【应用】铂电阻元件RTD，阻值变化率为0.3-0.5%/℃，可用于半导体设备的温度监测

时间： 2021-09-01 来源：TE Connectivity

技术问答

半导体设备的高精度需求，也需要其内部各个组成部分都具有高性能的水平，这其中就包括了压力传感器以及温度传感器等，都需要具备高精确度、高可靠性、高稳定性等特点。本文介绍温度监测传感器的应用。

半导体对温度非常敏感，因此在整个制备过程中都需要对温度进行准确测量，包括从晶圆制备到化学气相沉积等都需要稳定控制晶圆的温度，掌握晶圆温度的分布，更好的进行冷注入控制等。

因此高精度、高可靠性、高量程的温度传感器对于半导体设备来说至关重要。TE可提供包括RTD、NTC、热电堆、热电偶、数字温度传感器等多种类型的温度传感器，根据不同应用选择合适原理的传感器。

TE铂电阻元件RTD

目前在半导体工艺流程中，测量温度使用比较多的技术是铂电阻温度传感器。TE的铂电阻元件RTD采用稳定可靠的铂元素制造，RTD利用了电阻随传感器温度升高而增大的原理，精密度更高，并且更耐腐蚀，具有更好的长期稳定性，抗干扰能力也强。RTD的可用温度范围比NTC热敏电阻更广，但温度系数低得多，阻值变化率为0.3-0.5%/℃，因此需要更精密的测量电路。

TE的RTD可应用于半导体工艺流程中晶圆测量的温度探针，支持定制化探头，方便客户根据自身设备进行调整。可实现多个温度检查点同时测量，从而实现同步功能，确保测量的及时准确。

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【选型】TE Connectivity（泰科TE）传感器选型指南

目录- 数字元件传感器和开发工具流量传感器力传感器湿度传感器液位传感器血氧传感器压电薄膜传感器位置传感器压力传感器速率和惯性传感器扫描阀及系统速度传感器温度传感器扭矩传感器超声波传感器振动传感器水位传感器

型号- 7504A,3255A,T500,1220,CD9515,DSD 25,68CM1,FS-90,1210,FS-91,4602,HTU3535PVBM,4604,7505A,AISI-304,1230,MS4525DO,DSD 17,MACRO CD375,TSYS02D,D5100,4610,MS8607,ACCUSTAR EA,EPRB,XP5,805,808,89BSD,D,E,F,T400,4630,SDT1,1240,P1200,606M1,PS2011AB,DSD 40,ELM-4000,3058A,MS5803-01BA,FMT,SIL-3,M7100,LS809-31,EGCS-D5,4332M3,TLH100,FTP520,MS54XX,EGCS-D0,ESP 64HD,XL403D,AST46HA,710,832,FN7110,834,EB,PS501,LDM-1000,U86B,DP86,52M30,PS2021AB,EV,M905,EX,720,RVIT-Z,603,LS509-51,ELM-5000,TS318-3B0814,FN4070,H005,H009,TLH,610,RCS01-10,31207B,FTP540,PML 1000,LDS309-11N,EPB-PW,735,EVS722-51,FN9630,MACRO HPGS 750,GC,FN9635,FLDT1,U7100,FTP530,85F,FN4080,AISI-400,834M1,HTU2X,ARD154,EPB,EGAXT,VS804-21,HC,65210E,EPL,7108A,86A,CLP,AST46SW,HR,MS52XX,AST4510,KMT32B,KPSI 730,750,KPSI 735,FTP560,633,634,7531A,XFTC300,Y12AD,FTP552,FTP553,FTP554,AST4401,AST4400,AST4520,KPSI 720,U5700,KPSI 600,FN4055,KPSI 601,MS5803-30BA,FTP551,31206B,FN9620,DPG,LL-01,FN7325,DPL,DPN,98RK-1,64B,40A,64C,40B,HTF3000LF,52F,3022,DSF EX-ATEX,KPSI 750,KMT37,FN3050,TPT,64X,KMT39,9916,53A,AST43LP,AST4500,KPSI 500,KPSI 501,KPSI 745,3028,GÏΜÁÐ,86BSD,8811-01,PM50,KMA36,TSYS01,LT,TSYS02,ATA-2001,KMT36H,P900,LBB,PM81,FN3030,DSD,3038,DSF,CM-01,DSH,8021-AP,8021-AR,DSL,PM83,ML,DT1,4020,TSD,6200,DSS,AST46PT,AST44LP,805M1,AST4600,DSY,TSD305,7500A,DC-SE,EGAXT3,MS5525ASO,4030,LDTC,XPM10,MS4515DO,330,MACRO HSTA/R,KPSI 710,MSP300,335,AST20HA,XS-C,XS-D,7501A,LL-10,HTU3535PVBM/WIRE,MACRO SSI/R,PT101,HTG351XCH,AST2000H2,342,KPSI 700,16HD,KPSI 705,LS304-31,LMM-H04,LMM-H03,FN3148,DSD 70,7502A,7514A,P700,4810A,CD1110,KPSI 330,8021-VP,8021-VR,KPSI 335,AST4000,EÏΜÁÐ,7135A,13,XFL212R,6000,17,LVM-110,KPSI 320,AST44XX,8711-01,121,FN3002,AST5100,LCS-03,FN3000,CS1120,R36,PCA 375,U5300,RT9,RT8,M3200,7100A,23,9400,TLH600,CPA150,27,HS1101LF,28,M210,AST20SW,KPSI 351,KPSI 353,HTU383X/WIRE,IT9000,130,KPSI 355,AST5300,AST4100,SG,CD1140,XPM4,SK,7101A,SM,FX19,MSP100,EPM-5000,SP,TPT300V,PM101,MSP340,SR,33,37,PT9000,AST45XX,KPSI 342,1201F,MT3A,ACH-01,SL-630,M5600,7102A,43,TS,EL20-S458,MS5805,XFU400,SP683,47,MS5803,MP 2000,P981,KPSI 30,HTM2500LF,CS1210,AST5400,MLP,FN1010,HTU2XF,HM1520LF,TS305-10C50,TRUBLUE 585,16MS,52,KPSI 27,MS32,KPSI 28,58,DÏΜÁÐ,MS1451,XPM6,AST46XX,ESP 32HD DTC,160,PT1,161,AST4200,PT5,DSH 16,DOG2,FX29,ESP 64HD DTC,7104A,TRUBLUE 575,FN2114,US300,9146-R,PTX,85BSD,7105A,MS5837,9216,KMA36A,AST20PT,AST4300,MS1471,9146-T,808M1,U5600,FN2570,CD1050,EPM-4001,XP,82,MS5525DSO,85,86,TRUBLUE 555,FS-01,89,MS5607,FS-02,8011,MS4515,FS-05,FS-06,ED32I,MACRO GHSE/R,MS5840,PS2031AB,G系列,8032-01,FN2420,R60D,3052A,154BSD,MS4525,MS5611,XFC200R,EPIH,ELAF,HTU383X,M12,3801A,1620,KMY,65210ES,KMZ,FN2317,M150,AST46DS,11206AC,PS831,8021-01,EGCS-D1S,KPSI 300DS,1630,820M1,XPC10,TSEV,53AF,140A,SL-900,MS5637,MS4426,CD1124T,MS4425,EVS312-11N,MT2,MT3,CS1060,CD1095,832M1,VCS-06,MTA,VCS-04,3700,M5200,FN7080,P105,P101,32HD,9022,E系列,FS19,HTU21DF,7131A,FC22,FC23,4630M12,9034,142A,9038,154N,4801A,9032,LIM-420,9033,5905,7132A,LTA,LTB,4630M14,5903,PT8000,P125,TS318-5C50,T600,8102A,LTR,HM1500LF,D系列,R30A,HTU21D,8011-01,PS801,KPSI 380,NDT-1,FS20,4835A,AST43XX,ACCUSTAR,U5200,1201,FCA7300,AD-101,PS811,VS309-51N,KMXP,11207AC

选型指南 - TE CONNECTIVITY - 2019年6月 PDF 中文下载

TE Connectivity（泰科）传感器选型指南

目录- Company Profile DIGITAL COMPONENT SENSOR DEVELOPMENT TOOLS FLOW SENSORS FORCE SENSORS HUMIDITY SENSORS LIQUID LEVEL SENSORS PHOTO OPTIC SENSORS PIEZO FILM SENSORS POSITION SENSORS PRESSURE SENSORS RATE AND INERTIAL SENSORS SCANNERS AND SYSTEMS SPEED SENSORS TEMPERATURE SENSORS TORQUE SENSORS ULTRASONIC SENSORS VIBRATION SENSORS WATER LEVEL SENSORS

型号- 7504A,3255A,T500,8011-AR,8011-AP,CD9515,DSD 25,68CM1,FS-90,FS-91,6900,4602,4604,7505A,MS4525DO,DSD 17,TSYS02D,CWW600,D5100,4610,MS8607,EPRB,XP5,805,5903 SERIES,808,89BSD,T400,4630,SDT1,P1200,606M1,PS2011AB,LDTC FAMILY,DSD 40,ELM-4000,3058A,MS5803-01BA,FMT,SIL-3,M7100,700,LS809-31,EGCS-D5,TLH100,4332M3,FTP520,MS54XX,EGCS-D0,ESP 64HD,XL403D,AST46HA,832,FN7110,HSTA,834,EB,PS501,LDM-1000,U86B,DP86,KMXP 1000,52M30,PS2021AB,M905,RVIT-Z,603,LS509-51,ELM-5000,TS318-3B0814,FN4070,H005,PT500,H009,610,RCS01-10,31207B,FTP540,CWW850,PML 1000,LDS309-11N,EPB-PW,EVS722-51,CWW1000,FN9630,GC,FN9635,FLDT1,U7100,FTP530,85F,FN4080,834M1,HTU2X,ARD154,EPB,EGAXT,VS804-21,HC,65210E,EPL,7108A,86A,CLP,AST46SW,HR,MS52XX,KMXP 2000,AST4510,KPSI 730,KPSI 735,FTP560,633,634,7531A,XFTC300,Y12AD,18FR,FTP552,FTP553,FTP554,AST4401,AST4400,AST4520,KPSI 720,U5700,KPSI 600,FN4055,KPSI 601,400,MS5803-30BA,FTP551,31206B,FN9620,DPG,TRUBLUE 255,LL-01,FN7325,DPL,DPN,64B,40A,64C,40B,HTF3000LF,52F,3022,KPSI 750,KMT37,FN3050,TPT,64X,KMT39,9916,53A,AST43LP,ESP 16HD,AST4500,KPSI 500,KPSI 501,KPSI 745,3028,86BSD,8811-01,PM50,KMA36,TSYS01,LT,TSYS02,ATA-2001,KMT36H,P900,LBB,G-SERIES,PM81,FN3030,DSD,3038,DSF,CM-01,DSH,8021-AP,8021-AR,DSL,PM83,CD375,ML,DT1,4020,TSD,6200,DSS,AST46PT,AST44LP,805M1,AST4600,DSY,TSD305,7500A,DC-SE,EGAXT3,4030,LDTC,XPM10,MS4515DO,KPSI 710,PT100,MSP300,AST20HA,XS-C,XS-D,7501A,LL-10,HTU3535PVBM/WIRE,PT101,6100,SSI,HTG351XCH,AST2000H2,KPSI 700,SSR,KPSI 705,TRUBLUE 275,LS304-31,LMM-H04,LMM-H03,FN3148,TSYS,DSD 70,7502A,7514A,P700,APS,4810A,CD1110,KPSI 330,8021-VP,8021-VR,KPSI 335,AST4000,7135A,5905 SERIES,400 SERIES,XFL212R,6000,LVM-110,KMXP 5000,KPSI 320,AST44XX,8711-01,121,FN3002,AST5100,LCS-03,FN3000,CS1120,R36,PCA 375,U5300,RT9,RT8,M3200,7100A,9400,TLH600,CPA150,HS1101LF,M210,AST20SW,KPSI 351,KPSI 353,HTU383X/WIRE,130,IT9000,KPSI 355,AST5300,AST4100,SG,CD1140,XPM4,SK,7101A,SM,FX19,MSP100,SP,EPM-5000,TPT300V,PM101,MSP340,SR,12FR GP,PT9000,AST45XX,KPSI 342,1201F,MT3A,ACH-01,SL-630,M5600,7102A,PT1000,TS,EL20-S458,8011-VP,MS5805,XFU400,MS5803,MP 2000,P981,HSTAR,KPSI 30,HTM2500LF,CS1210,AST5400,E-SERIES,MLP,FN1010,HTU2XF,HM1520LF,TS305-10C50,24FR,TRUBLUE 585,16MS,52,8011-VR,KPSI 27,MS32,KPSI 28,58,MS1451,XPM6,160,AST46XX,ESP 32HD DTC,PT1,161,ACCUSTAR EA,AST4200,PT5,DSH 16,DOG2,FX29,MMX,12FR,ESP 64HD DTC,7104A,TRUBLUE 575,FN2114,US300,9FR,9146-R,GHSE,PTX,85BSD,7105A,MS5837,9216,KMA36A,AST20PT,AST4300,MS1471,9146-T,808M1,U5600,FN2570,CD1050,EPM-4001,XP,82,MS5525DSO,85,86,TRUBLUE 555,FS-01,89,MS5607,FS-02,FS-05,FS-06,ED32I,MS5840,PS2031AB,8032-01,FN2420,R60D,3052A,154BSD,P9000,MS5611,XFC200R,EPIH,ELAF,ESP 32HD,M12,3801A,1620,KMY,65210ES,KMZ,FN2317,M150,AST46DS,11206AC,10FR,PS831,8021-01,EGCS-D1S,KPSI 300DS,1630,820M1,XPC10,TSEV,53AF,140A,SL-900,MS5637,CD1124T,EVS312-11N,MT2,MT3,CS1060,CD1095,832M1,VCS-06,MTA,VCS-04,3700,M5200,FN7080,P105,P101,9022,FS19,7131A,FC22,FC23,4630M12,9034,142A,9038,154N,4801A,9032,LIM-420,9033,5905,GHSER,7132A,LTA,ACCUSTAR IP66,LTB,4630M14,5903,PT8000,P125,TS318-5C50,T600,8102A,LTR,HM1500LF,R30A,GHSER 750-A,HTU21D,8011-01,PS801,700 SERIES,KPSI 380,NDT-1,FS20,FS22,4835A,AST43XX,D-SERIES,FS23,U5200,1201,1200,HPGS 750,FCA7300,AD-101,PS811,VS309-51N,KMXP,11207AC

选型指南 - TE CONNECTIVITY - 06/2019 PDF 英文下载

芯伯乐DS18B20温度传感器采用了独特的1-Wire总线协议进行通信，简化布线，提高系统稳定性和可靠性

随着科技的飞速发展，温度控制已经渗透到我们生活的方方面面。从工业生产的自动化控制，到智能家居的舒适体验，再到环境监测的精准数据，都离不开一种小巧而强大的设备——温度传感器。在众多温度传感器中，DS18B20以其独特的工作原理、卓越的技术参数和广泛的应用场景，成为了市场的明星产品。

产品发布时间 : 2024-07-26

Amphenol Sensors（安费诺）建筑及工业应用传感器选型指南

目录- Chip Cap 2完全校准的温湿度传感器 Telaire Ventostat®T8700壁挂式温湿度变送器 Telaire Ventostat®T8031 CO2小型风管式C02传感器 Telaire®T8041/T8042 分管式C02传感器 Telaire T8100-R系列挂壁式C02和温度变送器（带继电器） Telaire®7000室内空气品质监测器 Telaire VaporstatTM 9002红外露点变送器 Telaire®配件 Telaire HumiTrac™温湿度变送器 T9602湿度与温度传感器 AAS-53系列水管型温度变送器 ADT/AOT/AIT温湿度变送器使用说明书

型号- P40250128,CC2D265,P40250129,P40250126,P40250127,P40250125,P40250122,P40250123,DC95F302W,P40250120,P40250121,T8031,CC2D255,EHR-4,T8100-D-R,P40250139,K53,T8700,CC2A23,PT1000A,AIT,PT1000B,CC2A25,P40250133,P40250131,T2075NG,P40250130,T804K0-10V,T1508,T8200-D-5P,T8042-5VI0-5V,T9602-5-A-1,NI1000,9002,T9602-3-A-1,T5100,P40250149,CC2A35,T8700-E-D,P40250147,0-5000PPM,P40250144,PT100A,T7001I,P40250145,PT100B,P40250142,P40250143,T8100,S4B-EH,CC2A33,P40250141,CC2D235,CC2D355,T7001,PT1000,T2072,T7001D,CC2D25,T9602-3-A,T8042I0-10V,CC2D23,P40250156,T8041,T8100-R,P40250151,T8042,P40250150,T9602-3-D,NTC10K,CC2025,7000,T9602-3-D-1,CC2D35,T9602,CC2D33,ADT,NTC15K,T8200,CC2D335,CHIPCAP 2,NTC10K-II,T2090,T1551,T1552,MPNT3D03750M4,NTC20K,T2007,T8700-D,T8700-E,T8100,T2080,T8100-EC,P40250109,PA0250118,T8100-E-D-GN-5P-R,PA0250115,T1505,P40254275,P40254276,P40254277,P40250189,P40250186,P40250184,P40250185,T8300,P40250182,P40250183,P40250181,AAS-53,8000,PT100,T7001SK,P40250119,NTC10K-A,AOT,P40250117,T9602-5-A,P40250113,P40250114,P40250111,P40250112,DC95F103W,T2076NG,P40250110,P40250193,T9602-5-D,T8001,P40250191,7001D,P40250192,T8002,T9602-5-D-1,MPNV12R30M 16004616,B4B-EH-A,P40250190,T8041-5VI0-5V,RS485,NTC10K-III

选型指南 - AMPHENOL SENSORS PDF 中文下载

【技术】电动汽车温度传感器集成到设计中的7个地方，助力温度监测

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技术探讨发布时间 : 2023-08-31

TE Connectivity（泰科TE）PTF-FAMILY系列铂金温度传感器数据手册

描述- PTF- FAMILY 铂金温度传感器（Platinum Temperature Sensors）

型号- NB-PTCO-005,NB-PTCO-126,NB-PTCO-006,PTFM102C1G0,PTFM102B1A0,PTFC102B1A0,NB-PTCO-002,PTFD102B1A0,PTFF102B1A0,PTFF101A1G0,PTFC102C1G0,PTFM101T1A0,PTFM101A1A0,PTFD101A1G0,PTFF101C1A0,PTFD101C1A0,PTFC101A1A0,PTFM101B1G0,PTFC101T1A0,PTFF101T1G0,PTFD101T1G0,NB-PTCO-012,NB-PTCO-011,NB-PTCO-013,PTFF101B1G0,PTFC101B1G0,PTF-FAMILY,NB-PTCO-180,NB-PTCO-182,NB-PTCO-181,NB-PTCO-184,PTFD102B1G0,NB-PTCO-183,NB-PTCO-186,PTFM102B1G0,NB-PTCO-185,NB-PTCO-188,NB-PTCO-187,NB-PTCO-101,NB-PTCO-189,PTFC102C1A0,PTFD102A1A0,PTFC102A1G0,PTFD101C1G0,PTFD102T1A0,PTFF101A1A0,PTFM101C1A0,PTFM101A1G0,PTFC102T1G0,NB-PTCO-191,PTFF102C1G0,NB-PTCO-190,PTFF101T1A0,NB-PTCO-193,NB-PTCO-192,PTFM101T1G0,NB-PTCO-169,PTFF101B1A0,PTFM101B1A0,PTFD101B1A0,PTFC101B1A0,PTFM101C1G0,NB-PTCO-160,PTFM102T1A0,NB-PTCO-162,NB-PTCO-161,NB-PTCO-164,NB-PTCO-163,NB-PTCO-166,NB-PTCO-165,NB-PTCO-168,NB-PTCO-046,NB-PTCO-167,PTFC101C1G0,PTFC102T1A0,PTFF102T1G0,PTFD102T1G0,NB-PTCO-171,NB-PTCO-050,NB-PTCO-170,NB-PTCO-173,NB-PTCO-172,PTFD102A1G0,PTFF102A1G0,NB-PTCO-175,NB-PTCO-053,NB-PTCO-174,NB-PTCO-177,NB-PTCO-176,PTFM102A1A0,NB-PTCO-058,NB-PTCO-179,PTFC102A1A0,PTFD102C1A0,PTFF102C1A0,NB-PTCO-178,NB-PTCO-148,NB-PTCO-029,PTF,NB-PTCO-149,PTFC102B1G0,PTFD101B1G0,PTFM102T1G0,PTFF102B1G0,NB-PTCO-142,NB-PTCO-024,NB-PTCO-159,PTFF101C1G0,PTFF102T1A0,PTFF,NB-PTCO-037,NB-PTCO-158,PTFC,PTFD,PTFC101A1G0,PTFD101A1A0,PTFM,PTFC101C1A0,PTFD101T1A0,NB-PTCO-151,PTFD102C1G0,NB-PTCO-150,NB-PTCO-032,NB-PTCO-153,NB-PTCO-152,PTFM102A1G0,NB-PTCO-155,PTFF102A1A0,NB-PTCO-154,PTFC101T1G0,NB-PTCO-157,PTFM102C1A0,NB-PTCO-035,NB-PTCO-156

数据手册 - TE CONNECTIVITY - REV09 - 2017年2月 PDF 英文下载