兰宝PDA-CR30激光位移传感器在半导体行业芯片异常堆叠检测的应用

2025-02-21 LANBAO兰宝传感公众号
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在半导体制造领域,芯片堆叠异常是一种较为严重的生产问题。芯片在制造过程中意外堆叠,不仅会导致设备损坏、工艺失效,还可能造成产品批量报废,给企业带来巨大的经济损失。

随着半导体制造工艺的不断精细化,对生产过程中的质量控制提出了更高的要求。激光位移传感器作为一种非接触式高精度测量技术,凭借其快速、精准的检测能力,为芯片堆叠异常的检测提供了一种有效的解决方案。


01、检测原理与异常判定逻辑

在半导体制造过程中,芯片通常被放置在载具或传输轨道上,处于单层平铺状态。此时,芯片表面的高度为预设的基准值,一般为芯片厚度与载具高度之和。当芯片意外堆叠时,其表面高度将显著增加,这一变化为堆叠异常的检测提供了关键依据。


02、典型应用场景

传输轨道堆叠检测

传输轨道是芯片在制造过程中移动的重要通道,然而,芯片在传输过程中可能因静电吸附或机械故障而堆积,导致轨道堵塞。这种堵塞不仅会中断生产流程,还可能损坏芯片。


为监测传输轨道的通畅性,可在轨道上方部署激光位移传感器,扫描轨道截面的高度。若局部区域高度异常(如高于或低于单层芯片厚度),传感器将判定为堆叠堵塞,并触发报警机制,通知操作人员及时处理,确保生产流程的顺畅进行。


03、检测流程

兰宝激光位移传感器通过发射激光束并接收反射信号,利用三角测距法精确测量目标表面的高度。

其检测流程如下:


01.实时扫描:

传感器垂直对准芯片检测区域,持续发射激光并接收反射信号。在芯片传输过程中,传感器能够实时获取其表面高度信息。


02.高度计算:

传感器根据接收到的反射信号,通过内部算法计算出芯片表面的高度值。这一过程要求传感器具备高精度和高采样频率,以适应半导体制造产线的高速传输需求。


03.阈值判定:

设定一个允许的高度波动区间,通常为基准高度的±30 µm,若测量值超过这一阈值范围,则判定为堆叠异常,这种阈值判定逻辑能够有效区分正常单层芯片与堆叠芯片。


04.报警与处理:

一旦检测到堆叠异常,传感器将触发声光报警,并联动机械臂剔除异常位点,或者暂停产线,以防止异常情况进一步恶化。这种快速响应机制能够最大限度地减少因堆叠异常导致的损失。


04、兰宝产品选型

测量范围:±5mm

电源电压:RS-485:10...30VDC

                 4...20mA:12...24VDC

响应时间:2ms/16ms/40ms 可设置

光源类型:红色激光(650nm)

激光等级:Class 2

光斑大小:Φ0.5mm@30mm

分 辨 率 :2.5μm@30mm

线性精度:0.03mm

重复精度:5μm

温度漂移:±0.08%F.S./℃

防护等级:IP67

4. ..20mA:按键设置

开关点设置:RS-485:按键/RS-485设置


通过激光位移传感器实现芯片堆叠异常的实时、高精度检测,可大幅提升半导体产线的可靠性和良率。随着技术的不断进步,激光位移传感器将在半导体制造中发挥更大的作用,为行业的持续发展提供有力支持。

授权代理商:世强先进(深圳)科技股份有限公司
技术资料,数据手册,3D模型库,原理图,PCB封装文件,选型指南来源平台:世强硬创平台www.sekorm.com
现货商城,价格查询,交期查询,订货,现货采购,在线购买,样品申请渠道:世强硬创平台电子商城www.sekorm.com/supply/
概念,方案,设计,选型,BOM优化,FAE技术支持,样品,加工定制,测试,量产供应服务提供:世强硬创平台www.sekorm.com
集成电路,电子元件,电子材料,电气自动化,电机,仪器全品类供应:世强硬创平台www.sekorm.com
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产品型号
品类
电源电压(V)
输出逻辑
输出状态
安装方式/检测方式
检测距离(mm)
外壳材质
连接方式
LR04QAF08DNO
电感式传感器
DC10-30V
NPN
NO
埋入式
0.8mm
不锈钢
成型电缆

选型表  -  LANBAO 立即选型

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Company Profile    Inductive sensors    Capacitive sensors    Photoelectric sensors    Light curtains    Tension sensors    Sensor accessories    Wiring diagram   

LANBAO  -  THIN GAS PRESSURE SENSOR,感应式传感器,标记传感器,CAPACITIVE SENSORS MOUNTING RACK,CAPACITIVE SENSORS,DIGITAL LASER DISPLACEMENT SENSORS,数字激光距离传感器,CONNECTION CABLE,安装夹具,配电箱,反射体,PHOTOELECTRIC SENSORS,DISTRIBUTION BOX,光幕,MOUNTING BRACKETS,电容传感器,MEASURING LIGHT CURTAINS,MEASURING SENSORS,CONNECTION CABLES,LASER DISPLACEMENT SENSORS,安装架,TENSION SENSOR,MOUNTING CLAMPS,反射器,LIGHT CURTAINS,颜色传感器,MOUNTING RACK,拉力传感器,REFLECTOR,LASER DISTANCE SENSORS,薄型气压传感器,光电传感器,测量光幕,激光位移传感器,COLOR SENSORS,MARK SENSORS,REFLECTORS,连接电缆,电容式传感器安装架,张力传感器,光纤传感器,TENSION SENSORS,数字激光位移传感器,AREA LIGHT CURTAINS,安装支架,连接器,DIGITAL LASER DISTANCE SENSORS,CONNECTORS,OPTICAL FIBER SENSORS,测量传感器,INDUCTIVE SENSORS,CR12□BF02DNO□-□□□□□□,PU05M-F,LG40-T2405T/TXA-F2,QE12-WXF,QE12-WXG,LG40-T2205TNA-F2,PFT-620-V,PDA-CC10TGI,LT18 (V2),PDA-CC10DGR,LR08□□□F15DNO□-□□□□□□,LG40-T3605TNA-F2,PFRC-410,MH20-T1605LS1DA-F8,PDA-CC50DGRM,LT18 (V1),PFT-410,LG20-T1205TNA-F2,LG40-T2205T/TXA-F2,LG20-T3205TPA-F2,LG20-T3605TNA-F2,LT18 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FIBER INDUSTRY,FOLDING SHEAR MACHINE,折剪机,PAPER CUTTER,纺织业,冲孔机,化纤工业,切纸机,TEXTILE INDUSTRY,PUNCHING MACHINE

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传感器概览 PRODUCT SUMMARY

LANBAO  -  感应式传感器,激光距离传感器,CAPACITIVE SENSORS MOUNTING RACK,连接线缆,数显型激光位移传感器,连接电缆(LED),CAPACITIVE SENSORS,DIGITAL LASER DISPLACEMENT SENSORS,连接线缆(带灯),数字激光距离传感器,安装夹具,光幕传感器,电容式传感器,配电箱,反射体,PHOTOELECTRIC SENSORS,马克先生,电感式传感器,测量光幕传感器,发射体,光幕,反光板,DISTRIBUTION BOXS,MOUNTING BRACKETS,电容传感器,安全光幕传感器,MEASURING LIGHT CURTAINS,MEASURING SENSORS,CONNECTION CABLES,LASER DISPLACEMENT SENSORS,发射器,MOUNTING CLAMPS,LIGHT CURTAINS,分线盒,传感器附件,THIN GAS PRESSURE SENSOR,电容式传感器安装支架,安全光幕,颜色传感器,EMITTER,SAFETY LIGHT CURTAINS,LASER DISTANCE SENSORS,区域光幕传感器,薄型气压传感器,光电传感器,测量光幕,颜色检测传感器,激光位移传感器,COLOR SENSORS,REFLECTORS,传感器配件,连接电缆,电容式传感器安装架,张力传感器,CONNECTION CABLE (LED),光纤传感器,光电式传感器,MARK SENORS,TENSION SENSORS,数字激光位移传感器,色标传感器,AREA LIGHT CURTAINS,薄型气体压力传感器,连接器,安装支架,DIGITAL LASER DISTANCE SENSORS,数显型激光测距传感器,CONNECTORS,OPTICAL FIBER SENSORS,SENSOR ACCESSORIES,激光测距感器,区域光幕,测量传感器,INDUCTIVE SENSORS,传感器,CR12□BF02DNO□-□□□□□□,PU05M-F,QE12-WXF,QE12-WXG,LG40-T2205TNA-F2,PFT-620-V,PDA-CC10TGI,LG20-T3605T-TXA-F2,PDA-CC10DGR,LR08□□□F15DNO□-□□□□□□,LG40-T3605TNA-F2,PFRC-410,MH20-T1605LS1DA-F8,PDA-CC50DGRM,PFT-410,LG20-T1205TNA-F2,LG20-T3205TPA-F2,LG20-T3605TNA-F2,CR12X,LG40-T3205TPA-F2,LG20-T2805TPA-F2,LG40-T0405TNA-F2,PFRC-310,LG40-T2405TPA-F2,STD-06,PU05M-Y,PU05M-R,PU05M-T,LG40-T2405T-F2,PFT-310,LG20-T4805T-F2,DB080803-X-DXXX,PU05M-K,LG20-T0805T-F2,PU05M-L,PFT-S01,PDA-CC10DGRM,CE05X,MH20-T6405LS1DA-F8,PDA-CC100DGR,PBA,QE12-N4GX-×,MH40-T5605L-F2,PDA-CR50DGRM,LG40-T4805T-F2,LG40-T2205T-TXA-F2,LG40-T0805T-TXA-F2,LG40-T3005T-F2,CR12D,QE12-N3FX-X,LG40-T4205TPA-F2,MH20-T4805LS1DA-F8,LG20-T4405TNA-F2,PFR-420-V,LG20-T4005TPA-F2,PFT-R02,PFT-R01,LG40-T4605TNA-F2,PR30L,PDB-CR50DGR,LG40-T2605T-F2,PDB-CR50TGI,PDA,PDB,LG20-T2005T-TXA-F2,MH40-T0805L-F2,PDM,LG20,CPES-C09,LT18(V1),LG40-T4005TNA-F2,MH40-T3205LS1DA-F8,LG40-T1405TPA-F2,QE12-N3GX-X,LG40-T1805TNA-F2,LG40-T3605T-TXA-F2,LG40-T3205T-F2,MH20-T11205L-F2,LG40-T3805TPA-F2,LG20-T1205T-F2,LG20-T3205T-F2,LG40-T2605T-TXA-F2,PDA-CC50TGIM,CQ345,LG40,LG40-T1605TPA-F2,CR30X,LE05,LG20-T2005TNA-F2,CQ34S,PR18G,LG40-T3405T-F2,QE12-N4FX-×,LG40-T4005TPA-F2,LG40-T4605T-F2,LE18,LG20-T3605TPA-F2,QE12-NXGX,LG40-T1205TNA-F2,LG40-T0405TPA-F2,TD-09A,LE20,LG20□-T0805TNA-F2□□□□,LG20-T2405T-F2,DB080803-X-XXX,LE21,LE25,LE09,LG20-T1205TPA-F2,LG40-T4005T-F2,MH20-T11205LS1DA-F8,MH40-T3205L-F2,LE08,LE80XZ,MH20-T9605L-F2,LG40-T2805TPA-F2,CPES-TXB,LG20-T3205T-TXA-F2,LG40-T4205T-TXA-F2,PFT-420-V,LG20-T2405TPA-F2,LE12,LE11,LE10,LE17,LE16,LE15,CQ32X,QE8-WXF,LG40-T2805TNA-F2,MH40-T0805LS1DA-F8,MH40-T1605L-F2,LE40,PDB-CC50TGI,LG40-T3805T-F2,LG40-T4605TPA-F2,PDB-CC50DGR,QE8-NXFX,PFRC-610,LG40-T3805T-TXA-F2,LG20-T4805TNA-F2,PDA-CR50TGI,LG40-T4205T-F2,LE30,LG40-T3005TNA-F2,PDA-CR50DGR,MH20-T8005LS1DA-F8,QE8-WXFX,PFRD-410,LE36,LG20-T2005T-F2,LG40-T3405TPA-F2,LG40-T4005T-TXA-F2,ZJP-4,ZJP-1,LE68,QE8-WXGX,ZJP-9,ZJP-8,ZJP-7,ZJP-6,ZJP-5,MH20-T4805L-F2,LG20-T1605T-F2,MH40-T2405L-F2,PU05S-U,DPG-10TX-L,LRO5,PU05S-R,MH40-T4805LS1DA-F8,PU05S-L,CE07,LG40-T4405T-F2,LE50,CR30XS,LG40-T2205TPA-F2,CE05,LG40-T1005TPA-F2,PU05S-K,TWD-T402BAE-□□□□,PU05S-F,PFRD-310,LG20-T1605T-TXA-F2,PU30S,LR30X,PDB-CM8TGU,LG20-T2405TNA-F2,LG20-T2005TPA-F2,MH20-T8005L-F2,LE82,LE81,PDB-CM8DGR,PDB-CM8TGI,FY12,LG20-T4405T-TXA-F2,CE15,FY18,CE10,LG40-T4805T-TXA-F2,TWC,TD-12,TD-11,TD-10,ZJP-13,ZJP-12,ZJP-11,ZJP-10,LR05,LG40-T4805TNA-F2,TWK,LG40-T4405TPA-F2,LG40-T1205T-TXA-F2,LR08,QE12-WXGX,ZJP-16,TD-09,ZJP-15,TD-08,ZJP-14,TD-05,TD-04,DB120804-X-MXXX,TD-03,LG40-T3605T-F2,DB080403-X-XXX,LG40-T4205TNA-F2,PDA-CR85TGI,PR12□□-BC15DNO□-□□□□□□□□,PDA-CR85DGR,SPM-TNR-WB,CE39,CE35,MH20-T3205L-F2,CE34,LG20-T2805T-TXA-F2,LG40-T1405T-TXA-F2,PDA-CR30DGRM,LG40-T1205T-F2,LG20-T3605T-F2,LG40-T1205TPA-F2,LG40-T1605TNA-F2,QE8-NXGX,TD-01-3,LG40-T2005TPA-F2,LT20-V1,MH20-T6405L-F2,LG20-T4805TPA-F2,PDA-CR30TGIM,LG20-T1605TPA-F2,LG40-T3005T-TXA-F2,LG40-T2405TNA-F2,LG40-T2805T-F2,LG40-T0405T-TXA-F2,CE53,PDA-CR30DGR,LG40-T3405TNA-F2,PSE,LG20-T3205TNA-F2,LG40-T1005T-F2,PSJ,LG40-T4405T-TXA-F2,PDA-CR30TGI,PSM,MH40-T2405LS1DA-F8,LG20-T4005T-TXA-F2,MH20-T112005LS1DA-F8,PSR,QE12-NXFX,PST,PSS,PSV,LG40-T0805TPA-F2,SPM-TNR-RGB,PDA-CR85TGIM,CR18XT,CR18XS,LG40-T2805T-TXA-F2,PTE,TD-02,TD-01,PU13S,PTF,LG40-T1005TNA-F2,PDM-TC50TGR,CR18,PTL,PU15,MH20-T9605LS1DA-F8,CR12,MH40-T4005LS1DA-F8,PDA-CC50DGR,LG40-T3005TPA-F2,LG40-T0605TNA-F2,LG40-T1605T-TXA-F2,PDA-CC50TGI,LG20-T2805T-F2,ZJC-1,LE40XZ,DB120804-X-MXXP,PU07,LG40-T2605TPA-F2,MH40-T4005L-F2,ZJC-2,ZJC-3,LG40-T0405T-F2,QE12-WXF×,FYG12,LG40-T1005T-TXA-F2,LG40-T3405T-TXA-F2,PU30,LG40-T2605TNA-F2,LG40-T1805T-TXA-F2,CR30,LG40-T4805TPA-F2,LT18(V3),LR14X,CR12XS,MH40-T5605LS1DA-F8,LG40-T1405T-F2,LG40-T2405T-TXA-F2,FD1,QE8-NXF,CQ20,FD3,FD2,PSV-S,LG40-T3205TNA-F2,DB120805-X-XXX,LG20-T0805T-TXA-F2,LT18(V2),LG40-T3605TPA-F2,PFR-620-V,LG40-T3205T-TXA-F2,QE12-N3G5PU-E12N3F□□□□,LG20-T4005T-F2,LR12X,LG40-T0605T-F2,LE40SZ,LG20-T0805TNA-F2,PDA-CC100TGIM,CQ32,LG20-T1205T-TXA-F2,LG40-T0805TNA-F2,PFR-610,PDA-CC10TGIM,LG20-T1605TNA-F2,MH20-T1605L-F2,LE08X,LT18(V4),PDA-CC100TGI,LG20-T2805TNA-F2,LG20-T4805T-TXA-F2,LG40-T0805T-F2,FYG12T,PR12,PR18,MH40-T1605LS1DA-F8,LG40-T1805TPA-F2,PDA-CR85DGRM,DB120804-X-XXX,CR18X,LG20-T4405TPA-F2,LG40-T1805T-F2,LR18X,LG40-T2205T-F2,LG40-T2005TNA-F2,LG40-T0605T-TXA-F2,LG20-T2405T-TXA-F2,LR6.5Q,PFT-610,PDA-CC100DGRM,MH40-T4805L-F2,LG20-T4005TNA-F2,LG40-T0605TPA-F2,QE12-NXF,QE12-NXG,MH20-T3205LS1DA-F8,LG40-T1605T-F2,LG40-T4405TNA-F2,LG20-T0805TPA-F2,LG20-T4405T-F2,LG40-T3805TNA-F2,LR04Q,LR16X,CE05-S,LG40-T4605T-TXA-F2,LG40-T2005T-F2,LG40-T2005T-TXA-F2,PR30,PDA-CR50TGIM,LG40-T1405TNA-F2,DB120805-X-MXXX,冲压机床,纺织业,冲孔机,轻纺行业,化纤工业,切纸机,PUNCHING MACHINE,化纤行业,FOLDING SHEAR MACHINE,CHEMICAL FIBER INDUSTRY,纺织行业,折剪机,PAPER CUTTER,TEXTILE INDUSTRY

2023-05  - 数据手册 代理服务 技术支持 采购服务

激光位移传感器的应用场景有哪些?

测量板材轮廓、精密点胶系统中点胶高度的测量、测量热轧钢板厚度和凸度、胶带的接缝检测、两测头测量覆膜厚度、机器人手臂的定位、多测头测量物体平面度、平台倾斜度检测等。

2024-07-29 -  技术问答 代理服务 技术支持 采购服务

PTM-CR2VN20-01激光位移传感器PTM-CR5VN20-01激光位移传感器PTM系列镜反射型

本资料介绍了Lanbao Sensing Technology Co., Ltd.生产的PTM系列镜反射式激光位移传感器。该系列产品具有智能自动增益控制、耐用性强、EMC性能好、安装方便等特点,适用于多种测量需求。

LANBAO  -  LASER DISPLACEMENT SENSORS,SENSOR,SENSORS,传感器,激光位移传感器,PTM-CR10VN20-01,PTM SERIES,PTM,PTM-CR5VN20-01,PTM-CR2VN20-01

2018/10/28  - 数据手册  - Ver. A 10/S 代理服务 技术支持 采购服务

PDA系列数显激光位移/测距传感器使用说明书

LANBAO  -  数显激光位移传感器,测距传感器,数显激光测距传感器,传感器,位移传感器,PDA-CR50系列,PDA-CR50,PDA-CC,PDA-CR**DGR,PDA-CC50系列,PDA-CR**,PDA-CR30,PDA-CR85,PDA-CC**,PDA-CC10系列,PDA,PDA-CR30系列,PDA-CR85系列,PDA-CR,PDA-CC100系列,PDA-CC100,PDA-CC50,PDA-CR85**,PDA-CC10,PDA-CC50**,PDA-CR**DGR系列,PDA系列

2020/9/24  - 用户指南  - V2.0 代理服务 技术支持 采购服务

兰宝传感亮相第十六届重庆国际电池技术展览会

“绿色能源 驱动未来”由中国化学与物理电源行业协会主办的第十六届重庆国际电池技术展览会(CIBF2024)即将于4月27日至29日在重庆国际博览中心举办。兰宝传感即将亮相此次展览会。

2024-04-15 -  原厂动态 代理服务 技术支持 采购服务
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品类:数显型激光位移传感器

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无线位移传感器量程定制

可定制无线位移传感器量程范围10~600mm,采用了无线传输方式,可远程自动实时检(监)测位移量值,准确度级别(级):0.2、0.5;内置模块:无线传输模块、供电模块;传输距离L(m):可视距离1000 (Zigbee、 LORA)。

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位移传感器量程定制

可定制位移传感器量程范围10~600mm,该YWD型位移传感器表面有带刻度的透明窗☐,每毫米的变化量误差不超过3ue/mm,可在静态、准静态和低频动态下工作。主要指标:非线性<0.2%;供桥电压<10v;测试精度:0.01mm。

最小起订量: 1 提交需求>

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