高意COMPex F2超强大的真空紫外激光器，提供157 nm或193 nm直接输出，满足大功率需求

时间： 2024-11-25 来源：COHERENT官网

代理服务

技术支持

采购服务

我们最新的 COMPex 准分子激光器能够在 157 nm 和 193 nm 两个波长上工作，烧蚀坚韧和/或透明材料。

今天，我们推出了 COHERENT COMPex 系列的最新成员：Coherent COMPex F2——这是一款超强大的真空紫外激光器。

我们的新型双波长激光器可满足需要大功率真空紫外波长光源的应用需求。具体来说，F2 提供 157 nm 或 193 nm 的直接输出，只需切换气源即可，从而较大限度提高了实用性和价值。

COMPex F2 的一些关键应用

●岩样和冰样的 LA-ICP-MS 分析

●特殊材料的脉冲激光沉积 (PLD)

●PDMS 和 PTFE (Teflon®) 的直接图案绘制和微加工

激光烧蚀 LA-ICP-MS（激光烧蚀电感耦合等离子体质谱法）是一种多功能工具，无需任何样品制备即可进行固体样品的元素组成分析。许多岩样和北极冰样都需要 VUV。

PLD 是一种快速发展的薄膜沉积方法。通过使用更短的波长，可以扩展层生成中的质谱。这同样适用于材料加工领域。在 157 nm 和 193 nm 波长下，即使是在高纯度石英、聚二甲基硅氧烷 (PDMS) 甚至 PTFE (Teflon®) 等材料上，也可以进行高精度图案绘制。

COMPex F2 的一些关键优势

●在 157 nm 或 193 nm 波长进行真空紫外光作业

●在 157 nm 波长上输出 32 mJ 稳定脉冲能量

●50 Hz 重复频率

●带有真空法兰通道的气密光束路径

从实用的角度来看，新型 COMPex F2 激光器具有 COMPex 系列的全部优势。1) 它们是高效光源，具有紧凑的设计，且易于安装和操作。2) 它们提供出色的脉冲能量和脉冲间稳定性、出色的光束均匀性和工业级全天候可靠性。

COMPex 激光器还在大多数 248 nm 和 308 nm 紫外波长应用中确立了标杆。这些应用包括 PLD 薄膜生长，以及支持多种微电子应用的晶圆剥离。

COMPex 激光器也用于最新的 Coherent UVtransfer 工具，可帮助实现下一代 MicroLED 显示屏的自动化生产。

与其他 COMPex 激光器一样，COMPex F2 享有全面保修，保修期为自发票之日起 36 个月或 10 亿次脉冲（以先到者为准）。我们还提供免费安装服务。

发送到邮箱 |
+1 赞 0
收藏
评论 0
| 转发至：

本文由walkonair转载自COHERENT官网，原文标题为:推出 COMPex F2：超强大的真空紫外激光器，本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的，且明确注明来源，不希望被转载的媒体或个人可与我们联系，我们将立即进行删除处理。

平台合作

提交评论

全部评论（0）

暂无评论

Coherent AVIA LX 355-30 纳秒紫外 (UV) 激光器具有高输出功率、可靠性和长使用寿命特性

Coherent AVIA LX 355-30 纳秒紫外 (UV) 激光器具有无与伦比的高输出功率、可靠性和长使用寿命，极大地提高了高精度切割、钻孔和微结构任务的生产效率，尤其是在微电子生产领域。AVIA LX 在 355 nm（脉冲能量高达 500 μJ）下输出 30 W，并提供了无与伦比的 20,000 小时连续三倍频晶体寿命，没有任何光斑偏移。这将提高工艺一致性，缩短维护停机时间。

2024-10-22 - 产品代理服务技术支持采购服务

Coherent Announced Latest Generation Adjustable Ring Mode Fiber Laser ARM FL, Reducing the Volume and Footprint by 50%

Coherent announced the launch of its latest generation adjustable ring mode fiber laser ARM FL. This next generation platform, featuring a new advanced controller, offers all the functions of its predecessor while reducing the volume and footprint by 50%.

2024-12-18 - 产品代理服务技术支持采购服务

Coherent Monaco系列飞秒激光器1035-150-150，功率150瓦，实现更快地切割显示玻璃、医疗器械

Coherent高意推出新款Coherent Monaco1035-150-150，输出更高的脉冲能量和功率，可大大提高在OLED显示玻璃以及植入医疗器械等应用中的切割速度和最大基板厚度。新型Monaco 1035-150-150的功率为150瓦，是现有输出功率的两倍，能够高精度大批量切割大型玻璃面板，生产出能够精确装配在下一代IT设备中的大型OLED屏幕。

2024-05-21 - 产品代理服务技术支持采购服务

COHERENT（高意）公司是材料、网络和激光器领域的全球领先企业，是一家垂直整合的制造公司。产品广泛应用于工业、通信、半导体设、生命科学、消费电子、汽车市及仪器仪表市场。公司在1971年成立，总部位于宾夕法尼亚州萨克森堡，在全球拥有研发、制造、销售、服务和分销机构。

二氧化碳激光器二极管激光模块二极管激光器准分子激光器机器视觉激光器光纤激光器离子激光器连续波固体激光器超快激光放大器超快激光振荡器超短脉冲激光器纳秒激光器准分子紫外线系统激光框架软件激光框架配件光束传输组件二极管激光元件特种光纤光纤传感器组件光纤组件全息光栅滤波器激光测量仪器激光能量传感器激光功率传感器激光测距仪光电探测器

代理服务线上商城技术资料

PYTHON 提供突破性固态激光技术，助力OLED 显示制造取得坚实进步

准分子激光器一直是支持平板显示制造的一项关键技术。它们可产生高能量紫外(UV) 脉冲激光，其脉冲间能量差异非常小且具有极佳的光斑匀化度。这些独特的特性使得Coherent 高意公司能够以 VYPER 准分子激光器为基础，匹配 LineBeam 光学系统实现准分子激光退火（ELA）工艺。

2024-02-27 - 原厂动态代理服务技术支持采购服务

激光器在显示屏制造中的应用：激光剥离技术

准分子激光器为LLO提供了理想的光源。主要有两个原因：首先，相比其他类型的激光器，准分子激光器在紫外线中产生的脉冲能量更高。这种紫外光被粘合剂强烈吸收，高激光功率会让粘合剂迅速分解。这使得LLO能够以显示屏生产所需的速度移动。速度很重要，因为主要的显示屏制造商每天要为超过100万部手机供应屏幕！

2024-12-06 - 应用方案代理服务技术支持采购服务

Coherent高意LEAP准分子激光帮助实现薄膜的导向批量脉冲激光沉积，助力客户扩大产能

Solmates选择了Coherent高意公司的LEAP准分子激光器系列，因为该产品系列兼具高能量（每脉冲高达1焦耳）和可扩展功率（80至300W），这两个方面决定了PLD系统的通量吞吐量。此外，LEAP激光器在要求苛刻的大批量生产环境中拥有良好记录，具备全天候工业可靠性，并尽可能降低每片晶圆的成本。

2024-04-15 - 应用方案代理服务技术支持采购服务

激光雷达 – 远程测距的激光规则

激光雷达是一种强大而灵活的技术，可用于气象、汽车和科研等多种应用。Coherent 高意的激光器、光纤、光学元件等提供了支持其中许多应用所需的性能、可靠性和经济性。

2024-10-28 - 应用方案代理服务技术支持采购服务

激光器在显示屏制造中的应用：MicroLED剥离、转移和修复

Coherent高意现已提供一款名为UVtransfer的MicroLED显示屏生产工具。该工具可执行全部三项工艺：激光剥离（LLO）、激光诱导前向转移（LIFT）以及缺陷像素的修复和修整。这款三合一工具将助力生产出实用且经济的大型MicroLED显示屏。

2024-12-04 - 应用方案代理服务技术支持采购服务

包含安装前信息的说明手册4.0章节

本手册提供了关于Coherent激光产品安装前所需评估的要求。内容包括安全注意事项、操作人员资质要求、特定操作阶段的安全措施、激光辐射危害、火灾风险、高压电危险、卤素气体和气态卤化物化合物危害、臭氧生成、窒息性气体、超压、冷却水泄漏、倾覆和挤压风险、噪音干扰、电磁干扰以及X射线辐射等。此外，还介绍了个人防护装备的使用指南。

COHERENT - LASER DEVICE,紫外激光光源,UV LASER LIGHT SOURCE,激光装置,COMPEX 200,COMPEX 200 SERIES,COMPEX 100,COMPEX F2,COMPEX 50,COMPEX 50 SERIES,COMPEX 100 SERIES,高端科学应用,可编程逻辑器件,PRECISE MATERIAL PROCESSING,中等负载循环工业,MEDIUM DUTY-CYCLE INDUSTRIAL,固体取样,PLD,材料研究,PULSED-LASER DEPOSITION,SOLID SAMPLING,精密材料加工,脉冲激光沉积,HIGH-END SCIENTIFIC APPLICATIONS,MATERIAL RESEARCH

02/2024 - 用户指南 - Revision: AJ 代理服务技术支持采购服务查看更多版本

包含安装前信息的说明手册4.0章节

本资料为Coherent激光产品COMPex 4.0的安装前信息手册摘录，主要内容包括激光设备的安全操作指南、物理危害描述、个人防护装备要求等。资料强调激光设备的安全使用，包括激光辐射、火灾、高压电、卤素气体、臭氧、窒息性气体、过压、冷却水、倾覆、噪音、电磁干扰和X射线等潜在危害，并提供了相应的安全措施和防护建议。此外，资料还涉及人员资质要求、操作阶段注意事项、维护保养指南等。

COHERENT - 准分子激光装置,LASER DEVICE,EXCIMER LASER DEVICE,激光装置,COMPEX 102,COMPEX 201,COMPEX 200,COMPEX 200 SERIES,COMPEX 100,COMPEX F2,COMPEX 110,COMPEX 50,COMPEX 50 FBG,COMPEX 50 SERIES,COMPEX 100 SERIES,COMPEX 205,高端科学应用,可编程逻辑器件,PRECISE MATERIAL PROCESSING,中等负载循环工业,MEDIUM DUTY-CYCLE INDUSTRIAL,固体取样,PLD,材料研究,HIGH-END SCIENTIFIC APPLICATIONS,PULSED-LASER DEPOSITION,SOLID SAMPLING,精密材料加工,脉冲激光沉积,MATERIAL RESEARCH

09/2023 - 用户指南 - Revision: AI 代理服务技术支持采购服务

包含安装前信息的说明手册4.0章节

本资料为COHERENT激光产品安装前的信息摘要，包含安全注意事项、操作规范和设备维护等内容。资料强调激光设备的安全操作和人员资质要求，详细说明了激光辐射、火灾、高压电、卤素气体、臭氧、窒息性气体等潜在危险，并提供了相应的防护措施。此外，资料还涉及设备维护、个人防护装备（PPE）的使用以及设备废弃处理等安全操作规范。

COHERENT - 紫外激光光源,UV LASER LIGHT SOURCE,LASER DEVICES,激光装置,COMPEX100,COMPEX 200,COMPEX 200 SERIES,COMPEX F2,COMPEX100 SERIES,COMPEX50 SERIES,COMPEX50,PULSED-LASER DEPOSITION,SOLID SAMPLING,脉冲激光沉积,HIGH-END SCIENTIFIC APPLICATIONS,高端科学应用,可编程逻辑器件,中等负载循环工业,MEDIUM DUTY-CYCLE INDUSTRIAL,固体取样,精密材料,PLD,PRECISE MATERIAL

03/2022 - 用户指南 - AG 代理服务技术支持采购服务

准分子激光器最大能量传感器能量范围90μJ至1 J

本资料介绍了Coherent公司的Excimer Laser EnergyMax传感器系列，该系列传感器专为ArF激光（193 nm）和KrF激光（248 nm）设计，具有高精度和大有效面积（最多50 mm），并采用独特的MaxUV涂层提供优异的长期耐损伤能力。这些传感器适用于医疗、科学、工业和准分子激光应用。

COHERENT - EXCIMER LASER ENERGYMAX SENSORS,准分子激光最大能量传感器,J-50MUV-193,J-25MUV-193,J-25MUV-248,J-50MUV-248,准分子激光应用,医学,INDUSTRIAL,EXCIMER LASER APPLICATIONS,SCIENTIFIC,MEDICAL,科学的,工业

0721 - 数据手册代理服务技术支持采购服务

用于相干激光器的测量产品

该资料提供了一系列与Coherent激光器兼容的测量产品推荐，包括不同类型激光器的波长、功率计和功率传感器型号。资料详细列出了各种激光器（如CO2激光器、工业光纤激光器、固体激光器、二极管激光器、光泵浦半导体激光器、超快激光器、准分子激光器、工业激光机等）的推荐测量产品，并强调了 plug-and-play、无需单独仪表的选项。

COHERENT - 功率传感器,POWER SENSOR,POWER METER,ENERGY SENSOR,ENERGY METER,功率计,能量传感器,ENERGY METER电力参数测量仪,J-10MB-HE,PM150-50,USB PM6K+,PS10,PM1KX,PM300F-19,PM3K,PM1K,PM5K-100,LABMAX-PRO SSIM,PM5K,FIELDMAXII-TOP,OP-2VIS,FIELDMAXII-TO,J-25MUV-193,PM300,J-50MUV-248,PM150X,PM1K+,PM10V1,LM-150FS,PM150,PM300F-50X,LABMAX-TO,PM1K-100,J-50MUV-193,PM150-50XC,J-25MUV-248,J-50MB-YAG,PMP HP,J-10MT-10KHZ,PM6K+,PM150-50C,PM30X,PM10X,J-25MT-10KHZ,PM10,LABMAX-TOP,PM30

2022/8/24 - 商品及供应商介绍代理服务技术支持采购服务

奥格斯堡大学：准分子激光器光学元件有助于控制通量

Karl 博士开发了一种优化的 PLD 光路，可以在改变激光通量的同时保持尺寸和形状许多已发表的研究，包括奥格斯堡大学小组的一些研究，已经对 PLD 工艺的最终结果（即沉积层的成分和物理特性）进行了检验。开发了一种优化的 PLD 光路，可以在改变激光通量的同时保持尺寸和形状。

2024-06-29 - 应用方案代理服务技术支持采购服务

准分子激光器实现超导导线批量生产成功案例

该资料主要介绍了S-Innovations公司利用Coherent LEAP 300C准分子激光器进行高温超导（HTS）线材的大规模生产。S-Innovations选择YBCO作为超导材料，并采用脉冲激光沉积（PLD）技术，以实现高电流密度和低成本的HTS线材生产。Coherent LEAP 300C激光器的高脉冲能量和重复频率，以及其工业可靠性，有助于降低每瓦激光的真实成本，从而实现HTS线材的高效生产。

COHERENT - 激光器,EXCIMER LASER,LASER,准分子激光器,高场应用,CABLES,TRANSFORMERS,MRI SYSTEMS,核磁共振光谱仪,POWER GRID,变压器,HIGH-FIELD APPLICATIONS,电网,仪表,INSTRUMENTATION,NMR-SPECTROMETERS,MRI系统,电缆

08.2021 - 成功案例代理服务技术支持采购服务