6维力传感器有什么特点？

时间： 2024-11-07 来源：MITSUMI官网

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力传感器是一种测量作用力和扭矩的大小、方向的传感器，相当于人的五感，它能赋予机器人等机器细腻的感觉。6维力传感器是能够测量X、Y、Z轴上的力（力），X、Y、Z轴旋转方向上的力（力矩/扭矩）的力传感器。

基于MEMS技术的力传感器可以测量力和力矩，握持时的平衡也可以测量旋转方向的力。通过将力传感器搭载在机器人上，可以实现接近人类感觉的作业。

力传感器的检测方式有应变计式、压电式、光学式、电容式等，主要用于机器人的手腕部分。小型力传感器以MEMS工艺制造的产品为主，使用磁性、压力、压电元件等，可用于检测机械手手指上的力。

美蓓亚三美的紧凑型6轴力传感器采用MEMS技术，实现了Φ9.6 x 9 mm的小尺寸，使其能够用于以前无法使用的狭窄区域。

6维力传感器是数字式输出，与模拟传感器相比对噪声的耐受性更强，数据的准确性更高。由于使用半导体工艺，具有很好的量产性能同时还能兼具小型化和高额定。

目前6维力传感器多安装在机械臂的手腕部分，主要用于去除毛刺和研磨等工作。以往机械臂仅能做出规定的动作，而安装了6维力传感器的机械臂可以自由且简单地做出合适工作的动作，可以做出比以往更细致的动作。此外，6维力传感器还用于风洞实验中测量叶片的升力，以及作为传感器收集数据。

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型号- 7504A,3255A,T500,1220,CD9515,DSD 25,68CM1,FS-90,1210,FS-91,4602,HTU3535PVBM,4604,7505A,AISI-304,1230,MS4525DO,DSD 17,MACRO CD375,TSYS02D,D5100,4610,MS8607,ACCUSTAR EA,EPRB,XP5,805,808,89BSD,D,E,F,T400,4630,SDT1,1240,P1200,606M1,PS2011AB,DSD 40,ELM-4000,3058A,MS5803-01BA,FMT,SIL-3,M7100,LS809-31,EGCS-D5,4332M3,TLH100,FTP520,MS54XX,EGCS-D0,ESP 64HD,XL403D,AST46HA,710,832,FN7110,834,EB,PS501,LDM-1000,U86B,DP86,52M30,PS2021AB,EV,M905,EX,720,RVIT-Z,603,LS509-51,ELM-5000,TS318-3B0814,FN4070,H005,H009,TLH,610,RCS01-10,31207B,FTP540,PML 1000,LDS309-11N,EPB-PW,735,EVS722-51,FN9630,MACRO HPGS 750,GC,FN9635,FLDT1,U7100,FTP530,85F,FN4080,AISI-400,834M1,HTU2X,ARD154,EPB,EGAXT,VS804-21,HC,65210E,EPL,7108A,86A,CLP,AST46SW,HR,MS52XX,AST4510,KMT32B,KPSI 730,750,KPSI 735,FTP560,633,634,7531A,XFTC300,Y12AD,FTP552,FTP553,FTP554,AST4401,AST4400,AST4520,KPSI 720,U5700,KPSI 600,FN4055,KPSI 601,MS5803-30BA,FTP551,31206B,FN9620,DPG,LL-01,FN7325,DPL,DPN,98RK-1,64B,40A,64C,40B,HTF3000LF,52F,3022,DSF EX-ATEX,KPSI 750,KMT37,FN3050,TPT,64X,KMT39,9916,53A,AST43LP,AST4500,KPSI 500,KPSI 501,KPSI 745,3028,GÏΜÁÐ,86BSD,8811-01,PM50,KMA36,TSYS01,LT,TSYS02,ATA-2001,KMT36H,P900,LBB,PM81,FN3030,DSD,3038,DSF,CM-01,DSH,8021-AP,8021-AR,DSL,PM83,ML,DT1,4020,TSD,6200,DSS,AST46PT,AST44LP,805M1,AST4600,DSY,TSD305,7500A,DC-SE,EGAXT3,MS5525ASO,4030,LDTC,XPM10,MS4515DO,330,MACRO HSTA/R,KPSI 710,MSP300,335,AST20HA,XS-C,XS-D,7501A,LL-10,HTU3535PVBM/WIRE,MACRO SSI/R,PT101,HTG351XCH,AST2000H2,342,KPSI 700,16HD,KPSI 705,LS304-31,LMM-H04,LMM-H03,FN3148,DSD 70,7502A,7514A,P700,4810A,CD1110,KPSI 330,8021-VP,8021-VR,KPSI 335,AST4000,EÏΜÁÐ,7135A,13,XFL212R,6000,17,LVM-110,KPSI 320,AST44XX,8711-01,121,FN3002,AST5100,LCS-03,FN3000,CS1120,R36,PCA 375,U5300,RT9,RT8,M3200,7100A,23,9400,TLH600,CPA150,27,HS1101LF,28,M210,AST20SW,KPSI 351,KPSI 353,HTU383X/WIRE,IT9000,130,KPSI 355,AST5300,AST4100,SG,CD1140,XPM4,SK,7101A,SM,FX19,MSP100,EPM-5000,SP,TPT300V,PM101,MSP340,SR,33,37,PT9000,AST45XX,KPSI 342,1201F,MT3A,ACH-01,SL-630,M5600,7102A,43,TS,EL20-S458,MS5805,XFU400,SP683,47,MS5803,MP 2000,P981,KPSI 30,HTM2500LF,CS1210,AST5400,MLP,FN1010,HTU2XF,HM1520LF,TS305-10C50,TRUBLUE 585,16MS,52,KPSI 27,MS32,KPSI 28,58,DÏΜÁÐ,MS1451,XPM6,AST46XX,ESP 32HD DTC,160,PT1,161,AST4200,PT5,DSH 16,DOG2,FX29,ESP 64HD DTC,7104A,TRUBLUE 575,FN2114,US300,9146-R,PTX,85BSD,7105A,MS5837,9216,KMA36A,AST20PT,AST4300,MS1471,9146-T,808M1,U5600,FN2570,CD1050,EPM-4001,XP,82,MS5525DSO,85,86,TRUBLUE 555,FS-01,89,MS5607,FS-02,8011,MS4515,FS-05,FS-06,ED32I,MACRO GHSE/R,MS5840,PS2031AB,G系列,8032-01,FN2420,R60D,3052A,154BSD,MS4525,MS5611,XFC200R,EPIH,ELAF,HTU383X,M12,3801A,1620,KMY,65210ES,KMZ,FN2317,M150,AST46DS,11206AC,PS831,8021-01,EGCS-D1S,KPSI 300DS,1630,820M1,XPC10,TSEV,53AF,140A,SL-900,MS5637,MS4426,CD1124T,MS4425,EVS312-11N,MT2,MT3,CS1060,CD1095,832M1,VCS-06,MTA,VCS-04,3700,M5200,FN7080,P105,P101,32HD,9022,E系列,FS19,HTU21DF,7131A,FC22,FC23,4630M12,9034,142A,9038,154N,4801A,9032,LIM-420,9033,5905,7132A,LTA,LTB,4630M14,5903,PT8000,P125,TS318-5C50,T600,8102A,LTR,HM1500LF,D系列,R30A,HTU21D,8011-01,PS801,KPSI 380,NDT-1,FS20,4835A,AST43XX,ACCUSTAR,U5200,1201,FCA7300,AD-101,PS811,VS309-51N,KMXP,11207AC

选型指南 - TE CONNECTIVITY - 2019年6月 PDF 中文下载

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描述- TE为严苛应用环境设计并制造一系列从感应元件到系统封装的压力传感器。基于硅压阻微机械加工(MEMS)技术和硅应变计(Microfused, Krystal Bond)技术，我们的产品能够测量从几英寸水柱(＜5 mbar)到100K psi (7K bar)的各种压力。复杂的设计和先进的生产工艺为医疗，HVACR，非公路/重型设备以及一般工业应用创造了可靠及高性价比的解决方案。

型号- EPL,MS5607,MS5805,P700,MS5803,47,P105,MS4515,P981,P101,1220,MS54XX,MS52XX,P900,AST4000,AST46AST5100,1210,EB,13,154BSD,MS4525,17,P9000,MS5611,MS1451,U86B,1230,154N,DP86,EPIH,MS4525DO,AST44XX,U5700,1620,U5300,D5100,MS8607,EPRB,MS5525ASO,23,US300,P125,89BSD,27,1240,AST20SW,MS4515DO,P1200,AST5300,AST5400XX,MSP300,1630,AST20HA,85BSD,EPB-PW,MSP100,MSP340,33,MS5837,MS5637,37,MS4426,MS4425,U7100,85F,AST20PT,AST45XX,MS1471,AST43XX,U5600,M7100,U5200,EPB,82,86BSD,M5600,MS5525DSO,85,86,43,M5200

应用及方案 - TE CONNECTIVITY - 2016年02月 PDF 中文下载

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型号- MK05 -1A66C-500W,ORD213,MK07- 1 X 00 0 - 0000 W,MK04 -1A66C-500W,ORD211,MK11/M8 -1A66E-500W,ORD219,MK18- X - 0000 W,MK03 -1A66C-500W,M02,ORD2221,KSK-1A33,M04,M03,KSK-1A31,MK03 -1A66D-500W,MK21/X- 1 X 00 0 - 0000 W,M05,MK04 -1A66D-500W,KSK-1A35,MK11/M8- 1 X 00 0 - 0000 W,MK31-B - 3,MH21- 00 X - 000 W,ORD324,MK10-C - 270,GR100,MK25 - 1 X 00 - 0000 W,MK05 -1A66D-500W,GP560,M11(B),M21/P(1,2),KSK-1C90F,M13,MK11/M8 -1A66D-500W,MK23-80,MK23-85,MK23-87,M11(S),ORD311,ORD312,MK11/M8 -1A66B-500W,KSK-1A55,KSK-1C10,KSK-1A53,ORT551-1,KSK-1A54,M27,MK23-90,ORT551,KSK-1A52,MK16-B - 0,MH32- 00 X - 000 W,KSK-1C90U,GP501,MK22-B - 0,MK13 -1A66B-500W,MK13 -1A66E-500W,ORD2211,ORD2210,KSK-1A35/1,KSK-1A46,MK17-B - 0,MK27 - 1 A 00 0 - 000 W,PR126,MK23-35,MK11- 1 X 00 0 - 0000 W,MK26 - 1 X 00 0 - 0000 W,MK11/B00- 1 X 00 0 - 0000 W,MK04 - 1 X 00 0 - 0000 W,ORD228VL,KSK-1A66/3,MK14 - 1 X 00 0 - 0000 W,MK03 - 1 X 00 0 - 0000 W,MK20/1- X - 000 W,M11(P),MK23-46,GP400,MK23-501-B - 0,ORD2210V,KSK-1A66,KSK-1B85,KSK-1E66,MK01-X,MK15-B - 0,MH04- 00 X - 000 W,KSK-1A69,MK28- 1 X - 000 X,ORD324H,MK06-00-X,MK09- 1 A 00 - 0,MK23-000 - 0 - 0,MK13 -1A66C-500W,MK13 -1A66D-500W,MK23-52,NL126,ORD2211H,MK12 - 1 X 00 0 - 0000 W,PR560,MK08 - 1 X 00 - 0000 W,ORD221,MK24-B - 0 - OE,MK11/M8 -1A66C-500W,MK05 - 1 X 00 0 - 0000 W,ORD229,ORD9215,KSK-1E85,KSK-1A87,KSK-1A04,KSK-1A80,MK03 -1A66E-500W,MK04 -1A66B-500W,MK02/0 - 1 X 00 - 0000 X,MK20/2- X - 000 W,MK03 -1A66B-500W,MK04 -1A66E-500W,MK05 -1A66B-500W,MK05 -1A66E-500W,KSK-1A85,MK23-66,KSK-1A82,KSK-1A83,KSK-1B90U

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型号- EL20-S458,FN7080,CPA150,M210,FN4070,ELHM,ELHS,FN1010,FS19,FN3030,FN3050,FN7110,FX19,FN9630,FC22,FN2420,FC23,FN9635,XFTC300,XFL212R,FN2114FN2570,FS20,XFC200R,FN4080,ELAF,FMT,FN3002,FN4055,M905,FN3000,ARD154,FCA7300,FN9620,FN2317,FN3148,FN7325

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