敏芯微凭借领先的MEMS传感器研发技术，成为“2020年度苏州市集成电路企业20强”

苏州敏芯股份电子技术股份有限公司（以下简称“敏芯微”）凭借领先的MEMS传感器研发技术，成功晋级苏州市工信局组织评选的“2020年度苏州市集成电路企业20强”。近年，苏州聚焦“强链、补链、延链”需求，全面加强创新驱动，日益成为产业链较完整、企业集聚度较高、人才储备和技术开发水平较领先的重要增长极。20强企业是苏州集成电路迈向高端的基石，综合实力强、发展潜力大。

敏芯微坐落在苏州纳米城，是国内最早成立的MEMS公司之一，主导构建了本土化MEMS传感器全产业链。研发驱动是敏芯微的鲜明底色，2018年度、2019年度、2020年度，公司研发费用合计分别为2739.49万元、3567.04万元和4204.34万元，占营业收入的比重分别为10.84%、12.56%和12.74%。

截至2020年底，敏芯微共拥有境内外发明专利40项、实用新型专利53项，正在申请的境内外发明专利113项、实用新型专利129项；MEMS声学传感器、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器三大产品线的应用场景涵盖消费电子、医疗、工业控制以及汽车电子等领域。

拾级而上打开国内MEMS产品市场     

微机电系统(MEMS，Microelectro Mechanical Systems)是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器，具有体积小、功耗低、可靠性高、易于集成等特点。

“小机器”蕴含着“大机遇”。21世纪初，全球MEMS产业迎来商业化浪潮，楼氏电子、英飞凌等国外企业成功将MEMS技术应用于智能手机等消费电子领域，引发市场关注。

“我们刚毕业那会，国外MEMS产业发展热度较高，但国内相关企业很少，就业机会也不多，但我相信这个行业未来在国内一定会发展起来。”在历经电子科大、北大、香港科技大学等高等学府熏陶后，现任敏芯微首席执行官的李刚选择了MEMS领域作为创业方向。

2007年，李刚及其创业团队获评园区第一届科技领军人才称号，获得一笔启动资金。同年，公司三位创始人利用自制的简陋试验设备，进行科研实验，完成敏芯微早期的技术探索和积累。

13年来，敏芯微从零开始打通MEMS产业链，完成了现有MEMS传感器产品芯片设计、晶圆制造、封装和测试环节的基础研发工作和核心技术积累，趟出了一条因地制宜、乘势而为的MEMS全产业链国产化之路。

起初，敏芯微不断开发探索产品和生产工艺，推动MEMS产品量产，并利用市场机会完成原始积累，持续整合产业链，完善公司产品；2012年是具有里程碑意义的一年，敏芯微成功实现了MEMS产品的大规模量产，并改变了原有的商业模式，选择直接面对消费市场。

图为敏芯微创始团队

这些年，敏芯微以中低端应用为切入口，在激烈的市场竞争中存活了下来。目前正在进行最后“攻坚战”，努力打入国际知名消费类电子品牌大客户的供应链体系。

十余年坚持，敏芯微成功迈入国内MEMS行业领军企业梯队，目前MEMS声学传感器产品出货量位居全球第四位，仅次于楼氏、歌尔、瑞声；近些年，还响应市场需求，相继拓展了加速度传感器、骨传导传感器、电子烟、压力传感器、热电堆传感器等新市场。

“成长在这个时代，我们是幸运的。中国广袤的市场给了我们这些MEMS创业公司成长的机会，在不同的发展阶段都有匹配的客户。”敏芯微市场销售副总张辰良说。

布局全产业链自主可控增强发展韧性

疫情发生以来，不少企业因供货不足生产中断，但敏芯微订单依旧相对保持稳定，所有产线满负荷运转，展现较强的抗风险能力。敏芯微加速量产非接触红外测温传感器、微差压传感器等产品，有力支持抗疫。

超强发展韧性，得益于敏芯微在全产业链自主可控领域的长期布局。

MEMS作为一种特色工艺，具有高度定制化特点，不仅设计难度高，生产工艺也要按需开发。敏芯微成立之初，国内晶圆制造企业和封装企业普遍缺乏专业的MEMS生产经验。打造本土化供应链体系，意味着要付出更多耐心与坚持。

图为敏芯微智慧工厂

2008年，敏芯联合中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（简称“苏州纳米所”），进行4寸MEMS产品和工艺开发。在此基础上，敏芯微先后参与国家重大专项、江苏省重大科技专项，与国内领先晶圆制造企业、封装厂合作，探索构建MEMS产品本土供应链体系。

“起步之初，我们就选择了与国内供应商合作，制造企业和封装厂遇到工艺流程难题，我们的工程师第一时间前往帮忙调试工艺，这么多年一直休戚与共，形成了芯片设计和工艺自主开发能力。”李刚说，相比与国外大厂合作，这条路更艰难，但这么多年挺过来，反而成为敏芯微的竞争优势。

2019年，为保障产能，敏芯微还投资兴建封测企业，实现从MEMS产品芯片设计、晶圆制造、封装和测试全生产环节的自主可控。

“国内MEMS产业链的兴起过程中，我们有幸深度参与其中，发挥了重要作用。”敏芯微董秘董铭彦说，2020年登陆科创板后，敏芯微进入全新发展阶段，在全产业链研发和技术实力基础上，希望抓住国内进口替代机遇，借助资本市场力量进一步巩固MEMS下游生产制造等环节布局。

立足创新高地攀登科技高峰

勇于拼搏、敢于争先，一直是苏州精神文化底蕴。近年，苏州正以极大热情，倾力打造“创业者天堂、创新者乐园”。

“第一届科技领军人才中，我们半导体组发展得还不错，3家企业中2家完成IPO，另外1家被联发科收购，整体创业成功率挺高的，这多亏了领军人才政策。”李刚说，2007年，国内地方政府还很少投资半导体，资本市场也更青睐股权投资而非风险投资，苏州高瞻远瞩提出要转型发展，为高科技创业企业提供全流程支持，实属难能可贵。

这些年，苏州聚焦人才、高校、科研院所、产业服务、孵化器等要素，系统出台创新创业支持政策，形成独具特色的产业培育机制，日益成为我国高端创新载体集聚、高端创业人才青睐、创新生态卓越、创新成果丰硕的地区。时至今日，苏州新一代信息技术产业规模日渐壮大，日益成为地方经济发展的新引擎。

“苏州创投工作起步较早，政府主要培育环境和土壤，聚焦企业自主创新需求提供服务，而不是直接用钱‘下猛药’砸项目，那不是长久之计。”苏州市工信局电子产业处相关负责人说，去年苏州登陆科创板的企业，不少是二三十年前成立的，这些民营企业普遍都有板扎的科研实力。

一路走来，敏芯微的自主创新探索背后也有园区的不懈支持，落户不久，就与苏州纳米所合作完成MEMS麦克风产品量产；随后，还与园区纳米产业技术研究院有限公司协同完成麦克风MEMS芯片工艺研发。

2020年，在苏州纳米城支持下，敏芯微新研发大楼已经奠基，2021年第一季度，与苏州工业园区产业投资基金等机构共同投资设立产业投资基金，并拟对外投资设立“MEMS产业研究院有限公司”，该产业研究院的设立将进一步加快敏芯微新工艺、新产品的研发和中试需求，为参与MEMS芯片的国际竞争奠定坚实基础。新建元也正在为MEMS产业研究院建造MEMS晶圆厂房提供全方位支持。

图为敏芯微新大楼概念图

在我国“十四五”规划和2035年远景目标纲要中，集成电路被列为科技前沿领域攻关之一，作为集成电路特色工艺，MEMS亦被重点提及。大力发展MEMS智能传感器产业，已成为地方共识。据赛迪统计，2020年，我国MEMS领域投资兼并案例达116个、金额347亿，呈现出爆发式增长态势。

“苏州的产业生态非常好，特别是对MEMS这个行业来说，有研发性的纳米所、中试的纳米城、配套还有基金，政策上的倾斜能支持企业长期发展，而且毗邻上海，环境宜居，对人才很有吸引力。”苏州工业园区经发委相关负责人说，“逆水行舟，不进则退”，未来园区将把握好先发优势，发挥敏芯微等企业的示范带动作用，把MEMS这一特色产业做到世界顶尖水平。