【产品】具有全面温度补偿校准功能的OEM硅压力传感器SM5652
SM5652系列压力传感器是由美国SMI公司推出的一个OEM硅压力传感器系列，其产品从原理上讲是利用硅的压阻效应，制作而成的稳定性好、重复性好的扩散硅压力传感器。该系列产品从生产工艺上讲，主要是将带有温度补偿功能的微压差传感芯片通过双列直插式封装（DIP）的方式，连同陶瓷底座、厚膜电阻一起贴装在一块PCB基板之上。但是，由于其半导体的温度特性等因素，该种类产品的性能通常会受到温度的影响。而SM5652系列产品通过集成在陶瓷底座上的厚膜热敏电阻，实现了全面的温度补偿功能，使得器件在使用过程中，其性能不会因为温度的变化而产生漂移。同时，为了能够对传感器零点和温度补偿零点进行校准，并且能够精确的实现传感温度补偿功能，其产品在生产过程中采用了镭射微调的工艺，针对其厚膜热敏电阻的阻值进行了严格校准。
图1 SM5625系列硅压力传感器的实物图
SM5652系列共有8款不同型号产品，参见图2。其可传感压力的最大承受范围可从0.15PSI到1.50PSI，换算成帕斯卡单位相当于1kPa到10kPa的大范围。可见，该系列器件即有小压力，灵敏度极高的产品，可用在精密传感的应用中，如呼吸机堵塞传感装置；也有较大压力，适合在较高压力环境中使用的产品，如液体流量检测设备和液位监测设备。另有一个小细节说明一下，见图2中的“Pressure Type“（压力类型），其中标识为”Differential“的即为差压型，比方说SM5652-001-D-3-LR这款，其工作压力范围实际为-0.15PSI~0.15PSI，说明该款器件对正负压力变化都能进行传感输出。而仅有一款的SM5652-003-G-3-SR的”Gauge“型即表压型，则是只能接收正向压力0~0.3PSI。另外，该系列产品还有一个特点就是其耐受压力的极限值比较高，即器件能够承受多大的极限压力值而不遭到破坏。该数值可达到正常工作压力上限的10倍，即0.15PSI的产品其极限压力耐受值可达到1.5PSI，依此类推。同时，对于突发压力冲击的耐受数值，则更是达到了工作压力上限的15倍，即0.15PSI的产品，突发压力的耐受值可达2.25PSI，依此类推。综上所述，可见该系列产品不仅工作性能强大，而且还有着良好的可靠性和耐冲击性的特点。
图2 SM5652系列硅压力传感器的分型及参数表
SM5652系列硅压力传感器的工作温度范围从-40°C~+125°C，相当宽广的温度范围，能适应较为恶劣的工作环境。同时需要注意的是，其温度补偿的范围在0~60°C，已经是相当大的补偿范围了，该产品在这个性能上可称得上是突出性的优点。但还是要提醒一下，尽量在此温度范围内使用该器件，超出范围后，器件虽然仍能正常工作，但是温度补偿功能就不是一定能够保证的了。该系列产品的外形封装选用了双直插的结构，使用起来简单方便，并且人性化的将接口长度设计成了长、短两种型号（参见图2）。这不仅使得客户在选型时，拥有更大的选择空间，从而贴近自身的实际需求，也使得该产品在市场中拥有了更加广阔的应用范围。该系列的压力传感器，一经推出便广受市场的好评与赞誉，并且经久不衰。
SM5652系列硅压力传感器的主要特点：
• 有低压力范围的产品，适用于精密度高的设备
• 恒压源驱动，推荐电压为10V
• 使用简单方便的双直插封装结构（DIP）
• 全面的温度补偿功能和精准的零点校准
• 极大的温度补偿范围：0~60°C
• 0.15，0.3，0.8和1.5PSI多种压力范围可选，对应1.0，2.1，5.5和10.3kPa
• 性能强大，可靠性高，耐冲击性强
• 长、短两种接口型号可选
• 工作以及存储温度范围大，-40°C~+125°C
• 符合RoHS和REACH标准
SM5652系列硅压力传感器的典型应用：
• 医疗用设备
• 呼吸器
• HVAC（空调系统）
• 液位监测设备
• 流量检测设备
• 工业控制设备
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可自由定制铜排形状尺寸；检测精度：0.5%~1.0；电流测量范围 ±300-500A。低噪音 (0.27mVpp)；低磁力残余误差:2mV；响应性能<4μSec；支持RoHS指令 、AEC-Q200。
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