【应用】铂电阻元件RTD，阻值变化率为0.3-0.5%/℃，可用于半导体设备的温度监测

时间： 2021-09-01 来源：TE Connectivity

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半导体设备的高精度需求，也需要其内部各个组成部分都具有高性能的水平，这其中就包括了压力传感器以及温度传感器等，都需要具备高精确度、高可靠性、高稳定性等特点。本文介绍温度监测传感器的应用。

半导体对温度非常敏感，因此在整个制备过程中都需要对温度进行准确测量，包括从晶圆制备到化学气相沉积等都需要稳定控制晶圆的温度，掌握晶圆温度的分布，更好的进行冷注入控制等。

因此高精度、高可靠性、高量程的温度传感器对于半导体设备来说至关重要。TE可提供包括RTD、NTC、热电堆、热电偶、数字温度传感器等多种类型的温度传感器，根据不同应用选择合适原理的传感器。

TE铂电阻元件RTD

目前在半导体工艺流程中，测量温度使用比较多的技术是铂电阻温度传感器。TE的铂电阻元件RTD采用稳定可靠的铂元素制造，RTD利用了电阻随传感器温度升高而增大的原理，精密度更高，并且更耐腐蚀，具有更好的长期稳定性，抗干扰能力也强。RTD的可用温度范围比NTC热敏电阻更广，但温度系数低得多，阻值变化率为0.3-0.5%/℃，因此需要更精密的测量电路。

TE的RTD可应用于半导体工艺流程中晶圆测量的温度探针，支持定制化探头，方便客户根据自身设备进行调整。可实现多个温度检查点同时测量，从而实现同步功能，确保测量的及时准确。

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