S,BD900N1WG-C,CSL1901 SERIES,QH8MC5,CSL1901YW,BV1LEXXXEFJ-C,RFL60TZ6S,R6013VND3,PSR SERIES,R6009RND3,R6077VNZ,BM2SCQ122T-LBZ,RFL60TS6D,S WAVE B-01,PSR400,BD933N1WG-C,BD52W01G-C,RB068VWM-60,R WAVE B-01,REFPDT007-EVK-001B,REFPDT007-EVK-001A,REFPDT007-EVK-001C,RFS30TS6D,LTR10,BD950N1WEFJ-C,BM2SC124FP2-LBZ,QH8MX5 SERIES,QH8KB5,R6013VNX,QH8KB6,RBR2VWM30A,BM2LE250FJ-C,BD2311NVX-LB,RGWXX65C SERIES,RGW00TS65CHR,SH8MX5 SERIES,SCT4045DW7,BV1LE250EFJ-C,SCT4036KE,QH8MX5,SCT4045DE,R6024VNX,BM2SCQ124T-LBZ,R6055VNX,R6018VNX,R6055VNZ,SCT4045DR,RGW80TS65CHR,QH8KC6,CSL1901MW,QH8KC5,R60A4VNZ4,RB168VWM150,BD7XXL05G-C SERIES,BD52W06G-C,SCT4062KR,BD48HW0G-C,RBR2VWM40A,BD1421X-LA SERIES,BD9XXN1,R6077VNZ4,BM1390GLV-Z,RGWXX65C,RBR1VWM60A,REFLD002-1,QH8KXX,REFLD002-2,R6055VNX3,BD52W05G-C,BM2P06XMF-LBZ SERIES,SCT4036KR,RFL30TS6D,BD900N1WEFJ-C,BM2LEXXXFJ-C,RFS60TS6D,BD733L05G-C,BD933N1WEFJ-C,SCT4062KE,BM2SC12XFP2-LBZ SERIES,BM64374S-VA,GNE1040TB,BD950N1W,BD725L05G-C,BD933N1W,BD730L05G-C,BM2SC121FP2-LBZ,PSR350,SH8KC6,BM64375S-VA,SH8KC7,BM2LE080FJ-C,SH8MX5,SCT4062KW7,R60XXVNX,PSR100,BV1LEXXXEFJ-C SERIES,RB168VWM100,BD950N1G-C,RGW60TS65CHR,R6055VNZ4,BM2P060MF-Z,RLD90QZWJ,RFS60TZ6S,RLD90QZWD,RLD90QZWC,SH8KB7,RLD90QZWB,SH8KB6,RB068VWM-40,RLD90QZWA,RB068VWM-30,BV1LE160EFJ-C,RLD90QZW8,RFL30TZ6S,BM2LEXXXFJ-C SERIES,RLD90QZW5,BD1421X-LA,PSR330,RLD90QZW3

11.2023 - ROHM - 应用笔记或设计指南 - Ver.3.1 代理服务技术支持采购服务

Amphenol Sensors(安费诺)/All Sensors MEMS压力传感器选型指南

目录- Product Matrix&Evaluation Kit Millivolt Output (compensated) Digital Output Amplified Output Basic Output (uncompensated) Media Isolated Sensors (Millivolt) Media Isolated Sensors (Amplified) Appendix A: Packaging Appendix B: White Papers Appendix C: Additional Resources

型号- 30 PSI-G-CGRADE-MINI,30 INCH-D1DIP-MV-MINI,ADCA SERIES,SPM-402,BLC SERIES,SPM-401,2 INCH-D2-MV-MINI,1 PSI-D-PRIME-MV,5 PSI-G-PRIME-MINI,5 INCH-D2-MV-MINI,30 INCH-DX-MV-MINI,30 PSI-D-CGRADE-MINI,DLVR-L20D,30 PSI-D-HGRADE-MV,DLVR-L20G,15 PSI-AF-CGRADE-MINI,100 PSI-D-PRIME-MV,DLHR-F50D,MLV-L02D-A6BBF-N,30 PSI-A-CGRADE-MINI,5 PSI-G-4V-PRIME,30 PSI-AF-CGRADE-MINI,BLV-L20D,2 INCH-D1DIP-MV-SDXL,DLHR-L05G,10 INCH-G-4V,CPA 502,10 INCH-D2DIP-MV-MINI,0.3 PSI-G-4V-MIL,10 INCH-D-HGRADE-MINI,30 PSI-D-PRIME-MV,120 CMH2O-D-4V-PRIME,1 INCH-DX-P4V-MINI,ASCX,DLHR-L05D,15 PSI-D-DO,BARO-INHG-DO-MIL-PCB,DLHR-L02D,5 PSI-D-4V-MIL,DLHR-L02G,2.5 INCH-G-4V,DLH-L60D,30 INCH-G-4V-MINI,5 CMH2O-D1-4V-MINI,15 PSI-A-4V-MIL,DLH-L60G,DLVR-L30D,20 INCH-D1DIP-MV-SDXL,BP01-G-4V-MINI,DLVR-L30G,15 PSI-GF-HGRADE-MINI,5 INCH-G-MV-MINI,1 PSI-G-4V-MIL,CPM502□-□□□□□□□□□,SAMP,10 INCH-GF-CGRADE-MINI,BARO-INHG-DO-MIL,BLV-L30D,TM4C1233D5PM,100 PSI-D-4V-PRIME,MLV-L02D,5 INCH-D1DIP-MV-SDXL,15 PSI-A-PRIME-MV,CPA 602,5 PSI-D-4V-ASCX,MDCX,1 PSI-D-4V,100 PSI-X-DO,20 INCH-DX-4V-MINI,5 INCH-D-DO,100 PSI-G-CGRADE-MINI,MLV SERIES,150 PSI-D-4V,0.5 INCH-G-4V,30 PSI-GF-HGRADE-MINI,MLV-L01D,0.3 PSI-D-HGRADE-MV,20 INCH-D-MV,ADO,10 INCH-G-MV-MINI,1 INCH-G-4V,5 INCH-DX-MV-MINI,15 PSI-G-4V,BLC-L30D,0.3 PSI-D-4V,BLVR,0.3 PSI-G-4V-PRIME,150 PSI-D-HGRADE-MV,BLC-L01D-D1,2 INCH-DX-MV-MINI,2 INCH-G-MV-MINI,0.3 PSI-G-HGRADE-MINI,30 PSI-DX-4V-MINI,MLV-030D,100 PSI-D-DO,15 PSI-A-HGRADE-MINI,CPA-602,0.5 INCH-DX-4V-MINI,MCS SERIES,0.3 PSI-G-PRIME-MINI,2 INCH-D-MV,1 PSI-G-CGRADE-MINI,DLC,15 PSI-G-PRIME-MINI,30 PSI-D-4V-PRIME,1 PSI-D-CGRADE-MV,SPM 02,DLH,30 PSI-D-PRIME-MINI,DLVR-L02D-E1NS-C-NI3F,15 PSI-G-HGRADE-MINI,60 INCH-G-4V,MLV-150D,30 PSI-A-4V,FPS,0.3 PSI-DX-4V-MINI,0.3 PSI-GF-PRIME-MINI,DLV,15 PSI-A-CGRADE-MV,120 CMH2O-D1-4V-MINI,30 INCH-G-MV-MIN,BARO-A-4V,15 PSI-GF-PRIME-MINI,BARO-DO-MIL,DLHR-L02DE1NS-CNAV6,10 INCH-GDIP-MV-SDXL,5 PSI-D-4V,15 PSI-AF-PRIME-MINI,20 CMH2O-D1-4V-MINI,MLV-L05D,100 PSI-GF-CGRADE-MINI,5 PSI-D-PRIME-MINI,DLVR-F50D,0.3 PSI-D-4V-MIL,5 INCH-D-MV,DLVR-L05D,DLVR-L05G,15 PSI-G-CGRADE-MINI,0.3 PSI-D-4V-PRIME,15 PSI-D-4V-ASCX,10 INCH-GF-HGRADE-MINI,15 PSI-D-PRIME-MV,4 INCH-G-CGRADE-MINI,150 PSI-G-4V,10 INCH-DX-MV-MINI,60 INCH-DX-P4V-MINI,10 INCH-D1DIP-MV-SDXL,BDS-L10D100A,BLC,30 INCH-D-MV,SPA 401□-□□□□□□□□□□□□□□□□,100 PSI-G-CGRADE-MIN,30 INCH-GDIP-MV-MINI,DLV-005G-E1BD-CNI3F,2 INCH-D2DIP-MV-MINI,20 INCH-D1DIP-MV-MINI,DLV-060D,DLV-060G,30 PSI-A-DO-MIL,1 PSI-D-4V-MIL,DLVR-L02G,1 PSI-D-4V-MINI,DLV-060A,BLV,2 INCH-D1DIP-MV-MINI,15 PSI-D-PRIME-MINI,BDS-L10D030A-N9,10 INCH-DX-P4V-MINI,30 PSI-A-4V-ASCX,CPA602□-□□□□□□□□□,5 PSI-D-CGRADE-MINI,30 PSI-A-HGRADE-MINI,1 PSI-D-DO-MIL,DLVR,2.5 INCH-D-4V,MLV-L10D-A6DXF-N,DLVR-L01D,30 INCH-D1DIP-MV-SDXL,DLVR-L01G,30 PSI-AF-HGRADE-MINI,BLCR-L05D,15 PSI-A-DO,CPA-502,10 INCH-D-DO,1 PSI-G-4V,MCI,BP01-D-MV,DLVR-L02D,5 PSI-G-4V-MIL,DHLR-L10D,MCS,DLHR- L02D + X,BLVR SERIES,DLV-030G,MLV-015D,10 INCH-G-CGRADE-MINI,MLV-015A,DLV-030A,20 INCH-G-P4V-MINI,ACPC,MLV-100D,DLV-030D,5 PSI-D-4V-PRIME,0.3 PSI-D-PRIME-MINI,20 INCH-D-4V,10 INCH-D2DIP-MV-SDXL,120 CMH2O-D-4V,15 PSI-D-HGRADE-MV,DLH-L05G,DLH-L05D,100 PSI-A-4V,5 PSI-GF-HGRADE-MINI,100 PSI-D-HGRADE-MV,BARO-A-4V-MINI,0.3 PSI-D-HGRADE-MINI,1 PSI-GF-HGRADE-MINI,4 INCH-D-HGRADE-MINI,5 PSI-D-4V-MINI,1 INCH-G-P4V-MINI,4 INCH-D-HGRADE-MV,15 PSI-D-HGRADE-MINI,5 PSI-D-HGRADE-MV,10 INCH-GDIP-MV-MINI,BLVR-L10D-B1NS-N,15 PSI-D-4V,4 INCH-GF-HGRADE-MINI,30 PSI-G-PRIME-MINI,1 INCH-G-4V-MINI,PSI-X-4V-ASCX,5 PSI-DX-4V-MINI,100 PSI-G-PRIME-MINI,DLVR-L10D,30 PSI-D-CGRADE-MV,DLVR-L10G,1 PSI-D-HGRADE-MINI,BLC-015A,5 INCH-GDIP-MV-SDXL,SPM 401,0.3 PSI-GF-HGRADE-MINI,SPM 402,30 INCH-D2DIP-MV-MINI,30 PSI-AF-PRIME-MINI,100 PSI-A-DO-MIL,MLV-L10D-A6AAX-N,5 CMH2O-D1-P4V-MINI,5 PSI-D-CGRADE-MV,30 PSI-D-4V,MLV-L10D-A6XAF-N,CPM602,30 INCH-D2-MV-MINI,ASCX SERIES,BARO-A-4V-MINI-PRIME,0.25 INCH-D-4V,DLHR- L10D + X,15 PSI-A-HGRADE-MV,100 PSI-GF-HGRADE-MINI,10 INCH-DX-4V-MINI,BDS-L10D030A,BLCR-L10D,1 PSI-GF-PRIME-MINI,100 PSI-D-CGRADE-MV,BDS SERIES,DLHR-L60D,DLHR-L60G,1 MBAR-D-4V,SPM401□-□□□□□□□□□□□□□□□□,5 PSI-G-HGRADE-MINI,5 PSI-GF-CGRADE-MINI,MAMP,0.3 PSI-G-4V-MINI,ADUX,0.3 PSI-G-CGRADE-MINI,2 INCH-GDIP-MV-SDXL,5 INCH-D-4V,4 INCH-D-CGRADE-MV,5 PSI-D-HGRADE-MINI,30 INCH-D-4V,BLV-L01DB1NS-N,10 INCH-G-PRIME-MINI,15 PSI-D-CGRADE-MV,BLCR,30 PSI-D-HGRADE-MIN,100 PSI-AF-PRIME-MINI,100 PSI-A-HGRADE-MV,20 INCH-GDIP-MV-MINI,CPM-502,MLV-005D,1 PSI-D-DO,BLCR-L20D,BARO-A-4V-PRIME-REF,5 PSI-D-DO-MIL,ABX00004,10 INCH-D1DIP-MV-MINI,10 INCH-D-MV,SPA 401,ABX00002,SPA 402,0.5 INCH-D-MV,30 INCH-D2DIP-MV-SDXL,100 PSI-A-4V-PRIME,1 PSI-D-HGRADE-MV,15 PSI-A-PRIME-MINI,DLH-L05D-E1NS-C-NAV6,5 INCH-DX-P4V-MINI,2 INCH-D2DIP-MV-SDXL,FPS SERIES,0.3 PSI-D-CGRADE-MINI,5 INCH-D2DIP-MV-SDXL,1 PSI-G-PRIME-MINI,30 PSI-A-PRIME-MV,30 PSI-A-4V-PRIME,SPM402□-□□□□□□□□□□□□□□□□,30 PSI-G-4V-MINI,BLC-L05D,MCI SERIES,100 PSI-G-HGRADE-MINI,BLVR-L20D,100 PSI-D-4V,30 PSI-A-4V-MINI,DLH-L10D,10 INCH-D-CGRADE-MINI,DLH-L10G,15 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2019/12/9 - AMPHENOL SENSORS - 选型指南代理服务技术支持采购服务

AT22数字气压传感器数据表

描述- AT22是一款专为高精度压力测量设计的数字气压传感器，适用于无人机高度控制和便携式导航设备。它集成了压力和温度传感功能，采用紧凑型2.0×2.0×0.95mm³封装，基于业界认可的压阻技术，具有长期稳定性和电磁兼容性。内置24位ADC提供高达0.15Pa的压力分辨率和0.1℃的温度分辨率，工作范围宽达300至1250hPa。

型号- AT22-01BA-F17,AT22

2024/1/25 - AIOT SENSING - 数据手册 - V0.1 代理服务技术支持采购服务

AS23F-01BA-F17数字压力传感器规格书

描述- 本资料详细介绍了AIoTSensing公司生产的AS23F-01BA-F17数字压力传感器。该传感器具备高精度、低功耗的特点，能够测量空气压力和温度。产品支持多种操作模式，包括待机、命令和后台模式，并可通过I2C或SPI接口进行数据传输。此外，该传感器还具有FIFO存储功能，可存储多达32个压力或温度测量值。

型号- AS23F-01BA-F17

Feb/22/2021 - AIOT SENSING - 数据手册 - Rev0.01 代理服务技术支持采购服务

合肥智感科技AIoTSensing推出环保设备传感器解决方案，精度可高达±0.25%FSS

合肥智感科技AIoTSensing推出传感器解决方案的环保设备-CEMS烟气参数监测系统包括烟气流速、烟气静压、烟气温度和烟气湿度的测量。CEMS烟气参数监测系统包括烟气流速、烟气静压、烟气温度和烟气湿度的测量。

2023-11-20 - 应用方案代理服务技术支持采购服务

经过校准的绝对压力传感器AS216，提供0~5V可定制模拟输出信号，响应时间仅1ms

AS216是由AIoT Sensing推出的一个经过校准的绝对压力传感器系列产品，用于工业控制和自动气压绝对压力传感器（BAP）市场；从10kPa~1400kPa的压力信号可转换为具有可定制输出范围的模拟输出信号（0~5V）。

2023-11-08 - 产品代理服务技术支持采购服务

SM16A系列OEM硅压模

描述- 该资料介绍了SM16A系列高精度绝对压力传感器芯片。这款芯片采用全硅微加工技术制造，适用于恶劣环境，具有铂金焊盘。其尺寸极小（0.69mm x 0.69mm），旨在提供最高可能的精度。该产品适用于大量应用，如温度歧管绝对压力（MAP/TMAP）、轮胎气压监测系统（TPMS）、燃油蒸发系统（EVAP）等。

型号- SM16A-H-ND-060S-0010A,SM16A,SM16,SM16A-H-ND-030S-0010A,SM16A-H-ND-100S-0010A

SMI - 数据手册代理服务技术支持采购服务

KP25x集成压力传感器数字气压传感器IC

描述- KP25x系列集成压力传感器是一款基于电容原理的数字气压传感器IC，采用表面微加工技术和0.5微米BiCMOS工艺制造。该产品提供SPI接口，支持直接与微控制器连接，具有快速启动时间、高精度和宽工作温度范围等特点，适用于汽车和工业应用。

型号- KP25X,SP000773948,KP256,KP254,KP253,SP000773952,SP000843708

10/2011 - INFINEON - 数据手册

CCT-6系列小尺寸MV输出、校准电压电源

描述- 该资料介绍了AVSensors公司生产的CCT-6系列压力传感器。该系列传感器采用陶瓷压阻式传感器元件和厚膜电阻，提供校准的高电平mV输出，具有低成本、小尺寸、无引脚的陶瓷封装。传感器通过激光切割提高整体精度，减少零点和跨度误差。该传感器适用于气动控制、汽车诊断、医疗设备、牙科设备、环境控制和气压测量等领域。

型号- CCT-6WH030PA,CCT-6,CCT 6 SERIES,CCT 6,6 SERIES,CCT-6 SERIES

2022/8/10 - AV SENSORS - 数据手册

CDG-500型

描述- Varian CDG-500系列温度补偿电容膜片压力计提供高精度的高压区域测量。测量范围从1000托到1托。该系列使用耐腐蚀的超纯氧化铝陶瓷膜片，提供卓越的信号稳定性、快速恢复大气压力、短预热时间和无与伦比的坚固性。适用于薄膜和真空工艺、工业真空工艺、数据存储和显示制造、半导体生产过程等。特点包括全量程范围、易于集成、耐腐蚀陶瓷传感器、应用稳健性等。

型号- CDG-500

08/2010 - AGILENT - 技术文档