敏芯微基于SENSA工艺设计的MEMS压力传感器完成了从5kPA到5MPA的压力芯片市场布局
敏芯微MEMS压力传感器基于美国专利发明SENSA工艺的芯片设计，相比于传统工艺传感器，具有体积小、重量轻、一致性好、稳定可靠、成本低等优点，此项技术代表了全球微硅传感器MEMS制成工艺的技术潮流与前沿水准。迄今为止，只有德国、意大利与美国的少数知名半导体企业掌握了类似技术。该项技术已经在中国大陆与美国申请了专利，并且成功获得了授权。
另一方面，敏芯微依托自身MEMS麦克风成熟的MEMS产业链,完成了从5kPA到5MPA的压力芯片布局:数字胎压计芯片\血压计传感器\汽车MAP\汽车碳罐油气压力成品等均已经大批稳定供货，产品广泛地应用于消费电子、医疗、汽车、工业控制等众多领域。
SENSA工艺简介
压力类主要产品一览
(1)封装类产品
(2)芯片类产品
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